JP2013517630A - 複合ハードマスク構造およびスピントルク駆動磁気トンネル接合のための不均一な電流経路を形成する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
101 トランジスタ
102 ビットライン
103 ワードライン
104 ソースライン
105 磁気トンネル接合(MTJ)記憶素子
106 読み取り/書き込み回路
107 ビットラインレファレンス
108 センス増幅器
202 底部電極
204 反強磁性層
206 底部固定層
208 スペーサ層
210 上部固定層
212 トンネリングバリア
214 自由層
216 ハードマスク層
218 層間誘電体
300 MTJセル
302 調整層
304 低抵抗電極
306 高抵抗電極
Claims (37)
- 固定層、バリア層、および自由層;および
自由層上部に形成され、磁気トンネル接合(MTJ)記憶素子を通って不均一電流経路を提供するよう構成された上部電極、
を含む磁気トンネル接合記憶素子。 - 上部電極が内側上部電極および外側上部電極をさらに含む、請求項1に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 内側上部電極の抵抗が外側上部電極の抵抗と比較して低い、請求項2に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 内側上部電極の抵抗が外側上部電極の抵抗と比較して高い、請求項2に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 自由層が複数の磁気層を含む、請求項1に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 磁気トンネル接合記憶素子が、セットトップボックス、音楽プレーヤー、ビデオプレーヤー、エンターテイメントユニット、ナビゲーション装置、携帯電話、携帯用コンピュータ、携帯用パーソナルコミュニケーションシステム(PCS)ユニット、コミュニケーション装置、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、固定位置データユニット、およびコンピュータからなる群から選択される電子装置に組み込まれる、請求項1に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 磁気トンネル接合記憶素子がメモリ装置に組み込まれる、請求項1に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- メモリ装置がスピントランスファートルク磁気抵抗ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)装置であり、前記STT−MRAMが少なくとも1つの半導体ダイに組み込まれる、請求項7に記載のメモリ装置。
- 自由層と上部電極との間に組み込まれ自由層上部に形成された調整層、
をさらに含む、請求項1に記載の磁気トンネル接合記憶素子。 - 上部電極が、内側上部電極および外側上部電極をさらに含む、請求項9に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 内側上部電極の抵抗が外側上部電極の抵抗と比較して低い、請求項10に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 内側上部電極の抵抗が外側上部電極の抵抗と比較して高い、請求項10に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 調整層が内側上部電極と自由層との間に組み込まれ、外側上部電極が調整層の側壁部分および自由層の上部に接触して調整層を封入するようにする、請求項10に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 調整層が少なくとも1つの金属材料、低抵抗化合物、または高抵抗から形成される、請求項9に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 磁気トンネル接合記憶素子が、セットトップボックス、音楽プレーヤー、ビデオプレーヤー、エンターテイメントユニット、ナビゲーション装置、携帯電話、携帯用コンピュータ、携帯用パーソナルコミュニケーションシステム(PCS)ユニット、コミュニケーション装置、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、固定位置データユニット、およびコンピュータからなる群から選択される電子装置に組み込まれる、請求項9に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 磁気トンネル接合記憶素子がスピントランスファートルク磁気抵抗ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)の一部である、請求項9に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 固定層、バリア層、および自由層を含む磁気トンネル接合を形成する段階、
自由層上に内側上部電極を形成する段階、
リソグラフィーおよびエッチングを用いて内側上部電極をパターニングする段階、
内側上部電極上に外側上部電極を形成して、内側上部電極を封入する段階、
外側上部電極をエッチングする段階、
内側上部電極および外側上部電極をマスクとして用いて磁気トンネル接合をエッチングする段階、
を含む磁気トンネル接合記憶素子。 - 内側上部電極が低抵抗材料で形成され、外側上部電極が高抵抗材料で形成される、請求項17に記載の方法。
- 内側上部電極が高抵抗材料で形成され、外側上部電極が低抵抗材料で形成される、請求項17に記載の方法。
- メモリ装置が、セットトップボックス、音楽プレーヤー、ビデオプレーヤー、エンターテイメントユニット、ナビゲーション装置、携帯電話、携帯用コンピュータ、携帯用パーソナルコミュニケーションシステム(PCS)ユニット、コミュニケーション装置、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、固定位置データユニット、およびコンピュータからなる群から選択される電子装置に組み込まれる、請求項17に記載の方法。
- メモリ装置がスピントランスファートルク磁気抵抗ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)である、請求項17に記載の方法。
- 自由層上に調整層を形成する段階であって、調整層が自由層と内側上部電極との間に組み込まれる段階、
をさらに含む、請求項17に記載の方法。 - 内側上部電極が低抵抗材料で形成され、外側上部電極が高抵抗材料で形成される、請求項22に記載の方法。
- 内側上部電極が高抵抗材料で形成され、外側上部電極が低抵抗材料で形成される、請求項22に記載の方法。
- 調整層が少なくとも1つの金属材料、低抵抗化合物、または高抵抗化合物から形成される、請求項22に記載の方法。
