JP2013500927A - モノシランを製造するための設備および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トリクロロシランが触媒と接触して反応塔(100)中で変換され、次いで精留塔(109)中で精製され、反応塔(100)中の反応および蒸留の反応領域(104、105)と精留塔(109)との間に、反応塔(100)からのモノシラン含有反応生成物が部分的に凝縮される1つ以上のコンデンサー(103)が配置され、このコンデンサー(103)のどれもが−40℃より高い温度で操作される、前記設備および前記設備を用いる方法。
【選択図】図1
Description
少なくとも部分的に触媒活性固体で充填された反応および蒸留(反応/蒸留)の反応領域を有する1つの塔の中でトリクロロシランが四塩化ケイ素およびモノシランに不均化する特定の優先がある。適した固体は、例えばドイツ特許第3311650号に記載されている。
本発明の設備の好適な実施態様は従属する請求項2〜12に規定されている。全ての請求項に係る表現は参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (13)
- トリクロロシランが反応領域中の触媒と接触してモノシラン含有反応生成物に変換される反応および蒸留の反応領域(104、105)、およびモノシラン含有反応生成物のための1つの出口(102)を備えた1つの反応塔(100)、
モノシラン含有反応生成物が精製される精留塔(109)、および
反応塔(100)中の反応および蒸留の反応領域(104、105)と精留塔(109)との間に、モノシラン含有反応生成物が精留塔(109)中で精製される前に部分的に凝縮される1つ以上のコンデンサー(103)
を有するトリクロロシランを接触的に不均化することによりモノシランを製造するための設備であって、
反応および蒸留の反応領域(104、105)と精留塔(109)との間に配置された前記コンデンサー(103)のどれもが−40℃未満の操作温度を有しない、前記設備。 - 前記反応および蒸留の反応領域(104、105)と精留塔(109)との間の1つ又は複数のコンデンサー(103)の操作温度が、−20℃〜−40℃、好適には−20℃〜−30℃、特に約−25℃であることを特徴とする請求項1に記載の設備。
- 前記1つ又は複数のコンデンサー(103)が、反応塔(100)の最上部に統合されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の設備。
- 前記精留塔(109)が、前記反応塔(100)から入るモノシラン含有反応生成物が完全に蒸発され得る加熱領域(110)を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の設備。
- 前記加熱領域(110)が0℃〜20℃の温度に設定されていることを特徴とする請求項4に記載の設備。
- 前記精留塔(109)が、温度が精留塔(109)の加熱領域(110)から徐々に下降する冷却領域を有することを特徴とする請求項4又は5に記載の設備。
- 前記精留塔(109)内の温度が、−80℃〜−100℃、好適には約−90℃に下降することを特徴とする請求項6に記載の設備。
- 前記精留塔(109)が、精留塔(109)内で凝縮したクロロシラン含有生成物が反応塔(100)に戻り得るようにリサイクルラインを通って反応塔(100)に接続されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の設備。
- 前記反応および蒸留の反応領域が、互いに直列および/又は並列で配置された2つ以上の別個の反応および蒸留の個々の領域(104、105)から形成されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の設備。
- 前記反応および蒸留の反応領域が、2つの個々の領域(104、105)の間に配置された少なくとも1つの中間コンデンサー(108)を有することを特徴とする請求項9に記載の設備。
- 前記少なくとも1つの中間コンデンサー(108)が、−20℃〜30℃、好適には0℃〜25℃の温度で操作されることを特徴とする請求項10に記載の設備。
- 前記反応および蒸留の反応領域(104、105)中の温度が50℃〜200℃の値に設定されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の設備。
- トリクロロシラン(SiHCl3)を接触的に不均化することによる、特に請求項1〜12のいずれか1項に記載の設備中でモノシラン(SiH4)を製造するための方法であって、
トリクロロシランを反応および蒸留の反応領域(104、105)を備えた反応塔(100)中で変換してモノシラン含有反応生成物を形成し、このモノシラン含有反応生成物を、続いて精留塔(109)に移す前に少なくとも1つのコンデンサー(103)中で部分的に凝縮し、−40℃未満の温度で操作されるコンデンサーを通過することなく精留塔(109)中で精製する、前記方法。
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