JP2014051050A - モールド、モールド用ブランク基板及びモールドの製造方法 - Google Patents
モールド、モールド用ブランク基板及びモールドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014051050A JP2014051050A JP2012197806A JP2012197806A JP2014051050A JP 2014051050 A JP2014051050 A JP 2014051050A JP 2012197806 A JP2012197806 A JP 2012197806A JP 2012197806 A JP2012197806 A JP 2012197806A JP 2014051050 A JP2014051050 A JP 2014051050A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- mold
- pattern
- pedestal
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 19
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical group C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 95
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 45
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 20
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 22
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/42—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
- B29C33/424—Moulding surfaces provided with means for marking or patterning
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
- Y10T428/24488—Differential nonuniformity at margin
Abstract
【解決手段】実施形態に係るモールドは、基材と、台座部と、パターン部と、を備える。前記基材は、第1面と、前記第1面とは反対側の第2面と、を有する。前記台座部は、前記基材の前記第1面から突出して設けられ側面を有する。前記パターン部は、前記台座部に設けられ凹凸パターンを有する。前記台座部は、前記凹凸パターンが設けられた第1領域と、前記第1領域と前記側面との間に設けられた第2領域と、を有する。第1領域の最大高さは、第2領域の最大高さと等しい。前記第2領域の前記側面側の部分の第1高さは、前記第2領域の前記第1領域側の部分の第2高さよりも低い。
【選択図】図1
Description
モールドを用いたパターンの形成方法では、モールドによる押印時に有機材料の膜厚を制御することが歩留まりを向上する上で重要である。
前記基材は、第1面と、前記第1面とは反対側の第2面と、を有する。
前記台座部は、前記基材の前記第1面から突出して設けられ側面を有する。
前記パターン部は、前記台座部に設けられ凹凸パターンを有する。
前記台座部は、前記凹凸パターンが設けられた第1領域と、前記第1領域と前記側面との間に設けられた第2領域と、を有する。第1領域の最大高さは、第2領域の最大高さと等しい。
前記第2領域の前記側面側の部分の第1高さは、前記第2領域の前記第1領域側の部分の第2高さよりも低い。
図1(a)〜(c)は、第1の実施形態に係るモールドの構成を例示する模式的断面図である。
図1(a)には、モールド110の全体の概略を例示する模式的断面図が表されている。図1(b)及び(c)には、パターン部Pを拡大した模式的断面図が表されている。
図2(a)及び(b)は、台座部を例示する模式的断面図である。
図2(a)には、図1(a)に表した台座部の一部を拡大した模式的断面図が表されている。図2(b)には、図1(b)に表した台座部の一部を拡大した模式的断面図が表されている。
第2高さh2と第1高さh1との差h21は、例えば、段差計やAFM(Atomic Force Microscope)によって測定される。
図3(a)〜(d)はインプリント法を例示する模式的断面図である。
図3(a)〜(d)では、本実施形態に係るモールド110によってパターンを形成する例を模式的に表している。
図4(a)には参考例に係るモールド190を用いた場合のレジストの拡がりが例示されている。図4(b)には本実施形態に係るモールド110を用いた場合のレジストの拡がりが例示されている。
図5(a)〜(d)では、パターン部Pの凹凸パターンを省略し、台座部の外形を概略的に表している。
次に、第2の実施形態に係るモールドについて説明する。
図6(a)〜(c)は、第2の実施形態に係るモールドの構成を例示する模式的断面図である。
次に、第3の実施形態に係るモールドの製造方法について説明する。
図7は、第3の実施形態に係るモールドの製造方法を例示するフローチャートである。
図8(a)及び(b)は、モールドの製造について例示する模式的断面図である。
パターンを形成する工程(ステップS102)では、台座部20の湾曲面20c’を平坦面に沿わせた際に平坦面上に基準位置と合致する湾曲面20c’上にパターンを形成する。
次に、第4の実施形態に係るモールドの製造方法について説明する。
図9は、第4の実施形態に係るモールドの製造方法を例示するフローチャートである。
図10(a)及び(b)は、モールドの製造について例示する模式的断面図である。
パターンを形成する工程(ステップS202)では、台座部20の湾曲面20c’が平坦になるようにモールド用ブランク基板100を反らせた状態で湾曲面20c’上にパターンを形成する。
Claims (7)
- 第1面と、前記第1面とは反対側の第2面と、を有し、中央部に前記第2面から後退した凹部を有する基材と、
前記基材の厚さ方向にみて前記凹部と重なる領域に設けられ、前記基材の前記第1面から突出して設けられ、側面を有する台座部と、
前記台座部に設けられ凹凸パターンを有するパターン部と、
を備え、
前記台座部は、
前記凹凸パターンが設けられた第1領域と、
前記第1領域と前記側面との間に設けられ、前記第1領域の最大高さと等しい最大高さを有し、表面に湾曲面を有する第2領域と、を有し、
前記第2領域の前記側面側の部分の第1高さは、前記第2領域の前記第1領域側の部分の第2高さよりも低いモールド。 - 第1面と、前記第1面とは反対側の第2面と、を有する基材と、
前記基材の前記第1面から突出して設けられ側面を有する台座部と、
前記台座部に設けられ凹凸パターンを有するパターン部と、
を備え、
前記台座部は、
前記凹凸パターンが設けられた第1領域と、
前記第1領域と前記側面との間に設けられ、前記第1領域の最大高さと等しい最大高さを有する第2領域と、を有し、
前記第2領域の前記側面側の部分の第1高さは、前記第2領域の前記第1領域側の部分の第2高さよりも低いモールド。 - 前記基材は、前記基材の中央部に設けられ前記第2面から後退した凹部を有し、
前記台座部は、前記基材の厚さ方向にみて前記凹部と重なる領域に設けられた請求項2記載のモールド。 - 前記第2領域の表面は、湾曲面を有する請求項2または3に記載のモールド。
- 第1面を有する基材と、
前記基材の前記第1面から突出して設けられた台座部と、
前記台座部に設けられ凹凸パターンを有するパターン部と、
前記台座部の振動を抑制する制振部と、
