JP2014041734A5 - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
本発明は、走査型電子顕微鏡に関する。
また、試料近傍に存在する部品の材質は、試料の組成分析に大きな影響を与える。例えば、X線分析を行う際、検出したい元素と同じ物質が、対物レンズ先端の部品に用いられていると、試料からの信号なのか対物レンズ先端からの信号なのかの区別がつかない。その対応策として、対物レンズ先端に分析したい元素を含まない材質のメッキを施すなどの方法がある。しかし、分析する試料が多岐にわたるとメッキによる対応も困難となる。
本発明は、電子ビームカラムを備える走査型電子顕微鏡において、電子ビームカラムにおける対物レンズの先端を着脱可能な部品で構成し、異なる材質の対物レンズの先端を装着できることに関する。
本発明によれば、異なる材質の対物レンズ先端を複数用意することでシステムピークに対応できる。
Claims (6)
- 電子ビームカラムを備える走査型電子顕微鏡において、
前記電子ビームカラムにおける対物レンズの先端を着脱可能な部品で構成し、異なる材質の対物レンズの先端を装着できることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項１に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記異なる材質の対物レンズの先端は、異なるメッキを施した対物レンズの先端であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項１〜２のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡において、
分析対象に合わせて、前記対物レンズの先端を交換することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項１〜３のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡において、
Ｘ線検出器を備えることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1〜４のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡において、
前記走査型電子顕微鏡を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、対物レンズの先端を形成する複数の部品の種類を表示することができることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1〜５のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡において、
前記走査型電子顕微鏡を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、前記部品の種類が不適切であることを警告する表示が可能であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
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