JP7165416B2 - X線分析装置、x線分析方法、及びx線分析プログラム - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態に係るX線分析装置はX線回折装置1である。図1は本実施形態に係るX線回折装置1の構造を示す模式図である。図1に示す通り、X線回折装置1は、測定部2及びデータ処理部3を有する。
本発明の第2の実施形態のX線回析装置1は、第1の実施形態において示した図1と共通の構成であり、また、図2、図3に示す処理フローも共通である。第2の実施形態と第1の実施形態とは、演算装置20による不要ピーク推定処理S14の内容に主な差異を有する。ここでは、第2の実施形態に関し第1の実施形態との共通点については、基本的に第1の実施形態の記載内容を援用することとして説明を省略する。以下、第2の実施形態について第1の実施形態との差異を中心に説明する。
本発明の第3の実施形態のX線回析装置1は、第1の実施形態において示した図1と共通の構成であり、また、図2、図3に示す処理フローも共通である。第3の実施形態と第1の実施形態とは、演算装置20による不要ピーク推定処理S14及び不要ピーク除去処理S18の内容に主な差異を有する。ここでは、第3の実施形態に関し第1及び第2の実施形態との共通点については、基本的にそれら実施形態の記載内容を援用することとして説明を省略する。以下、第3の実施形態について上記各実施形態との差異を中心に説明する。
Claims (7)
- 分析の対象とする試料を支持する支持台と、特性X線として前記分析に用いる注目特性X線と前記分析に不要な不要特性X線とを含むX線を前記試料に照射するX線源と、前記試料からの散乱X線を検出する検出器と、前記試料に対する前記X線源の方向と前記検出器の方向とがなす角度を変化させるゴニオメータとを備え、前記ゴニオメータにより前記角度を順次変化させつつ前記検出器により前記散乱X線の強度を測定するX線分析装置であって、さらに、
当該測定により測定データを取得する動作と並行して、既に取得された角度範囲の当該測定データを修正し前記注目特性X線に由来する目的ピークを表示する表示用データを生成する処理を行うデータ処理部を備え、
当該データ処理部は、
散乱角に対する散乱強度の変化を表す前記測定データから回折ピークを検出するピーク検出手段と、
検出された前記回折ピークが前記目的ピークによるものであるとの仮定の下、当該目的ピークのピーク位置に基づいて前記不要特性X線に由来する不要ピークの推定ピーク位置を計算する不要ピーク推定手段と、
前記測定データから前記推定ピーク位置に存在する回折ピークを除去して前記表示用データを生成するデータ修正手段と、
生成された前記表示用データを前記測定と並行して順次、出力する表示用データ出力手段と、
を有することを特徴とするX線分析装置。 - 請求項1に記載のX線分析装置において、
前記不要ピーク推定手段は、前記目的ピークと前記不要ピークとの予め想定される強度比に基づいて、前記推定ピーク位置を求めた前記不要ピークについて前記測定データにおける推定ピーク強度を計算し、
前記データ修正手段は、前記推定ピーク位置に存在する回折ピークを前記推定ピーク強度に応じた強度で除去すること、
を特徴とするX線分析装置。 - 請求項2に記載のX線分析装置において、さらに、
前記支持台が支持する前記試料と前記検出器との間に配置され、前記不要特性X線の強度を選択的に減衰させるX線フィルタを備え、
前記不要ピーク推定手段は、前記X線フィルタの減衰率を考慮して前記推定ピーク強度を計算すること、
を特徴とするX線分析装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1つに記載のX線分析装置において、
前記X線源からの前記不要特性X線には、第1の前記不要ピークを生じる第1の不要特性X線と、第2の前記不要ピークを生じる特性X線であって前記注目特性X線との波長差が前記第1の不要特性X線の当該波長差よりも小さい第2の不要特性X線とが存在し、
前記不要ピーク推定手段は、ピーク位置及びピーク強度に関する前記目的ピークと前記第2の不要ピークとの予め想定される相互関係に基づいて、前記検出された回折ピークについて仮定した前記目的ピークに前記第2の不要ピークが重畳している場合を推定し、その場合には前記相互関係を用いて、前記検出された回折ピークから前記目的ピークのピーク位置を求めて前記第1の不要ピークの前記推定ピーク位置を計算すること、
を特徴とするX線分析装置。 - 請求項4に記載のX線分析装置において、
