JP2013532231A5 - - Google Patents
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- タッチパネルで使用される透明体(10)を製造するプロセスであって、
第1の透明層スタック(12)を基板(14)の上に堆積させるステップであり、前記第1の透明層スタック(12)が第1の誘電体膜(16)、第2の誘電体膜(18)、および第3の誘電体膜(20)を含み、前記第1および前記第3の誘電体膜が低い屈折率を有し、前記第2の誘電体膜が高い屈折率を有する、ステップと、
前記第1の透明層スタック(12)および透明導電膜(22)が前記基板(14)の上にこの順序で配置されるように前記透明導電膜(22)を堆積させるステップと
を含み、
前記第1の誘電体膜(16)、前記第2の誘電体膜(18)、前記第3の誘電体膜(20)、または前記透明導電膜(22)のうちの少なくとも1つが回転ターゲット(122、124、126、128、322、324、326、328)のスパッタリングによって堆積される、プロセス。 - 前記透明導電膜(22)をパターニングするステップをさらに含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記第1の誘電体膜(16)、前記第2の誘電体膜(18)、および前記第3の誘電体膜(20)が前記基板の上にこの順序で配置される、請求項1または2に記載のプロセス。
- 前記第1および前記第3の誘電体膜が1.5未満の屈折率を有し、前記第2の誘電体膜が少なくとも1.8の屈折率を有する、請求項1ないし3のいずれか一項に記載のプロセス。
- 前記第1の誘電体膜または前記第3の誘電体膜の少なくとも一方が酸化ケイ素またはフッ化マグネシウムを含む、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のプロセス。
- 前記第2の誘電体膜が金属酸化物、金属窒化物、または金属酸窒化物を含む、請求項1ないし5のいずれか一項に記載のプロセス。
- 前記第2の誘電体膜が誘電体材料の直接スパッタリングによって堆積される、請求項1ないし6のいずれか一項に記載のプロセス。
- タッチパネルで使用される透明体(10)を製造するための堆積装置(100)であって、
第1の透明層スタック(12)を基板(14)の上に堆積させるように構成された第1の堆積アセンブリ(102)であり、前記第1の透明層スタック(12)が第1の誘電体膜(16)、第2の誘電体膜(18)、および第3の誘電体膜(20)を含み、前記第1および前記第3の誘電体膜が低い屈折率を有し、前記第2の誘電体膜が高い屈折率を有する、第1の堆積アセンブリ(102)と、
透明導電膜(22)を堆積させるように構成された第2の堆積アセンブリ(104)と
を備え、
前記第1の堆積アセンブリ(102)および前記第2の堆積アセンブリ(104)は、前記第1の透明層スタック(12)および前記透明導電膜(22)が前記基板(14)の上にこの順序で配置されるように配列され、
前記第1の堆積アセンブリ(102)または前記第2の堆積アセンブリの少なくとも一方が回転ターゲット(122、124、126、128、322、324、326、328)に動作可能に結合されたスパッタリングシステム(120、123、125、127)を含み、前記スパッタリングシステムが前記第1の誘電体膜(16)、前記第2の誘電体膜(18)、前記第3の誘電体膜(20)、または前記透明導電膜(22)のうちの少なくとも1つを前記回転ターゲットのスパッタリングによって堆積させるように構成される、装置。 - 前記第1の堆積アセンブリ(102)が、前記第1の誘電体膜(16)、前記第2の誘電体膜(18)、および前記第3の誘電体膜(20)を前記基板の上にこの順序で堆積させるように構成される、請求項8に記載の装置。
- 前記第1の堆積アセンブリ(102)および前記第2の堆積アセンブリ(104)が前記第1の透明層スタック(12)および前記透明導電膜(22)をマグネトロンスパッタリングによって堆積させるように構成される、請求項8または9に記載の装置。
- 前記第1の透明層スタックの少なくとも1つの一部を形成する前記膜のうちの少なくとも1つまたは前記透明導電膜の光学的性質を堆積の間測定するように構成された測定システム(138)をさらに備える、請求項8ないし10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記第1の堆積アセンブリ(102)が、前記第2の誘電体膜(20)を誘電体材料の直接スパッタリングによって堆積させるように構成される、請求項8ないし11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記第1の堆積アセンブリ(102)および前記第2の堆積アセンブリ(104)は、前記第1の誘電体膜(16)、前記第2の誘電体膜(18)、前記第3の誘電体膜(20)、および前記透明導電膜(22)が前記回転ターゲットのスパッタリングによって堆積され得るように構成された複数の回転ターゲット(122、124、126、128、322、324、326、328)を含む、請求項8ないし12のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1ないし7のいずれか一項に記載のプロセスによって製造される透明体(10)であって、
基板(14)の上の第1の透明層スタック(12)であり、第1の誘電体膜(16)、第2の誘電体膜(18)、第3の誘電体膜(20)および透明導電膜(22)を含む、第1の透明層スタック(12)を含み、
前記第1の透明層スタック(12)および前記透明導電膜(22)が前記基板(14)の上にこの順序で配置され、前記第1および前記第3の誘電体膜が低い屈折率を有し、前記第2の誘電体膜が高い屈折率を有する、透明体(10)。 - 請求項14に記載の透明体(10)を備えるタッチパネル。
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US9769922B2 (en) * | 2012-02-15 | 2017-09-19 | Heung Sang Yu | White color coating layer-formed touch screen panel and white color coating layer vacuum coating method of touch screen panel |
WO2013143615A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Applied Materials, Inc. | Transparent body for use in a touch panel and its manufacturing method and apparatus |
