JP2014051396A - 長尺フィルムの巻き取り方法及び長尺フィルムの巻き取り装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹凸がある長尺のフィルムをロール状に巻き取る方法であって、前記長尺のフィルムをロール状に巻き取る巻き取り工程と、前記ロール状に巻き取られたフィルムのロール直径と巻き取り張力とを測定する測定工程と、前記測定工程で測定された前記巻き取られたフィルムのロール直径が大きくなるにつれて、且つ前記巻き取り張力の初期値に対して、前記巻き張力を低下させるよう制御する制御工程と、を有し、前記制御工程において、前記巻き取り張力の前記巻き取り張力の初期値を10〜20Nとし、且つ前記巻き取られたフィルムのロール直径が200mmになったときの巻き取り張力が8〜15Nに制御される、長尺フィルムの巻き取り方法とする。
【選択図】図5
Description
すなわち、本発明は以下の通りである。
(1)凹凸がある長尺のフィルムをロール状に巻き取る方法であって、前記長尺のフィルムをロール状に巻き取る巻き取り工程と、前記ロール状に巻き取られたフィルムのロール直径と巻き取り張力とを測定する測定工程と、前記測定工程で測定された前記巻き取られたフィルムのロール直径が大きくなるにつれて、且つ前記巻き取り張力の初期値に対して、前記巻き取り張力を低下させるよう制御する制御工程と、を有し、
前記制御工程において、前記巻き取り張力の前記巻き取り張力の初期値を10〜20Nとし、且つ前記巻き取られたフィルムのロール直径が200mmになったときの巻き取り張力が8〜15Nに制御される、長尺フィルムの巻き取り方法。
前記制御工程において、前記巻き取り張力の前記巻き取り張力の初期値を10〜20Nとし、且つ前記巻き取られたフィルムのロール直径が200mmになったときの巻き取り張力が8〜15Nに制御されることを特徴とし、それにより、凹凸による不具合を防止する。
このような特性を満たす接着剤としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂とアクリル系熱可塑性樹脂を混合したものが挙げられる。
なお、接着剤層の層厚としては、厚いほど皺が入りにくいが、半導体装置作製用の接着剤層としては1〜200μmが好ましく、10〜80μmがより好ましい。
このような特性を満たす粘着剤としては、例えば、アクリル系樹脂に光反応剤を混合したものが挙げられる。光反応剤としては、例えば、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトンが挙げられる。
なお、粘着剤層の層厚としては、厚いほど皺が入りにくいが、粘着剤層の作製方法や半導体装置作製時のプロセスを考慮すると1〜100μmが好ましく、5〜20μmがより好ましい。
なお、保護フィルムの層厚としては、厚いほど皺が入りにくいが、保護フィルム作製工程やエキスパンド工程の作業性を考慮すると20〜300μmが好ましく、50〜150μmがより好ましい。
なお、基材の厚みとしては、厚いほど皺が入りにくいが、その作製プロセスと半導体装置作製プロセス上剥がされることを考慮すると10〜200μmが好ましく、20〜60μmがより好ましい。
なお、本発明は、上記長尺フィルムの巻き取り方法を実施した巻き取り装置も範囲内とする。本発明の長尺フィルムの巻き取り装置は、前記長尺のフィルムを巻き取るためのモータと、前記モータにより巻き取られた巻き取り長さと巻き取り張力とを測定する測定手段と、前記測定手段で測定された巻き取り長さの増加により、前記巻き取り張力を低下させるよう制御する制御手段と、を有する。
長尺フィルムを巻き取るためのモータ、測定手段、制御手段等は、上述の各工程を実施するために用いられるものであれば特に制限はない。
具体的には、図5に示すように、長尺のフィルムを巻き取るためのモータ(不示図)と、該モータにより巻き取られた巻き取り長さを測定しつつフィルムを搬送するためのフィルム搬送用ロール32と、巻き取り張力を測定しつつフィルムを搬送するためのフィルム搬送用ロール33と、巻き取り長さの増加により巻き取り張力を制御するためにロールの回転を調整する制御手段35と、予備的に芯材aにロール状に巻き取られているフィルム31の保持手段と、巻き取り張力が制御されて芯材11bに巻き取られたロール状フィルム34の保持手段と、を有する巻き取り装置300が挙げられる。
