JP2014006953A - タンタル合金層を含む装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基準層、自由層、および基準層と自由層との間に位置決めされたバリア層を含むセンサ積層体と、シード層と、キャップ層とを含む装置であって、センサ積層体は、シード層とキャップ層との間に位置決めされ、シード層またはキャップ層のうちの少なくとも1つは、TaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、装置を提供する。
【選択図】図1
Description
本願は、2012年6月25日に出願された、整理番号430.17140000を有する、「タンタル合金層を含む装置(DEVICES INCLUDING TANTALUM ALLOY LAYERS)」と題される米国仮出願番号61/663,721の優先権を主張し、その開示は引用によって本明細書に援用される。
磁気読取装置で用いられる磁気抵抗ヘッドなどの、現在利用されている磁気抵抗装置は、磁気層の成長を助けるためにシード層およびキャップ層としてタンタル(Ta)を利用する。Taのミリング速度は積層体中の他の材料よりも遅い可能性があり、その結果、ミリングおよびラッピングプロセス中に問題が生じる。
基準層(リファレンス層)、自由層(フリー層)、および基準層と自由層との間に位置決めされたバリア層を含むセンサ積層体と、シード層と、キャップ層とを含む装置であって、センサ積層体は、シード層とキャップ層との間に位置決めされ、シード層またはキャップ層のうちの少なくとも1つは、TaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、装置が本明細書に開示されている。
以下の説明では、本明細書の一部を構成し、かつ、いくつかの具体的な実施の形態が例として示される添付の図面一式を参照する。他の実施の形態が意図され、本開示の範囲または精神から逸脱することなく他の実施の形態がなされ得ることが理解される。したがって、以下の詳細な説明は限定的な意味で解釈すべきではない。
Claims (17)
- 基準層、自由層、および前記基準層と前記自由層との間に位置決めされたバリア層を備えるセンサ積層体と、
シード層と、
キャップ層とを備える装置であって、
前記センサ積層体は、前記シード層と前記キャップ層との間に位置決めされ、前記シード層または前記キャップ層のうちの少なくとも1つは、TaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、装置。 - 前記シード層および前記キャップ層は非晶質である、請求項1に記載の装置。
- 前記シード層は、TaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記キャップ層は、TaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記シード層および前記キャップ層は両方とも、独立してTaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記シード層または前記キャップ層のうちの少なくとも1つはTaCrを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記TaCr中のCrの原子パーセントは、約1%〜約80%である、請求項6に記載の装置。
- 前記TaCr中のCrの原子パーセントは、約20%〜約60%である、請求項6に記載の装置。
- 前記TaCr中のCrの原子パーセントは、約30%〜約50%である、請求項6に記載の装置。
- 底部シールドと、
前記底部シールドに隣接して位置決めされたシード層と、
前記シード層に隣接して位置決めされ、基準層、自由層、および前記基準層と前記自由層との間に位置決めされたバリア層を備えるセンサ積層体と、
前記センサ積層体に隣接して位置決めされたキャップ層と、
前記キャップ層に隣接して位置決めされた上部シールドとを備える磁気抵抗装置であって、
前記シード層または前記キャップ層のうちの少なくとも1つは、TaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、磁気抵抗装置。 - 前記シード層および前記キャップ層は非晶質である、請求項10に記載の磁気抵抗装置。
- 前記シード層は、TaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、請求項10に記載の磁気抵抗装置。
- 前記キャップ層は、TaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、請求項10に記載の磁気抵抗装置。
- 前記シード層および前記キャップ層は両方とも、独立してTaX(式中、XはCr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Wまたはそれらの組合せから選択される)を含む、請求項10に記載の磁気抵抗装置。
- 前記シード層または前記キャップ層のうちの少なくとも1つはTaCrを含む、請求項10に記載の磁気抵抗装置。
- 前記TaCr中のCrの原子パーセントは、約20%〜約60%である、請求項15に記載の磁気抵抗装置。
- 前記TaCr中のCrの原子パーセントは、約30%〜約50%である、請求項15に記載の磁気抵抗装置。
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