JP5387992B2 - サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1乃至図11を用いて、本発明の第1の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブについて説明する。
各第2分割配線部27a、27bのテール側端部には、後述するテール側導電接続部35を形成するためのテール側配線貫通孔31が設けられている(図4参照)。
この保護層50は、各ヘッド側導電接続部34および各テール側導電接続部35を外方へ露出する開口部51を有している。このことにより、各導電接続部34、35の上面が、外方へ露出するようになっている。なお、図1および図2においては、図面を明瞭にするために、保護層50は省略されている。
このことにより、バネ性材料層11と各配線12との間の絶縁性能を確保するとともに、サスペンション用基板1全体としての剛性が喪失されることを防止することができる。
次に、図12により、本発明の第2の実施の形態におけるサスペンション用基板の製造方法について説明する。
次に、図13乃至図17により、本発明の第3の実施の形態におけるサスペンション用基板について説明する。
次に、図18および図19により、本発明の第4の実施の形態におけるサスペンション用基板について説明する。
次に、図20乃至図23により、本発明の第5の実施の形態におけるサスペンション用基板について説明する。
次に、図24乃至図26により、本発明の第6の実施の形態におけるサスペンション用基板について説明する。
次に、図27乃至図29により、本発明の第7の実施の形態におけるサスペンション用基板について説明する。
次に、図30乃至図32により、本発明の第8の実施の形態におけるサスペンション用基板について説明する。
2 ヘッド部
3 テール部
10 絶縁層
11 バネ性材料層
12 配線
12a 配線材料層
13 積層体
15 書込用配線
16 読取用配線
20 第1書込用配線
21 第1ヘッド側配線部
22a、22b、22c 第1分割配線部
23 第1テール側配線部
25 第2書込用配線
26 第2ヘッド側配線部
27a、27b、27c 第2分割配線部
28 第2テール側配線部
30 ヘッド側配線貫通孔
31 テール側配線貫通孔
32 ヘッド側絶縁貫通孔
33 テール側絶縁貫通孔
34 ヘッド側導電接続部
35 テール側導電接続部
36 金属薄膜層
37 めっき層
40 本体用バネ性材料部
41 ヘッド側配線用バネ性材料部
42 テール側配線用バネ性材料部
43 溝
50 保護層
51 開口部
61 サスペンション
62 ロードビーム
71 ヘッド付サスペンション
72 スライダ
81 ハードディスクドライブ
82 ケース
83 ディスク
84 スピンドルモータ
85 ボイスコイルモータ
86 アーム
90 電源配線
91 ヘッド側電源配線部
92a、92b、92c 分割電源配線部
93 配線貫通孔
94 絶縁貫通孔
95 導電接続部
96 配線用バネ性材料部
97 マイクロウィンドウ
100 基板本体領域
101 接続構造領域
102 素子パッド
110 素子配線
111 テール側素子配線部
112a、112b 分割素子配線部
113 配線貫通孔
114 絶縁貫通孔
115 導電接続部
116 配線用バネ性材料部
121 サスペンション
122 ベースプレート
123 ロードビーム
124 ピエゾ素子
132a テール側分割素子配線部
132b 素子側分割素子配線部
133、143、153 第2の配線貫通孔
134、144、154 第2の絶縁貫通孔
135、145、155 第2の導電接続部
136、146、156 第2の配線用バネ性材料部
142 テール側電源配線部
163 第3の配線貫通孔
164 第3の絶縁貫通孔
165 第3の導電接続部
166 第3の配線用バネ性材料部
Claims (22)
- スライダが実装されるヘッド部から外部接続基板が接続されるテール部に延びるサスペンション用基板であって、前記ヘッド部と前記テール部との間において両側方に配置される一対のアクチュエータ素子が実装されるサスペンション用基板において、
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面に設けられ、導電性を有するバネ性材料層と、
前記絶縁層の他方の面に設けられ、前記テール部から延びるテール側配線部と、
前記絶縁層の前記他方の面に設けられた2つの分割配線部と、を備え、
前記バネ性材料層は、本体用バネ性材料部と、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画された配線用バネ性材料部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する導電接続部が設けられており、
前記分割配線部の各々は、前記導電接続部を介して、前記配線用バネ性材料部に接続され、
2つの前記分割配線部のうちのいずれか一方は、前記テール側配線部に接続され、
前記テール側配線部および2つの前記分割配線部は、実装される前記アクチュエータ素子に電源を供給するように構成され、