芯材に巻き取るフィルムとして、以下の図9に示すような接着剤層2と、前記接着剤層2を覆い、前記接着剤層2よりも一回り広く大きく、そして前記接着剤層2とは重なり合わない周縁部を有する粘着剤層と、前記粘着剤層に重なり合ってこれを保護する保護フィルム3をこの順に積層しており、これらを一組として、長尺の基材1の片面に島状に複数個配置された接着シート230を2種類用意し、図5に示す巻き取り装置300を用いて巻き取りを行った。
1つは接着剤層の厚みが10μm、粘着剤層の厚みが10μm及び保護フィルムの厚みが70μmで、かつ基材厚みが38μmで全長が300m、幅が400mmのダイボンドダイシングシート(シート例2)。
巻き取り張力の初期値を10Nとし、巻き取りロール直径が200mmのとき(シート1の場合フィルム長さ135m、シート2の場合293m)の張力が8Nになるように、図5に示す巻き取り装置の制御手段を調整し、巻き取りロールを作製した。
なお、巻き取り張力の初期から、巻き取りロールの直径が200mmとなるまでの間の張力は、図4に示すように10Nから8Nまで無段階に低下していくようにした。
巻き取り張力の初期値を12Nとし、巻き取りロール直径が200mmのとき(シート1の場合フィルム長さ135m、シート2の場合293m)の張力が10Nになるよう巻き取りロールを作製した。
なお、巻き取り張力の初期から、巻き取りロールの直径が200mmとなるまでの間の張力は、図4に示すように12Nから10Nまで無段階に低下していくようにした。
巻き取り張力の初期値を12Nとし、巻き取りロール直径が200mmのとき(シート1の場合フィルム長さ135m、シート2の場合293m)の張力が8Nになるよう巻き取りロールを作製した。
なお、巻き取り張力の初期から、巻き取りロールの直径が200mmとなるまでの間の張力は、図4に示すように12Nから8Nまで無段階に低下していくようにした。
巻き取り張力の初期値を15Nとし、巻き取りロール直径が200mmのとき(シート1の場合フィルム長さ135m、シート2の場合293m)の張力が12Nになるよう巻き取りロールを作製した。
なお、巻き取り張力の初期から、巻き取りロールの直径が200mmとなるまでの間の張力は、図4に示すように15Nから12Nまで無段階に低下していくようにした。
巻き取り張力の初期値を20Nとし、巻き取りロール直径が200mmのとき(シート1の場合フィルム長さ135m、シート2の場合293m)の張力が15Nになるよう巻き取りロールを作製した。
なお、巻き取り張力の初期から、巻き取りロールの直径が200mmとなるまでの間の張力は、図4に示すように20Nから15Nまで無段階に低下していくようにした。
巻き取り張力の初期値を25Nとし、巻き取りロール直径が200mmのとき(シート1の場合フィルム長さ135m、シート2の場合293m)の張力が20Nになるよう巻き取りロールを作製した。
なお、巻き取り張力の初期から、巻き取りロールの直径が200mmとなるまでの間(シート1の場合フィルム長さ135m、シート2の場合293m)の張力は、図4に示すように25Nから20Nまで無段階に低下していくようにした。
巻き取り張力の初期値を8Nとし、巻き取りロール直径が200mmのとき(シート1の場合フィルム長さ135m、シート2の場合293m)の張力が6Nになるよう巻き取りロールを作製した。
なお、巻き取り張力の初期から、巻き取りロールの直径が200mmとなるまでの間の張力は、図4に示すように8Nから6Nまで無段階に低下していくようにした。
巻き取り張力を20Nで常に一定で巻き取りロールを作製した。
巻き跡の転写性を以下の基準にしたがって評価した。
○:ボイドの発生が見られず、巻き跡の転写が抑制できた。
△:ボイドの発生が見られ、巻き跡の転写が抑制できなかった。
×:ロール形状を維持できず、ボイドの評価ができなかった。
2 接着剤層
3 粘着剤層付き保護フィルム
4 接着シートが島状複数個配置された長尺の基材
11、11a、11b 芯材
12 巻き跡
31 予備的にロール状に巻き取られているフィルム
32 巻き取り長さを測定する手段の付いたフィルム搬送用ロール
33 巻き取り張力を測定する手段の付いたフィルム搬送用ロール
34 モータによって制御されて巻き取られたロール状フィルム
35 制御手段
200、210、220 接着シート
230 接着シートロール
300 巻き取り装置
Claims (3)
