MX361122B - Aparato de difracción de rayos x y método de medición de difracción de rayos x. - Google Patents
Aparato de difracción de rayos x y método de medición de difracción de rayos x.Info
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Abstract
Un aparato de difracción de rayos X de conformidad con un aspecto de la presente invención incluye una unidad de medición configurada para medir un perfil de intensidad de difracción de rayos X de una muestra de ensayo, una unidad de medición de distancia configurada para medir una distancia de separación entre la muestra de ensayo y la unidad de medición, y una unidad de procesamiento de datos configurada para ejecutar procesamiento de corrección en el perfil de intensidad de difracción de rayos X. La unidad de medición incluye una unidad de emisión de rayos X configurada para emitir un rayo X sobre la muestra de ensayo, una unidad de detección de rayos X configurada para detectar de forma unidimensional o bidimensional una pluralidad de rayos X difractados a partir de la muestra de ensayo, y un alojamiento en el cual la unidad de emisión de rayos X y la unidad de detección de rayos X están dispuestas en ubicaciones fijadas con relación a una superficie de referencia. La unidad de procesamiento de datos calcula el desplazamiento de la muestra de ensayo con base en la distancia de separación medida mediante la unidad de medición de distancia, calcula un ángulo de difracción de rayos X real en un punto de medición de la muestra de ensayo, y corrige el perfil de intensidad de difracción de rayos X con base en el ángulo de difracción de rayos X real calculado.
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