JP2014013638A - サスペンション用フレキシャー基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、金属支持基板と、金属支持基板上の絶縁層と、絶縁層上の配線層と、絶縁層および配線層上の保護層とを有するサスペンション用フレキシャー基板であって、前記金属支持基板、絶縁層および保護層とが開口されて形成された接続端子部の周辺において、絶縁層と保護層の一方または双方が、平面視で配線層と重なる部分を含む領域において存在していない後退領域を有することを特徴とするサスペンション用フレキシャー基板を提供することにより、上記課題を解決する。
【選択図】図2
Description
図7および図8に示すように、SUS等からなる金属支持基板200と、金属支持基板200の上に形成される第1絶縁層300と、その第1絶縁層300の上に形成される配線層400と、配線層400を被覆する第2絶縁層500とを備えたサスペンション用フレキシャー基板において、フライングリード450を有する接続端子部700は、金属支持基板200および第1絶縁層300を開口して、配線層400の裏面を露出させるとともに、第2絶縁層500を開口して配線層400の表面を露出させ、露出させた配線層400の片面または両面に、必要に応じて金属めっき層を設けることにより形成される。
そして、このようなフライングリード450を有する接続端子部700は、例えば、ボンディングツールなどを用いて、超音波振動を加えることにより、外部端子と接続される。
配線層4はその一端がスライダヘッド設置領域6に連結され、他端が接続端子部7に連結されており、接続端子部7において外部回路の端子と超音波ボンディングによって接合される。
図2(a)は保護層5側から見た平面図、図2(b)は金属支持基板2側(あるいは絶縁層3側)から見た平面図である。また、図3(a)は図2のA−Aにおける断面図であり、図3(b)は図2のB−Bにおける断面図である。図2および図3において接続端子部7は、金属支持基板2、絶縁層3および保護層5のいずれもが開口された領域であり、該領域では配線層4の表裏およびその線幅方向側面4aが露出している。すなわち、例えば図2(b)においては、破線で示された領域Xが接続端子部7である。接続端子部7において、配線層4はフライングリードを形成しており、外部回路の端子との接続性を向上させるため、必要に応じてその片面または両面に金めっき等の他の金属層を有していても良い。
後退領域80の後退長さLが配線層4の線幅に対して小さすぎると、配線層4の断線や変形を起きにくくする効果が発揮されにくくなり、逆に大きすぎると、配線層4が露出する部分が大きくなって配線層4の劣化が起きやすくなり、導電率の悪化やインピーダンス制御への悪影響が考えられるからである。配線層4の線幅は特に限定されないが、例えば10μm〜200μmの範囲が挙げられる。配線層4の線幅が小さすぎると、導電性が悪くなる可能性があり、配線層4の線幅が大きすぎると、サスペンション用フレキシャー基板を十分に高密度化することができない可能性があるためである。
図5(a)は保護層5側から見た平面図、図5(b)は金属支持基板2側(あるいは絶縁層3側)から見た平面図である。また、図6(a)は図5のA−Aにおける断面図であり、図6(b)は図5のB−Bにおける断面図である。図5および図6において、図2および図3と共通する箇所については同じ符号を付し、説明を省略する。本実施例では、接続端子部の外周において、配線層4の保護層5側における保護層5の端部51が、接続端子部から遠ざかる方向に後退しており、後退領域81が形成されている。
また、絶縁層3の後退領域80の全体と対応する保護層5の後退領域81の全体とが、貫通領域85を形成するようにしても良い。
レジスト層92、93の形成方法およびパターニング方法は、上述したレジスト層90、91の形成方法と同様な方法が適用可能である。ここでレジスト層92のパターニング形状を、平面視において並列する複数の配線層4(金属めっき層41)を跨ぐ矩形パターンと、各配線層4上における矩形パターンの外周に接続した半円状のパターンとが、連続的につながった形状としておく。パターニングにより、レジスト層92のうち、保護層5が開口される部分が除去される。
次いで、レジストに対して露光、現像によるパターニングを行った。保護層側のレジストのパターニング形状は、金属支持基板の開口部と同じ中心位置を持つ矩形パターンと、各配線層上における矩形パターンの外周に接続した半円状のパターンとが、連続的につながった形状とし、かつ金属支持基板の開口部よりも面積の小さい形状とした。その後、有機アルカリ液を用いて保護層に対してエッチングを行った。これにより、配線層の保護層側の面のうち、接続端子部および後退領域の部分が露出した。
2 … 金属支持基板
3 … 絶縁層
4 … 配線層
4a … 線幅方向側面
5 … 保護層
6 … スライダヘッド設置領域
7 … 接続端子部
9 … 基板材料
25 … 金属支持基板開口部
31 … (絶縁層の)端部
35 … 絶縁層開口部
35a … 縁
37 … 絶縁層残余部
40 … シード層
41 … 金属めっき層
51 … (保護層の)端部
55 … 保護層開口部
55a … 縁
57 … 保護層残余部
80 … (絶縁層側の)後退領域
81 … (保護層側の)後退領域
85 … 貫通領域
90 … レジスト層
91 … レジスト層
92 … レジスト層
93 … レジスト層
94 … レジスト層
95 … レジスト層
200 … 金属基板
300 … 絶縁層
400 … 配線層
450 … フライングリード
500 … 保護層
700 … 接続端子部
L … 後退長さ
Claims (7)
- 金属支持基板と、金属支持基板上の絶縁層と、絶縁層上の配線層と、絶縁層および配線層上の保護層とを有するサスペンション用フレキシャー基板であって、
前記金属支持基板、絶縁層および保護層がいずれも開口されており、配線層の表裏およびその線幅方向側面が露出している接続端子部を有し、
前記接続端子部の周辺において、絶縁層と保護層の一方または双方が、平面視で配線層と重なる部分を含む領域において存在していない後退領域を有することを特徴とするサスペンション用フレキシャー基板。 - 前記後退領域の周縁において、絶縁層と保護層の一方または双方の層の端部が曲線であることを特徴とする、請求項1に記載のサスペンション用フレキシャー基板。
- 平面視での前記保護層の後退領域の面積が、前記絶縁層の後退領域の面積よりも大きいことを特徴とする、請求項1または2に記載のサスペンション用フレキシャー基板。
- 平面視での前記絶縁層の後退領域の面積が、前記保護層の後退領域の面積よりも大きいことを特徴とする、請求項1または2に記載のサスペンション用フレキシャー基板。
- 前記接続端子部および前記後退領域において、平面視での前記金属支持基板の開口が、前記絶縁層の開口を含んでいることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載のサスペンション用フレキシャー基板。
- 前記後退領域は、前記配線層の前記線幅方向側面に平面視でそれぞれ重なるように別体に設けられていることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載のサスペンション用フレキシャー基板。
- 前記絶縁層と前記保護層の双方が、前記後退領域を有し、
前記絶縁層の前記後退領域の少なくとも一部と前記保護層の前記後退領域の少なくとも一部とが、平面視で互いに重なり合うことにより積層方向に貫通する貫通領域を形成し、
前記貫通領域は、前記配線層の前記線幅方向側面を露出させていることを特徴とする、請求項6に記載のサスペンション用フレキシャー基板。
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