KR101890790B1 (ko) * | 2012-03-30 | 2018-08-22 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 터치 스크린 패널에서 이용하기 위한 투명 바디 및 그 제조 방법 및 시스템 |
JP2013214185A (ja) * | 2012-04-02 | 2013-10-17 | Toppan Printing Co Ltd | タッチパネルセンサー及びその製造方法 |
WO2013172055A1 (ja) * | 2012-05-17 | 2013-11-21 | 株式会社カネカ | 透明電極付き基板およびその製造方法、ならびにタッチパネル |
JP6122253B2 (ja) * | 2012-05-22 | 2017-04-26 | 株式会社オプトラン | 静電容量型タッチパネル基板及びその製造方法並びに製造装置 |
TWI472977B (zh) * | 2012-09-13 | 2015-02-11 | Rtr Tech Technology Co Ltd | 觸控面板及其製造方法 |
US10222921B2 (en) | 2012-11-27 | 2019-03-05 | Guardian Glass, LLC | Transparent conductive coating for capacitive touch panel with silver having increased resistivity |
US9557871B2 (en) | 2015-04-08 | 2017-01-31 | Guardian Industries Corp. | Transparent conductive coating for capacitive touch panel or the like |
KR20140071058A (ko) * | 2012-12-03 | 2014-06-11 | 코닝정밀소재 주식회사 | 롤투롤 스퍼터링 장치 |
KR20140084686A (ko) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | 코닝정밀소재 주식회사 | 투명 도전성 기재, 이의 제조방법, 및 이를 구비한 터치 패널 |
US10175829B2 (en) * | 2013-03-15 | 2019-01-08 | Applied Materials, Inc. | Transparent body with single substrate and anti-reflection and/or anti-fingerprint coating at an opposite side of the substrate from a structured transparent conductive film, and method of manufacturing thereof |
JP6155537B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-07-05 | エルジー・ケム・リミテッド | 導電性パターン積層体およびその製造方法、並びに導電性パターン積層体を含む電子装置およびタッチスクリーン |
JP6505370B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2019-04-24 | 荒川化学工業株式会社 | 積層体およびインデックスマッチング層形成用組成物 |
CN103218102B (zh) * | 2013-05-10 | 2015-11-18 | 洛阳康耀电子有限公司 | 一种电容屏用双面镀膜玻璃的加工方法及双面镀膜玻璃 |
CN103395247B (zh) * | 2013-07-30 | 2015-05-13 | 深圳欧菲光科技股份有限公司 | 盖板玻璃及其制备方法 |
AT13879U1 (de) * | 2013-10-04 | 2014-10-15 | Plansee Se | Berührungssensoranordnung |
EP2863291A1 (en) * | 2013-10-18 | 2015-04-22 | Applied Materials, Inc. | Transparent body for a touch panel manufacturing method and system for manufacturing a transparent body for a touch screen panel |
KR102088769B1 (ko) * | 2014-04-02 | 2020-04-16 | 한국전자통신연구원 | 터치 스크린 패널 제작 방법 및 터치 스크린 패널 |
CN104176947B (zh) * | 2014-08-07 | 2016-08-24 | 宜昌南玻显示器件有限公司 | Ito导电玻璃及其制备方法 |
KR20170048510A (ko) * | 2014-09-01 | 2017-05-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 상에 재료를 증착하기 위한 어셈블리 및 방법 |
CN104240799A (zh) * | 2014-09-28 | 2014-12-24 | 张家港康得新光电材料有限公司 | Ito透明导电膜 |
CN104391609B (zh) * | 2014-12-17 | 2017-11-10 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 具有单层ito的触控传感器及其制造方法和触控屏 |
US10133108B2 (en) | 2015-04-08 | 2018-11-20 | Guardian Glass, LLC | Vending machines with large area transparent touch electrode technology, and/or associated methods |
JP6866353B2 (ja) * | 2016-04-22 | 2021-04-28 | ダウ・東レ株式会社 | 高誘電性フィルム、その用途および製造方法 |
CN109213347B (zh) * | 2017-06-29 | 2021-08-13 | 南京瀚宇彩欣科技有限责任公司 | 可挠式面板以及可挠式面板的制造方法 |
US11508988B2 (en) | 2017-09-21 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | Lithium anode device stack manufacturing |