を備えたモールド。 - 第1面を有する基材と、
前記基材の前記第1面から突出して設けられ側面を有する台座部と、
を備え、
前記台座部は、
第1領域と、
前記第1領域と前記側面との間に設けられ、前記第1領域の最大高さと等しい最大高さを有する第2領域と、を有し、
前記第2領域の前記側面側の部分の第1高さは、前記第2領域の前記第1領域側の部分の第2高さよりも低いモールド用ブランク基板。 - 第1面を有する基材と、前記基材の前記第1面から突出して設けられた台座部と、を含み、前記台座部は、凸型の湾曲面を有するモールド用ブランク基板を用意する工程と、
前記湾曲面が平坦になるように前記モールド用ブランク基板を反らせた状態で前記湾曲面上にパターンを形成する工程と、
を備えたモールドの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012197806A JP5823937B2 (ja) | 2012-09-07 | 2012-09-07 | モールド、モールド用ブランク基板及びモールドの製造方法 |
US13/731,617 US20140072668A1 (en) | 2012-09-07 | 2012-12-31 | Mold and mold blank substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012197806A JP5823937B2 (ja) | 2012-09-07 | 2012-09-07 | モールド、モールド用ブランク基板及びモールドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014051050A true JP2014051050A (ja) | 2014-03-20 |
JP5823937B2 JP5823937B2 (ja) | 2015-11-25 |
Family
ID=50233513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012197806A Expired - Fee Related JP5823937B2 (ja) | 2012-09-07 | 2012-09-07 | モールド、モールド用ブランク基板及びモールドの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140072668A1 (ja) |
JP (1) | JP5823937B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9885118B2 (en) | 2015-02-24 | 2018-02-06 | Toshiba Memory Corporation | Template forming method, template, and template base material |
JP2018157144A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド用マスクブランク及びその製造方法、インプリントモールド及びその製造方法、並びにインプリント方法 |
JP2019145578A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 大日本印刷株式会社 | ブランクス基材、インプリントモールド、インプリントモールドの製造方法及びインプリント方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6497849B2 (ja) * | 2014-04-15 | 2019-04-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
JP6729102B2 (ja) * | 2016-07-08 | 2020-07-22 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールドの製造方法 |
US10991582B2 (en) * | 2016-12-21 | 2021-04-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Template for imprint lithography including a recession, an apparatus of using the template, and a method of fabricating an article |
JP6971865B2 (ja) * | 2018-01-17 | 2021-11-24 | キオクシア株式会社 | 処理装置 |
CN112638612A (zh) * | 2018-08-31 | 2021-04-09 | 东北泰克诺亚奇股份有限公司 | 成形模及透镜 |
US10809448B1 (en) | 2019-04-18 | 2020-10-20 | Facebook Technologies, Llc | Reducing demolding stress at edges of gratings in nanoimprint lithography |
US11541577B2 (en) | 2019-12-18 | 2023-01-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Template apparatus and methods of using the same |
US11562924B2 (en) | 2020-01-31 | 2023-01-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Planarization apparatus, planarization process, and method of manufacturing an article |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170773A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Toppan Printing Co Ltd | インプリントモールドおよびインプリント装置 |
JP2010251601A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Toshiba Corp | テンプレート及びその製造方法、並びにパターン形成方法 |
JP2011245816A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-08 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、インプリントモールド用マスクブランクの製造方法、及びインプリントモールドの製造方法 |
JP2012006219A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Dainippon Printing Co Ltd | ナノインプリント用モールド |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060177535A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Molecular Imprints, Inc. | Imprint lithography template to facilitate control of liquid movement |