- 磁気トンネル接合記憶素子を電気的に接続するための底部導電手段、第1偏極を維持するための第1磁気手段、トンネル電流の流れを促進するための第1絶縁手段および第2偏極を維持するための第2磁気手段、ここで第2偏極は反転可能である、
第2磁気手段の上部に形成される第2磁気手段の減衰定数を低減するための減衰手段、
磁気トンネル接合記憶素子を電気的に接続するための内側上部導電手段、ここで第1上部導電手段は減衰手段と隣接する、
磁気トンネル接合記憶素子を電気的に接続するための外側上部導電手段、ここで第2上部導電手段は第1上部導電手段の外側に配置され、第1上部導電手段と電気的に平行である、
を含む磁気トンネル接合記憶素子を有するメモリ装置。 - 内側上部導電手段の抵抗が外側上部導電手段の抵抗と比較して高い、請求項26に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 外側上部導電手段の抵抗が内側上部導電手段の抵抗と比較して高い、請求項26に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- 外側上部導電手段が減衰手段の側壁部分および第2磁気手段の上部と接触する、請求項26に記載の磁気トンネル接合記憶素子。
- メモリ装置が、セットトップボックス、音楽プレーヤー、ビデオプレーヤー、エンターテイメントユニット、ナビゲーション装置、携帯電話、携帯用コンピュータ、携帯用パーソナルコミュニケーションシステム(PCS)ユニット、コミュニケーション装置、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、固定位置データユニット、およびコンピュータからなる群から選択される電子装置に組み込まれる、請求項26に記載のメモリ装置。
- メモリ装置がスピントランスファートルク磁気抵抗ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)である、請求項26に記載のメモリ装置。
- 固定層、バリア層、および自由層を含む磁気トンネル接合を形成するための段階、
自由層上に内側上部電極を形成するための段階、
リソグラフィーおよびエッチングを用いて内側上部電極をパターニングするための段階、
内側上部電極上に外側上部電極を形成して、内側上部電極を封入するための段階、
外側上部電極をエッチングするための段階、
内側上部電極および外側上部電極をマスクとして用いて磁気トンネル接合をエッチングするための段階、
を含む磁気トンネル接合記憶素子を有するメモリ素子を形成する方法。 - 内側上部電極が低抵抗材料で形成され、外側上部電極が高抵抗材料で形成される、請求項32に記載の方法。
- 内側上部電極が高抵抗材料で形成され、外側上部電極が低抵抗材料で形成される、請求項32に記載の方法。
- メモリ装置が、セットトップボックス、音楽プレーヤー、ビデオプレーヤー、エンターテイメントユニット、ナビゲーション装置、携帯電話、携帯用コンピュータ、携帯用パーソナルコミュニケーションシステム(PCS)ユニット、コミュニケーション装置、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、固定位置データユニット、およびコンピュータからなる群から選択される電子装置に組み込まれる、請求項32に記載の方法。
- メモリ装置がスピントランスファートルク磁気抵抗ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)である、請求項32に記載の方法。
- 自由層上に調整層を形成する段階であって、調整層が自由層と内側上部電極との間に組み込まれる段階、
をさらに含む、請求項32に記載の方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015002281A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | ソニー株式会社 | 記憶素子、記憶装置、記憶素子の製造方法、磁気ヘッド |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8981502B2 (en) * | 2010-03-29 | 2015-03-17 | Qualcomm Incorporated | Fabricating a magnetic tunnel junction storage element |
US9024398B2 (en) * | 2010-12-10 | 2015-05-05 | Avalanche Technology, Inc. | Perpendicular STTMRAM device with balanced reference layer |
US8557610B2 (en) | 2011-02-14 | 2013-10-15 | Qualcomm Incorporated | Methods of integrated shielding into MTJ device for MRAM |
US8536063B2 (en) * | 2011-08-30 | 2013-09-17 | Avalanche Technology Inc. | MRAM etching processes |
KR101617113B1 (ko) * | 2011-12-20 | 2016-04-29 | 인텔 코포레이션 | 자기 메모리 소자 콘택의 크기 감소 및 중심 배치 방법 |
US8748197B2 (en) * | 2012-03-14 | 2014-06-10 | Headway Technologies, Inc. | Reverse partial etching scheme for magnetic device applications |
US9166146B2 (en) * | 2013-03-01 | 2015-10-20 | Avalanche Technology, Inc. | Electric field assisted MRAM and method for using the same |
JP5865858B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2016-02-17 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子及び磁気抵抗効果素子の製造方法 |
WO2015147813A1 (en) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | Intel Corporation | Techniques for forming spin-transfer torque memory (sttm) elements having annular contacts |
WO2015147855A1 (en) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | Intel Corporation | Techniques for forming spin-transfer torque memory having a dot-contacted free magnetic layer |