WO2020025102A1 (en) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | Applied Materials, Inc. | Method of coating a flexible substrate with a stack of layers, layer stack, and deposition apparatus for coating a flexible substrate with a stack of layers |
US11631840B2 (en) | 2019-04-26 | 2023-04-18 | Applied Materials, Inc. | Surface protection of lithium metal anode |
US20210126247A1 (en) * | 2019-10-28 | 2021-04-29 | Applied Materials, Inc. | Dielectric coated lithium metal anode |
CN112526650A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-03-19 | 浙江日久新材料科技有限公司 | 一种低阻抗型ito导电膜 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08240800A (ja) * | 1995-03-03 | 1996-09-17 | Asahi Glass Co Ltd | 液晶ディスプレイ用樹脂基板 |
WO1997008359A1 (fr) * | 1995-08-23 | 1997-03-06 | Asahi Glass Company Ltd. | Cible, son procede de production et procede de formation d'une couche tres refringente |
US6488824B1 (en) * | 1998-11-06 | 2002-12-03 | Raycom Technologies, Inc. | Sputtering apparatus and process for high rate coatings |
JP4183419B2 (ja) * | 1999-08-31 | 2008-11-19 | 帝人株式会社 | 透明導電性積層体及びこれを用いたタッチパネル |
US6896981B2 (en) * | 2001-07-24 | 2005-05-24 | Bridgestone Corporation | Transparent conductive film and touch panel |
US8307549B2 (en) * | 2001-11-20 | 2012-11-13 | Touchsensor Technologies, Llc | Method of making an electrical circuit |
CN1809799A (zh) * | 2003-04-22 | 2006-07-26 | 触摸传感器技术有限责任公司 | 具有多个导电层的基板以及制造和使用该基板的方法 |
JP2005066937A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Ykk Ap株式会社 | 機能性プラスチック部材 |
DE102004006131B4 (de) | 2004-02-07 | 2005-12-15 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Bandbeschichtungsanlage mit einer Vakuumkammer und einer Beschichtungswalze |
DE502004009821D1 (de) | 2004-04-13 | 2009-09-10 | Applied Materials Gmbh & Co Kg | Führungsanordnung mit mindestens einer Führungswalze für die Führung von Bändern in Bandbehandlungsanlagen |
ATE348331T1 (de) * | 2004-05-22 | 2007-01-15 | Applied Materials Gmbh & Co Kg | Beschichtungsanlage mit einer messvorrichtung für die messung von optischen eigenschaften von beschichteten substraten |
JP4532316B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2010-08-25 | 日本板硝子株式会社 | タッチパネル |
US8092657B2 (en) * | 2005-06-30 | 2012-01-10 | Bekaert Advanced Coatings | Module for coating both sides of a substrate in a single pass |
JP4762062B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2011-08-31 | 出光興産株式会社 | 焼結体、膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP4667471B2 (ja) * | 2007-01-18 | 2011-04-13 | 日東電工株式会社 | 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル |
JP5160329B2 (ja) * | 2008-07-24 | 2013-03-13 | 日東電工株式会社 | 透明導電性フィルム及びタッチパネル |
JP2010069675A (ja) * | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Toppan Printing Co Ltd | 機能性フィルム、その製造方法、積層体および電子デバイス |
JP4364938B1 (ja) * | 2009-03-27 | 2009-11-18 | 尾池工業株式会社 | 透明導電積層体及びタッチパネル |
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