一方の前記分割配線部は、一方の前記アクチュエータ素子に接続され、他方の前記分割配線部は、他方の前記アクチュエータ素子に接続されることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記配線用バネ性材料部は、2つの前記分割配線部を導通接続することを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 前記絶縁層の前記他方の面に、互いに隣接する一対の書込用配線および互いに隣接する一対の読取用配線が設けられ、
2つの前記分割配線部は、それらの間に一対の前記書込用配線および一対の前記読取用配線を介在させて、対応する前記アクチュエータ素子に接続されることを特徴とする請求項1または2に記載のサスペンション用基板。 - 前記絶縁層の前記他方の面に、互いに隣接する一対の書込用配線および互いに隣接する一対の読取用配線が設けられ、
一方の前記分割配線部は、前記テール部側に配置されたテール側分割配線部と、前記アクチュエータ素子側に配置された素子側分割配線部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する第2の導電接続部が更に設けられ、
前記バネ性材料層は、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画され、前記配線用バネ性材料部より前記ヘッド部側に配置された第2の配線用バネ性材料部を更に有しており、
前記一方の分割配線部の前記テール側分割配線部と、前記素子側分割配線部は、前記第2の導電接続部を介して前記第2の配線用バネ性材料部に接続され、
前記一方の分割配線部の前記テール側分割配線部は、一対の書込用配線と一対の読取用配線との間に介在され、
前記一方の分割配線部の前記素子側分割配線部と他方の前記分割配線部は、それらの間に、一対の前記書込用配線および一対の前記読取用配線を介在させて、対応する前記アクチュエータ素子に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のサスペンション用基板。 - 前記第2の配線用バネ性材料部は、前記一方の分割配線部の前記テール側分割配線部と前記素子側分割配線部とを導通接続することを特徴とする請求項4に記載のサスペンション用基板。
- 前記絶縁層の前記他方の面に、実装される前記スライダに電源を供給する電源配線が設けられ、
前記絶縁層の前記他方の面に、互いに隣接する一対の書込用配線および互いに隣接する一対の読取用配線が設けられ、
前記電源配線は、前記ヘッド部から延びるヘッド側電源配線部と、前記テール部に延びるテール側電源配線部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する第2の導電接続部が更に設けられ、
前記バネ性材料層は、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画され、前記配線用バネ性材料部より前記テール部側に配置された第2の配線用バネ性材料部を更に有しており、
前記電源配線の前記ヘッド側電源配線部と、前記テール側電源配線部は、前記第2の導電接続部を介して前記第2の配線用バネ性材料部に接続され、
前記電源配線の前記ヘッド側電源配線部は、一対の前記書込用配線と、一対の前記読取用配線との間に介在され、
前記テール側配線部と前記電源配線の前記テール側電源配線部との間に、一対の前記書込用配線および一対の前記読取用配線が介在されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - 前記第2の配線用バネ性材料部は、前記電源配線の前記ヘッド側電源配線部と前記テール側電源配線部とを導通接続することを特徴とする請求項6に記載のサスペンション用基板。
- 前記絶縁層の前記他方の面に、実装される前記スライダに電源を供給する電源配線が設けられ、
前記絶縁層の前記他方の面に、互いに隣接する一対の書込用配線および互いに隣接する一対の読取用配線が設けられ、
前記電源配線は、前記ヘッド部から延びるヘッド側電源配線部と、2つの分割電源配線部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する第2の導電接続部が更に設けられ、
前記バネ性材料層は、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画され、前記配線用バネ性材料層より前記テール部側に配置された第2の配線用バネ性材料部を更に有しており、
前記電源配線の前記分割電源配線部の各々は、前記第2の導電接続部を介して前記第2の配線用バネ性材料部に接続され、
2つの前記分割電源配線部のうちのいずれか一方は、前記ヘッド側電源配線部に接続され、
前記電源配線の前記ヘッド側電源配線部および一方の前記分割電源配線部は、一対の前記書込用配線と、一対の前記読取用配線との間に介在され、
前記テール側配線部と、前記電源配線の他方の前記分割電源配線部との間に、一対の前記書込用配線および一対の前記読取用配線が介在されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - 前記第2の配線用バネ性材料部は、前記電源配線の2つの前記分割電源配線部を導通接続することを特徴とする請求項8に記載のサスペンション用基板。