US10003014B2 (en) * | 2014-06-20 | 2018-06-19 | International Business Machines Corporation | Method of forming an on-pitch self-aligned hard mask for contact to a tunnel junction using ion beam etching |
CN114361329A (zh) * | 2015-11-27 | 2022-04-15 | Tdk株式会社 | 磁阻效应元件、磁存储器、磁化反转方法及自旋流磁化反转元件 |
CN106229004B (zh) * | 2016-07-11 | 2018-08-28 | 北京航空航天大学 | 一种光写入的非易失性磁存储器 |
EP3563434A4 (en) * | 2016-12-30 | 2020-07-01 | INTEL Corporation | DEVICES WITH VERTICAL SPINDLE TORQUE MEMORY (PSTTM) WITH INCREASED STABILITY AND METHOD FOR SHAPING THEM |
US10770651B2 (en) * | 2016-12-30 | 2020-09-08 | Intel Corporation | Perpendicular spin transfer torque memory (PSTTM) devices with enhanced perpendicular anisotropy and methods to form same |
US10056430B1 (en) * | 2017-10-25 | 2018-08-21 | Sandisk Technologies Llc | MRAM with voltage dependent in-plane magnetic anisotropy |
CN111816224B (zh) * | 2019-04-11 | 2024-03-12 | 上海磁宇信息科技有限公司 | 一种磁性隧道结存储阵列单元及其外围电路的制备方法 |
US10891999B1 (en) * | 2019-06-19 | 2021-01-12 | Western Digital Technologies, Inc. | Perpendicular SOT MRAM |
US11493573B2 (en) * | 2019-08-27 | 2022-11-08 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetic sensor with dual TMR films and the method of making the same |
US11385305B2 (en) * | 2019-08-27 | 2022-07-12 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetic sensor array with dual TMR film |
US11428758B2 (en) * | 2019-08-27 | 2022-08-30 | Western Digital Technologies, Inc. | High sensitivity TMR magnetic sensor |
KR102632986B1 (ko) * | 2019-10-01 | 2024-02-05 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 전자 장치 |
US11087811B1 (en) | 2020-05-28 | 2021-08-10 | International Business Machines Corporation | NVM synaptic element with gradual reset capability |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002232036A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-16 | Toshiba Corp | 垂直通電型磁気抵抗効果素子、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドおよび磁気記録再生装置 |
JP2007537608A (ja) * | 2004-05-11 | 2007-12-20 | グランディス インコーポレイテッド | スピンバリア増強磁気抵抗効果素子およびそれを用いた磁気メモリ |
JP2008130807A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその製造方法 |
US20100276768A1 (en) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | International Business Machines Corporation | Sidewall coating for non-uniform spin momentum-transfer magnetic tunnel junction current flow |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3657875B2 (ja) * | 2000-11-27 | 2005-06-08 | Tdk株式会社 | トンネル磁気抵抗効果素子 |
US6413788B1 (en) * | 2001-02-28 | 2002-07-02 | Micron Technology, Inc. | Keepers for MRAM electrodes |
JP4008857B2 (ja) * | 2003-03-24 | 2007-11-14 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
US7372722B2 (en) * | 2003-09-29 | 2008-05-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods of operating magnetic random access memory devices including heat-generating structures |
KR100615089B1 (ko) * | 2004-07-14 | 2006-08-23 | 삼성전자주식회사 | 낮은 구동 전류를 갖는 자기 램 |
US20050205952A1 (en) * | 2004-03-19 | 2005-09-22 | Jae-Hyun Park | Magnetic random access memory cells having split sub-digit lines having cladding layers thereon and methods of fabricating the same |