前記不要ピーク推定手段は、さらに、前記第2の不要ピークの推定ピーク位置を計算し、
前記データ修正手段は、前記測定データから前記第1及び第2の不要ピークそれぞれの前記推定ピーク位置に存在する回折ピークを除去すること、
を特徴とするX線分析装置。 - 分析の対象とする試料を支持する支持台と、特性X線として前記分析に用いる注目特性X線と前記分析に不要な不要特性X線とを含むX線を前記試料に照射するX線源と、前記試料からの散乱X線を検出する検出器と、前記試料に対する前記X線源の方向と前記検出器の方向とがなす角度を変化させるゴニオメータとを備えたX線分析装置を用い、前記ゴニオメータにより前記角度を順次変化させつつ前記検出器により前記散乱X線の強度を測定するX線分析方法であって、
当該測定により測定データを取得する動作と並行して、既に取得された角度範囲の当該測定データを修正し前記注目特性X線に由来する目的ピークを表示する表示用データを生成するデータ処理を行い、
当該データ処理は、
散乱角に対する散乱強度の変化を表す前記測定データから回折ピークを検出するピーク検出ステップと、
検出された前記回折ピークが前記目的ピークによるものであるとの仮定の下、当該目的ピークのピーク位置に基づいて前記不要特性X線に由来する不要ピークの推定ピーク位置を計算する不要ピーク推定ステップと、
前記測定データから前記推定ピーク位置に存在する回折ピークを除去して前記表示用データを生成するデータ修正ステップと、
生成された前記表示用データを前記測定と並行して順次、出力する表示用データ出力ステップと、
を有することを特徴とするX線分析方法。 - 分析の対象とする試料を支持する支持台と、特性X線として前記分析に用いる注目特性X線と前記分析に不要な不要特性X線とを含むX線を前記試料に照射するX線源と、前記試料からの散乱X線を検出する検出器と、前記試料に対する前記X線源の方向と前記検出器の方向とがなす角度を変化させるゴニオメータとを備えたX線分析装置に用いられるコンピュータを動作させるプログラムであって、
当該コンピュータを、
前記ゴニオメータにより前記配置角度を順次変化させつつ前記検出器により前記散乱X線の強度を測定する測定動作制御手段、及び、
前記測定動作制御部により測定データを取得する動作と並行して、既に取得された角度範囲の当該測定データを修正し前記注目特性X線に由来する目的ピークを表示する表示用データを生成する処理を行うデータ処理手段、として機能させ、
当該データ処理手段は、
散乱角に対する散乱強度の変化を表す前記測定データから回折ピークを検出するピーク検出手段と、
検出された前記回折ピークが前記目的ピークによるものであるとの仮定の下、当該目的ピークのピーク位置に基づいて前記不要特性X線に由来する不要ピークの推定ピーク位置を計算する不要ピーク推定手段と、
前記測定データから前記推定ピーク位置に存在する回折ピークを除去して前記表示用データを生成するデータ修正手段と、
生成された前記表示用データを前記測定と並行して順次、出力する表示用データ出力手段と、
を含むことを特徴とするX線分析プログラム。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2020004172A JP7165416B2 (ja) | 2020-01-15 | 2020-01-15 | X線分析装置、x線分析方法、及びx線分析プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2020004172A JP7165416B2 (ja) | 2020-01-15 | 2020-01-15 | X線分析装置、x線分析方法、及びx線分析プログラム |
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JP2021110691A JP2021110691A (ja) | 2021-08-02 |
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ID=77059647
Family Applications (1)
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JP2020004172A Active JP7165416B2 (ja) | 2020-01-15 | 2020-01-15 | X線分析装置、x線分析方法、及びx線分析プログラム |
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