- 凹凸がある長尺のフィルムをロール状に巻き取る方法であって、前記長尺のフィルムをロール状に巻き取る巻き取り工程と、前記ロール状に巻き取られたフィルムのロール直径と巻き取り張力とを測定する測定工程と、前記測定工程で測定された前記巻き取られたフィルムのロール直径が大きくなるにつれて、且つ前記巻き取り張力の初期値に対して、前記巻き張力を低下させるよう制御する制御工程と、を有し、
前記制御工程において、前記巻き取り張力の前記巻き取り張力の初期値を10〜20Nとし、且つ前記巻き取られたフィルムのロール直径が200mmになったときの巻き取り張力が8〜15Nに制御される、長尺フィルムの巻き取り方法。 - 凹凸がある長尺のフィルムが、接着剤層と、前記接着剤層を覆い且つ前記接着剤層よりも一回り広く大きく、そして前記接着剤層とは重なり合わない周縁部を有する粘着剤層と、前記粘着剤層に重なり合ってこれを保護する保護フィルムと、をこの順に積層しており、これらを一組として、長尺の基材の片面に島状に複数個配置されたものである、請求項1に記載の長尺フィルムの巻き取り方法。
- 凹凸がある長尺のフィルムをロール状に巻き取る装置であって、前記長尺のフィルムを巻き取るためのモータと、前記モータにより巻き取られた巻き取り長さと巻き取り張力とを測定する測定手段と、前記測定手段で測定された巻き取り長さの増加により、前記巻き取り張力を低下させるよう制御する制御手段と、を有する長尺フィルムの巻き取り装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013235605A JP2014051396A (ja) | 2008-04-15 | 2013-11-14 | 長尺フィルムの巻き取り方法及び長尺フィルムの巻き取り装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008105700 | 2008-04-15 | ||
JP2008105700 | 2008-04-15 | ||
JP2013235605A JP2014051396A (ja) | 2008-04-15 | 2013-11-14 | 長尺フィルムの巻き取り方法及び長尺フィルムの巻き取り装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008210593A Division JP5412762B2 (ja) | 2008-04-15 | 2008-08-19 | 長尺フィルムの巻き取り方法及び長尺フィルムの巻き取り装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014051396A true JP2014051396A (ja) | 2014-03-20 |
Family
ID=41440646
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008210593A Active JP5412762B2 (ja) | 2008-04-15 | 2008-08-19 | 長尺フィルムの巻き取り方法及び長尺フィルムの巻き取り装置 |
JP2013235605A Pending JP2014051396A (ja) | 2008-04-15 | 2013-11-14 | 長尺フィルムの巻き取り方法及び長尺フィルムの巻き取り装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008210593A Active JP5412762B2 (ja) | 2008-04-15 | 2008-08-19 | 長尺フィルムの巻き取り方法及び長尺フィルムの巻き取り装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5412762B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2008
- 2008-08-19 JP JP2008210593A patent/JP5412762B2/ja active Active
-
2013
- 2013-11-14 JP JP2013235605A patent/JP2014051396A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009274872A (ja) | 2009-11-26 |
JP5412762B2 (ja) | 2014-02-12 |
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