JP2014026281A - フラットパネルディスプレイ用の位相反転ブランクマスク及びフォトマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 大面積のFPD製造に使うために、金属及び窒素(N)、酸素(O)、炭素(C)のような軽元素を含み、これらの組成を変更して透明基板上にエッチング速度の相異なる2層以上の多層膜または連続膜形態の位相反転膜を形成した。これによって、位相反転膜の厚さを薄めることができ、位相反転膜のパターニング時に位相反転膜パターンの境界が鮮明になるようにエッジ部分の断面傾斜が険しく形成され、位相反転膜の均一性を確保可能になることで、さらに微細なパターンを持つ大面積FPD製品を製造できる。
【選択図】 図4
Description
本発明による位相反転ブランクマスクを評価するために、透明基板上に多層の位相反転膜を形成した。
前記位相反転膜上にレジスト膜を形成し、露光及び現象工程を進めてレジスト膜パターンを形成した。
図9は、比較例1の位相反転フォトマスクで位相反転膜パターンを示す。比較例1では、位相反転膜をCrCON単一膜で形成した。図9を参照すれば、位相反転膜が等方性にエッチングされることで位相反転膜パターンのエッジ部分断面傾斜が緩く形成され、位相反転膜パターンの境界が不明に形成されたことが分かる。この時、前記位相反転膜パターンの上部エッジと下部エッジとの水平距離は約150nmであると分かった。
102 透明基板
104 位相反転膜
104a、…104n 薄膜
108 レジスト膜
Claims (18)
- 透明基板上に位相反転膜パターンが備えられたFPD(Flat Pannel Display)用の位相反転フォトマスクであり、
前記位相反転膜パターンは、2層以上の膜が積層された構造に形成されたFPD用の位相反転フォトマスク。 - 前記位相反転膜パターンは、エッジ部分の上部エッジと下部エッジとの水平距離が0nm〜100nmである請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンを構成する各膜は、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、コバルト(Co)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、バナジウム(V)、パラジウム(Pd)、チタン(Ti)、プラチナ(Pt)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、カドミウム(Cd)、ジルコニウム(Zr)、マグネシウム(Mg)、リチウム(Li)、セレン(Se)、銅(Cu)、イットリウム(Y)、硫黄(S)、インジウム(In)、スズ(Sn)、ボロン(B)、ベリリウム(Be)、ナトリウム(Na)、タンタル(Ta)、ハフニウム(Hf)、ニオブ(Nb)、シリコン(Si)のうちいずれか一つ以上の金属物質を含んでなるか、または前記金属物質に窒素(N)、酸素(O)、炭素(C)のうち一つ以上の物質をさらに含んでなることを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンを構成する各膜は、同じエッチング溶液に対してエッチング可能な物質からなり、互いに異なる組成を持ち、前記異なる組成の膜が各1回以上積層して構成されたことを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンを構成する各膜は、Cr、CrO、CrN、CrC、CrON,CrCN、CrCO、CrCON膜のうち一つの膜からなることを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンを構成する各膜は、前記透明基板から上部方向へ行くほど同じエッチング溶液に対してエッチング速度が遅くなることを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンを構成する各膜は、中央部分に配される膜のエッチング速度が、その上部及び下部に配される膜のエッチング速度に比べて、同じエッチング溶液に対して遅いことを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンは、600Å〜1,700Åの厚さを持ち、前記位相反転膜パターンを構成する各膜は、50Å〜1,000Åの厚さを持つことを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンは、200nm〜600nmの露光光に対して160゜〜200゜の位相差を持ち、透過率が1%〜30%であり、200nm〜600nmの露光光に対する各透過率間の差(最大透過率%値−最小透過率%値)が0%〜10%であることを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンは、i線、h線、g線に対する各位相角間の差(最大位相角゜値−最小位相角゜値)が0゜〜50゜であることを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンは、連続膜または多層膜の形態に形成され、前記位相反転膜パターンを構成する各膜は、単一膜または連続膜の形態を持つことを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記位相反転膜パターンの上部または下部に配される機能性膜パターンをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記機能性膜パターンは、遮光膜及び反射防止膜を含む遮光成膜パターン、半透過膜パターン、エッチング阻止膜パターン、ハードマスク膜パターンのうち一つ以上のパターンを含むことを特徴とする請求項12に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記機能性膜パターンは、遮光膜及び反射防止膜を含む遮光成膜パターンであり、前記遮光成膜パターンは、前記透明基板のエッジのブラインド領域に配されるか、またはメイン領域及びブラインド領域にいずれも配されることを特徴とする請求項12に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記遮光成膜パターンは、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、コバルト(Co)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、バナジウム(V)、パラジウム(Pd)、チタン(Ti)、プラチナ(Pt)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、カドミウム(Cd)、ジルコニウム(Zr)、マグネシウム(Mg)、リチウム(Li)、セレン(Se)、銅(Cu)、イットリウム(Y)、硫黄(S)、インジウム(In)、スズ(Sn)、ボロン(B)、ベリリウム(Be)、ナトリウム(Na)、タンタル(Ta)、ハフニウム(Hf)、ニオブ(Nb)、シリコン(Si)のうちいずれか一つ以上の金属物質を含んでなるか、または前記金属物質に窒素(N)、酸素(O)、炭素(C)のうち一つ以上の物質をさらに含んでなることを特徴とする請求項14に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記機能性膜パターンは、遮光膜及び反射防止膜を含む遮光成膜パターンであり、前記遮光成膜パターンは、前記位相反転膜パターンと同じエッチング特性を持つか、またはエッチング選択比を持つことを特徴とする請求項12に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 前記機能性膜パターンは、遮光膜及び反射防止膜を含む遮光成膜パターンであり、前記遮光成膜パターンは、100Å〜1,500Å厚さを持つことを特徴とする請求項12に記載のFPD用の位相反転フォトマスク。
- 請求項1ないし17のうちいずれか一項に記載のFPD用の位相反転フォトマスクを製造するためのFPD用の位相反転ブランクマスクであり、
透明基板上に2層以上の膜が積層された構造に形成された位相反転膜が備えられたFPD用の位相反転ブランクマスク。
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