- 前記電源配線は、前記テール部に延びるテール側電源配線部を更に有しており、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する第3の導電接続部が更に設けられ、
前記バネ性材料層は、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画され、前記第2の配線用材料部より前記テール部側に配置された第3の配線用バネ性材料部を更に有しており、
前記電源配線の前記分割電源配線部の各々は、前記第3の導電接続部を介して、前記第3の配線用バネ性材料部に接続され、
2つの前記分割電源配線部のうちのいずれか一方は、前記テール側電源配線部に接続されていることを特徴とする請求項8または9に記載のサスペンション用基板。 - 前記第3の配線用バネ性材料部は、前記電源配線の2つの前記分割電源配線部を導通接続することを特徴とする請求項10に記載のサスペンション用基板。
- スライダが実装されるヘッド部から外部接続基板が接続されるテール部に延びるサスペンション用基板であって、前記ヘッド部と前記テール部との間において両側方に配置される一対のアクチュエータ素子が実装されるサスペンション用基板において、
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面に設けられ、導電性を有するバネ性材料層と、
前記絶縁層の他方の面に設けられ、前記テール部から延びるテール側配線部と、
前記絶縁層の前記他方の面に設けられた2つの分割配線部と、を備え、
前記バネ性材料層は、本体用バネ性材料部と、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画された配線用バネ性材料部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する導電接続部が設けられており、
前記分割配線部の各々は、前記導電接続部を介して、前記配線用バネ性材料部に接続され、
2つの前記分割配線部のうちのいずれか一方は、前記テール側配線部に接続され、
前記テール側配線部および2つの前記分割配線部は、実装される前記アクチュエータ素子に電源を供給するように構成され、
前記絶縁層の前記他方の面に、互いに隣接する一対の書込用配線および互いに隣接する一対の読取用配線が設けられ、
一方の前記分割配線部は、前記テール部側に配置されたテール側分割配線部と、前記アクチュエータ素子側に配置された素子側分割配線部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する第2の導電接続部が更に設けられ、
前記バネ性材料層は、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画され、前記配線用バネ性材料部より前記ヘッド部側に配置された第2の配線用バネ性材料部を更に有しており、
前記一方の分割配線部の前記テール側分割配線部と、前記素子側分割配線部は、前記第2の導電接続部を介して前記第2の配線用バネ性材料部に接続され、
前記一方の分割配線部の前記テール側分割配線部は、一対の書込用配線と一対の読取用配線との間に介在され、
前記一方の分割配線部の前記素子側分割配線部と他方の前記分割配線部は、それらの間に、一対の前記書込用配線および一対の前記読取用配線を介在させて、対応する前記アクチュエータ素子に接続されていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記第2の配線用バネ性材料部は、前記一方の分割配線部の前記テール側分割配線部と前記素子側分割配線部とを導通接続することを特徴とする請求項12に記載のサスペンション用基板。
- スライダが実装されるヘッド部から外部接続基板が接続されるテール部に延びるサスペンション用基板であって、前記ヘッド部と前記テール部との間において両側方に配置される一対のアクチュエータ素子が実装されるサスペンション用基板において、
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面に設けられ、導電性を有するバネ性材料層と、
前記絶縁層の他方の面に設けられ、前記テール部から延びるテール側配線部と、
前記絶縁層の前記他方の面に設けられた2つの分割配線部と、を備え、
前記バネ性材料層は、本体用バネ性材料部と、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画された配線用バネ性材料部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する導電接続部が設けられており、
前記分割配線部の各々は、前記導電接続部を介して、前記配線用バネ性材料部に接続され、
2つの前記分割配線部のうちのいずれか一方は、前記テール側配線部に接続され、
前記テール側配線部および2つの前記分割配線部は、実装される前記アクチュエータ素子に電源を供給するように構成され、
前記絶縁層の前記他方の面に、実装される前記スライダに電源を供給する電源配線が設けられ、
前記絶縁層の前記他方の面に、互いに隣接する一対の書込用配線および互いに隣接する一対の読取用配線が設けられ、