US20060177532A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Molecular Imprints, Inc. | Imprint lithography method to control extrusion of a liquid from a desired region on a substrate |
JP5182470B2 (ja) * | 2007-07-17 | 2013-04-17 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド |
-
2012
- 2012-09-07 JP JP2012197806A patent/JP5823937B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-31 US US13/731,617 patent/US20140072668A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170773A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Toppan Printing Co Ltd | インプリントモールドおよびインプリント装置 |
JP2010251601A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Toshiba Corp | テンプレート及びその製造方法、並びにパターン形成方法 |
JP2011245816A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-08 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、インプリントモールド用マスクブランクの製造方法、及びインプリントモールドの製造方法 |
JP2012006219A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Dainippon Printing Co Ltd | ナノインプリント用モールド |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9885118B2 (en) | 2015-02-24 | 2018-02-06 | Toshiba Memory Corporation | Template forming method, template, and template base material |
JP2018157144A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド用マスクブランク及びその製造方法、インプリントモールド及びその製造方法、並びにインプリント方法 |
JP2019145578A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 大日本印刷株式会社 | ブランクス基材、インプリントモールド、インプリントモールドの製造方法及びインプリント方法 |
JP6996333B2 (ja) | 2018-02-16 | 2022-01-17 | 大日本印刷株式会社 | ブランクス基材、インプリントモールド、インプリントモールドの製造方法及びインプリント方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140072668A1 (en) | 2014-03-13 |
JP5823937B2 (ja) | 2015-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5823937B2 (ja) | モールド、モールド用ブランク基板及びモールドの製造方法 | |
US9566741B2 (en) | Imprint method, imprint apparatus, and article manufacturing method | |
JP6019685B2 (ja) | ナノインプリント方法及びナノインプリント装置 | |
JP5637785B2 (ja) | 原版、及びそれを用いた物品の製造方法 | |
JP5942551B2 (ja) | ナノインプリント用マスターテンプレート及びレプリカテンプレートの製造方法 | |
US20080128945A1 (en) | Mold and Molding Apparatus Using the Same | |
JP6300459B2 (ja) | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 | |
JP2013179219A (ja) | パターン形成装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP6333035B2 (ja) | モールド、インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
WO2014175134A1 (ja) | インプリントモールド及びダミーパターン設計方法 | |
TWI643729B (zh) | 壓印設備,製造物件之方法,壓印方法,及獲得配置圖案資訊的方法 | |
JP2013171950A (ja) | パターン形成方法、パターン形成装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2015018983A (ja) | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 | |
JP6578883B2 (ja) | フィルムモールド及びインプリント方法 | |
JP6281592B2 (ja) | レプリカテンプレートの製造方法 | |
JP2013175604A (ja) | パターン形成装置、パターン形成方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP2014103294A (ja) | インプリントモールドとインプリントモールドの作製方法、および、パターン形成方法と半導体装置の製造方法 | |
KR20140076947A (ko) | 몰드 구조체 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법 | |
JP2019160926A (ja) | レプリカテンプレートの製造方法、半導体装置の製造方法、及びマスタテンプレート | |
JP2013161866A (ja) | インプリント方法およびテンプレート | |
JP2016046346A (ja) | テンプレート、テンプレート形成方法および半導体装置の製造方法 | |
US20220137269A1 (en) | Method of manufacturing a plurality of optical elements and product thereof | |
US20220168978A1 (en) | Wafer alignment features | |
JP2024001577A (ja) | テンプレート、パターン形成方法、および半導体装置の製造方法 | |
KR101479010B1 (ko) | 마이크로렌즈 어레이 장치, 제조 방법 및 이를 구비한 태양전지 모듈 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150914 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151008 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |