JP2013539222A - スピン注入型メモリセル構造および方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1A
Description
Claims (31)
- 強磁性記憶材料と、反強磁性材料と接するピンド強磁性記憶材料との間に位置づけられたトンネルバリア材料を備え、
前記トンネルバリア材料はマルチフェロイック材料であり、前記反強磁性材料、前記強磁性記憶材料、および前記ピンド強磁性材料は、第1の電極と第2の電極との間に位置づけられる、
スピン注入型(STT)メモリセル構造。 - 第3の電極であって、前記第3の電極と、前記第1の電極および前記第2の電極のうちの少なくとも一方との間に印加された電圧に応じて、前記マルチフェロイック材料に電界をもたらすよう構成される、第3の電極を含む、
請求項1に記載のメモリセル構造。 - 前記マルチフェロイック材料にもたらされた前記電界は、
前記マルチフェロイック材料の反強磁性秩序および/または強磁性秩序に変化を引き起こすため、および
前記強磁性記憶材料の磁化が変化するように、前記マルチフェロイック材料と前記強磁性記憶材料との間に反強磁性交換結合および/または強磁性交換結合をもたらすために十分である、
請求項2に記載のメモリセル構造。 - 前記第3の電極は、垂直アクセスデバイスのゲートである、
請求項2に記載のメモリセル構造。 - 第3の電極と、
第4の電極であって、前記第3の電極と前記第4の電極との間に印加された電圧に応じて、前記マルチフェロイック材料に電界をもたらすよう構成される、第4の電極を含む、
請求項1から4のいずれか一項に記載のメモリセル構造。 - 前記第3の電極および前記第4の電極のうちの少なくとも一方は、垂直アクセスデバイスのゲートである、
請求項5に記載のメモリセル構造。 - 誘電体材料が、前記マルチフェロイック材料と、前記第3の電極および前記第4の電極との間に位置づけられる、
請求項5に記載のメモリセル構造。 - 前記マルチフェロイック材料が、前記強磁性記憶材料および前記ピンド強磁性材料と接する、
請求項1から4のいずれか一項に記載のメモリセル構造。 - 前記マルチフェロイック材料が、ビスマスフェライト(BiFeO3)である、
請求項1に記載のメモリセル構造。 - 前記マルチフェロイック材料が、厚さ約1ナノメートル(nm)以下である、
請求項1から4のいずれか一項に記載のメモリセル構造。 - スタック構造であって、
上部電極と底部電極との間に位置づけられ、そのトンネルバリア材料が第1のマルチフェロイック材料である、第1の磁気トンネル接合(MTJ)素子と、
前記上部電極と前記底部電極との間に位置づけられ、そのトンネルバリア材料が第2のマルチフェロイック材料である、第2のMTJ素子とを含む、スタック構造と、
前記スタック構造に結合したアクセスデバイスと、を備える
スピン注入型(STT)メモリセル。 - 前記アクセスデバイスは、垂直アクセスデバイスであり、前記第1のマルチフェロイック材料および前記第2のマルチフェロイック材料は、前記垂直アクセスデバイスの第1のゲート電極と第2のゲート電極との間に配置される、
請求項11に記載のメモリセル。 - 前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極は、前記STTメモリセルで実行されたプログラミング操作に伴って、前記第1のMTJおよび前記第2のMTJの前記トンネルバリア材料に電界をもたらすよう構成される、
請求項12に記載のメモリセル。 - 前記第1のマルチフェロイック材料は、前記第1のMTJ素子と関連づけられた第1の強磁性記憶材料と第1のピンド強磁性材料との間に位置づけられ、
前記第2のマルチフェロイック材料は、前記第2のMTJ素子と関連づけられた第2の強磁性記憶材料と第2のピンド強磁性材料との間に位置づけられる、
請求項11に記載のメモリセル。 - 前記スタック構造は、前記第1のピンド強磁性材料と前記第2のピンド強磁性材料との間に位置づけられた反強磁性材料を含む、