前記電源配線は、前記ヘッド部から延びるヘッド側電源配線部と、前記テール部に延びるテール側電源配線部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する第2の導電接続部が更に設けられ、
前記バネ性材料層は、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画され、前記配線用バネ性材料部より前記テール部側に配置された第2の配線用バネ性材料部を更に有しており、
前記電源配線の前記ヘッド側電源配線部と、前記テール側電源配線部は、前記第2の導電接続部を介して前記第2の配線用バネ性材料部に接続され、
前記電源配線の前記ヘッド側電源配線部は、一対の前記書込用配線と、一対の前記読取用配線との間に介在され、
前記テール側配線部と前記電源配線の前記テール側電源配線部との間に、一対の前記書込用配線および一対の前記読取用配線が介在されていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記第2の配線用バネ性材料部は、前記電源配線の前記ヘッド側電源配線部と前記テール側電源配線部とを導通接続することを特徴とする請求項14に記載のサスペンション用基板。
- スライダが実装されるヘッド部から外部接続基板が接続されるテール部に延びるサスペンション用基板であって、前記ヘッド部と前記テール部との間において両側方に配置される一対のアクチュエータ素子が実装されるサスペンション用基板において、
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面に設けられ、導電性を有するバネ性材料層と、
前記絶縁層の他方の面に設けられ、前記テール部から延びるテール側配線部と、
前記絶縁層の前記他方の面に設けられた2つの分割配線部と、を備え、
前記バネ性材料層は、本体用バネ性材料部と、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画された配線用バネ性材料部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する導電接続部が設けられており、
前記分割配線部の各々は、前記導電接続部を介して、前記配線用バネ性材料部に接続され、
2つの前記分割配線部のうちのいずれか一方は、前記テール側配線部に接続され、
前記テール側配線部および2つの前記分割配線部は、実装される前記アクチュエータ素子に電源を供給するように構成され、
前記絶縁層の前記他方の面に、実装される前記スライダに電源を供給する電源配線が設けられ、
前記絶縁層の前記他方の面に、互いに隣接する一対の書込用配線および互いに隣接する一対の読取用配線が設けられ、
前記電源配線は、前記ヘッド部から延びるヘッド側電源配線部と、2つの分割電源配線部とを有し、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する第2の導電接続部が更に設けられ、
前記バネ性材料層は、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画され、前記配線用バネ性材料層より前記テール部側に配置された第2の配線用バネ性材料部を更に有しており、
前記電源配線の前記分割電源配線部の各々は、前記第2の導電接続部を介して前記第2の配線用バネ性材料部に接続され、
2つの前記分割電源配線部のうちのいずれか一方は、前記ヘッド側電源配線部に接続され、
前記電源配線の前記ヘッド側電源配線部および一方の前記分割電源配線部は、一対の前記書込用配線と、一対の前記読取用配線との間に介在され、
前記テール側配線部と、前記電源配線の他方の前記分割電源配線部との間に、一対の前記書込用配線および一対の前記読取用配線が介在されていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記第2の配線用バネ性材料部は、前記電源配線の2つの前記分割電源配線部を導通接続することを特徴とする請求項16に記載のサスペンション用基板。
- 前記電源配線は、前記テール部に延びるテール側電源配線部を更に有しており、
前記絶縁層に、当該絶縁層を貫通する第3の導電接続部が更に設けられ、
前記バネ性材料層は、前記本体用バネ性材料部に溝を介して区画され、前記第2の配線用材料部より前記テール部側に配置された第3の配線用バネ性材料部を更に有しており、
前記電源配線の前記分割電源配線部の各々は、前記第3の導電接続部を介して、前記第3の配線用バネ性材料部に接続され、
2つの前記分割電源配線部のうちのいずれか一方は、前記テール側電源配線部に接続されていることを特徴とする請求項16または17に記載のサスペンション用基板。 - 前記第3の配線用バネ性材料部は、前記電源配線の2つの前記分割電源配線部を導通接続することを特徴とする請求項18に記載のサスペンション用基板。
- 請求項1乃至19のいずれかに記載の前記サスペンション用基板を有することを特徴とするサスペンション。
- 請求項20に記載の前記サスペンションと、前記サスペンションに実装された前記スライダとを有することを特徴とするヘッド付サスペンション。
- 請求項21に記載の前記ヘッド付サスペンションを有することを特徴とするハードディスクドライブ。
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