US7611912B2 (en) * | 2004-06-30 | 2009-11-03 | Headway Technologies, Inc. | Underlayer for high performance magnetic tunneling junction MRAM |
TWI252559B (en) * | 2004-12-31 | 2006-04-01 | Ind Tech Res Inst | Method for connecting magnetoelectronic element with conductive line |
US7430135B2 (en) * | 2005-12-23 | 2008-09-30 | Grandis Inc. | Current-switched spin-transfer magnetic devices with reduced spin-transfer switching current density |
US7732881B2 (en) * | 2006-11-01 | 2010-06-08 | Avalanche Technology, Inc. | Current-confined effect of magnetic nano-current-channel (NCC) for magnetic random access memory (MRAM) |
US8018011B2 (en) * | 2007-02-12 | 2011-09-13 | Avalanche Technology, Inc. | Low cost multi-state magnetic memory |
US8183652B2 (en) * | 2007-02-12 | 2012-05-22 | Avalanche Technology, Inc. | Non-volatile magnetic memory with low switching current and high thermal stability |
US8004880B2 (en) * | 2007-03-06 | 2011-08-23 | Qualcomm Incorporated | Read disturb reduction circuit for spin transfer torque magnetoresistive random access memory |
JP5103259B2 (ja) * | 2008-04-22 | 2012-12-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 磁気記憶素子及び磁気記憶装置 |
-
2010
- 2010-01-14 US US12/687,426 patent/US8513749B2/en active Active
-
2011
- 2011-01-14 EP EP16158124.4A patent/EP3048647A1/en not_active Withdrawn
- 2011-01-14 BR BR112012017265-4A patent/BR112012017265B1/pt active IP Right Grant
- 2011-01-14 EP EP11702313.5A patent/EP2524396B1/en active Active
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- 2011-01-14 ES ES11702313T patent/ES2842966T3/es active Active
- 2011-01-14 WO PCT/US2011/021376 patent/WO2011088375A2/en active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002232036A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-16 | Toshiba Corp | 垂直通電型磁気抵抗効果素子、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドおよび磁気記録再生装置 |
JP2007537608A (ja) * | 2004-05-11 | 2007-12-20 | グランディス インコーポレイテッド | スピンバリア増強磁気抵抗効果素子およびそれを用いた磁気メモリ |
JP2008130807A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその製造方法 |
US20100276768A1 (en) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | International Business Machines Corporation | Sidewall coating for non-uniform spin momentum-transfer magnetic tunnel junction current flow |
JP2010263204A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気トンネル接合デバイスおよびこれを製造するための方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015002281A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | ソニー株式会社 | 記憶素子、記憶装置、記憶素子の製造方法、磁気ヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110169112A1 (en) | 2011-07-14 |
CN102754210B (zh) | 2017-05-03 |
KR101382521B1 (ko) | 2014-04-07 |
CN102754210A (zh) | 2012-10-24 |
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US8513749B2 (en) | 2013-08-20 |
WO2011088375A2 (en) | 2011-07-21 |
JP5697271B2 (ja) | 2015-04-08 |
ES2842966T3 (es) | 2021-07-15 |
EP2524396B1 (en) | 2020-10-14 |
EP2524396A2 (en) | 2012-11-21 |
WO2011088375A3 (en) | 2011-09-22 |
BR112012017265A2 (pt) | 2017-10-10 |
TW201140580A (en) | 2011-11-16 |
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