請求項14に記載のメモリセル。 - 前記第1の強磁性記憶材料は、前記上部電極と接し、前記第2の強磁性記憶材料は、前記底部電極と接する、
請求項14に記載のメモリセル。 - 前記第1のマルチフェロイック材料および前記第2のマルチフェロイック材料は、異なる強誘電性分極率を有する、
請求項11から16のいずれか一項に記載のメモリセル。 - 上部電極と底部電極との間に位置づけられ、そのトンネルバリア材料がマルチフェロイック材料である磁気トンネル接合(MTJ)素子と、
前記MTJ素子に結合された垂直アクセスデバイスとを備える、
スピン注入型(STT)メモリセル。 - 前記マルチフェロイック材料は、前記垂直アクセスデバイスの第1のゲート電極と第2のゲート電極との間に配置される、
請求項18に記載のメモリセル。 - 前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極の少なくとも一方は、前記STTメモリセルで実行されたプログラミング操作に伴って、前記マルチフェロイック材料に電界をもたらすよう構成される、
請求項19に記載のメモリセル。 - 前記マルチフェロイック材料は、
前記MTJ素子の強磁性記憶材料の第1の縁部と整合した第1の縁部と、
前記MTJ素子の前記強磁性記憶材料の第2の縁部と整合した第2の縁部とを含む、
請求項18から20のいずれか一項に記載のメモリセル。 - スピン注入型(STT)メモリセルを操作する方法であって、
第1の磁気トンネル接合(MTJ)素子の第1のマルチフェロイックトンネルバリア材料に電界をもたらすことによって、前記STTメモリセルの前記第1のMTJ素子の第1のフリー強磁性記憶材料の磁化方向を変えること、を含む、
方法。 - 前記第1のフリー強磁性記憶材料の前記磁化方向を変えることは、第1の構成から第2の構成に前記磁化方向をスイッチングすることを含む、
請求項22に記載の方法。 - 前記第1の構成から前記第2の構成に前記磁化方向をスイッチングすることは、
前記MTJ素子のピンド強磁性材料の磁化方向に平行な構成から、前記ピンド強磁性材料の前記磁化方向に逆平行の磁化方向に前記磁化方向をスイッチングすることと、
前記ピンド強磁性材料の前記磁化方向に逆平行な構成から、前記ピンド強磁性材料の前記磁化方向に平行な磁化方向に前記磁化方向をスイッチングすることと、のうちの少なくとも一つを含む、
請求項23に記載の方法。 - 前記第1のマルチフェロイックトンネルバリア材料にもたらされた前記電界によって引き起こされた前記STTメモリセルの状態を判断することを含む、
請求項22に記載の方法。 - 前記STTメモリセルを通るプログラミング電流を後にもたらすことを含む、
請求項22に記載の方法。 - 前記第1のマルチフェロイックトンネルバリア材料に前記電界をもたらすことは、前記STTメモリセルに対応する垂直アクセスデバイスの第1のゲート電極と第2のゲート電極との間に電圧差を印加することを含む、
請求項22に記載の方法。 - 前記STTメモリセルの第2のMTJ素子の第2のマルチフェロイックトンネルバリア材料に前記電界をもたらすことによって、前記第2のMTJ素子の第2のフリー強磁性記憶材料の磁化方向を変えることを含む、
請求項22から27のいずれか一項に記載の方法。 - 前記STTメモリセルは、底部電極、上部電極、第1の追加電極、および第2の追加電極を含み、前記第1のマルチフェロイックトンネルバリア材料および前記第2のマルチフェロイックトンネルバリア材料に前記電界をもたらすことは、前記第1の追加電極と前記第2の追加電極との間に電圧差を印加することを含む、
請求項28に記載の方法。 - 前記第1の追加電極および前記第2の追加電極は、前記STTメモリセルと関連づけられた垂直アクセスデバイスのゲート電極である、
請求項29に記載の方法。 - 前記STTメモリセルを通じてもたらされる読出し電流に応じて、前記STTメモリセルのデータ状態を判断することを含む、
請求項22から27のいずれか一項に記載の方法。
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