KR101256593B1 - 트리클로로실란의 정제장치 및 정제방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 일측면으로서, 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 단계; 및 상기 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제방법을 제공하고, 또다른 일측면으로서, 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 단계; 및 상기 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제방법을 제공함으로써, 유틸리티의 수와 에너지 소모량을 최소화하고, 이에 따라 생산비용을 저감을 통한 경제성장, 환경개선 및 전자산업의 발전에 기여할 수 있다.

Description

트리클로로실란의 정제장치 및 정제방법{APPARATUS AND METHOD FOR PURIFYING TRICHLOROSILANE}
본 발명은 트리클로로실란의 정제장치 및 정제방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정제탑의 상부 스트림을 압축하여 하부 스트림과 열교환시킴으로써, 하부 스트림의 가열 및 상부 스트림의 냉각에 필요한 별도의 에너지 손실을 방지할 수 있는 트리클로로실란의 정제장치 및 정제방법에 관한 것이다.
반도체 또는 태양전지의 제조에 있어서 폴리실리콘이 그 원료로 사용되기 때문에, 반도체 또는 태양전지의 원료로 적합한 99.9999999% 내지 99.999999999%의 고순도의 폴리실리콘에 대한 수요가 증가하고 있고, 이는 전자공업의 종합적 발전에 중요한 부분을 차지하고 있다.
상기 폴리실리콘의 제조공정을 개괄적으로 살펴보면, 먼저 규사나 규석(SiO2)을 원료로 하여 전기로에서 용융시키고 탄소를 이용하여 환원시킴으로써 금속 실리콘을 얻는다. 그러나, 이때 나오는 금속 실리콘의 순도는 98% 정도로, Re, Al, Ca, Cr,Mn, B, Cu 등 여러 불순물이 포함되어 있어 이를 바로 반도체 또는 태양전지의 원료로 사용하기에는 부적합하다.
따라서, 상기 환원과정을 통해 얻어진 금속 실리콘을 염화수소 등의 반응가스와 반응시켜 트리클로로실란 등으로 기체화하고, 이를 증류과정을 통해 정제시킴으로써 상기 불순물을 제거하게 된다. 그리고나서, 일반적으로 지멘스(Siemens) 공법을 이용하여 상기 불순물이 제거된 트리클로로실란로부터 실리콘을 석출하는 과정을 거치게 된다.
본 발명은 상기 공정 중에서도 트리클로로실란 제조용 반응장치에서 금속 실리콘과 염화수소를 반응시켜 제조된 트리클로로실란을 증류과정을 통해 정제시키는 과정에 관한 것으로, 상기 금속 실리콘과 염화수소의 반응 생성물에는 목적 생성물인 트리클로로실란 외에도 수소 기체, 미반응된 염산 기체, 테트라클로로실란, 디클로로실란 등의 클로로실란류 등이 혼합되어 있기 때문에, 고순도의 폴리실리콘 제조를 위해서는 상기 반응 생성물로부터 목적 생성물인 트리클로로실란을 분리하는 정제 공정을 거쳐야 하는 것이다.
이하에서는, 종래의 트리클로로실란의 정제 공정을 구체적으로 살펴본다.
먼저, 전처리탑(102)에서, 트리클로로실란 제조용 반응장치(101)에서 유출된 클로로실란 혼합물을 증류를 통해 반응 생성물로부터 분리시킨다. 이때, 상기 반응 생성물 중 비점이 낮은 수소 기체, 염산 기체, 디클로로실란 등은 전처리탑(102)의 상부 스트림(top stream)(41)를 통해 배출되고, 비점이 높은 트리클로로실란과 테트라클로로실란을 주성분으로 포함하는 클로로실란 혼합물은 하부 스트림(bottom stream)(42)을 통해 배출된다.
전처리탑(102)의 하부 스트림(42)은 제1 정제탑(103)으로 유입되며, 제1 정제탑(103)에서의 증류 공정을 통해 상기 클로로실란 혼합물로부터 트리클로로실란과 테트라클로로실란을 분리하는데, 상기 트리클로로실란은 상대적으로 비점이 낮기 때문에 상부 스트림(43)으로, 상기 테트라클로로실란은 상대적으로 비점이 높기 때문에 하부 스트림(44)으로 배출된다. 이때 상기 제1 정제탑(103)의 상부 스트림(43)을 통해 배출되는 트리클로로실란은 통상 99% 정도의 순도를 나타낸다. 그러나 상기한 바와 같이, 일반적으로 고순도의 폴리실리콘을 생산하기 위해서는 99.9999999% 내지 99.999999999% 순도의 트리클로로실란이 요구되므로, 원하는 순도를 얻기 위해 상기 제1 정제탑(103)의 상부 스트림(43)을 제2 정제탑(104)으로 유입시켜 다단계 증류를 통해 정제하는 것이 필요하다.
상기 제2 정제탑(104)으로 유입된 트리클로로실란은 다시 저비점 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물과, 고비점 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물로 분리되는데, 상기 저비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물은 상부 스트림(45)으로 배출된 뒤 응축기(201)를 통과하여 냉각된 후, 일부는 제2 정제탑(104)으로 환류(46)되고, 나머지(47)는 외부로 배출된다. 또한, 상기 고비점 불순물과 트리클로로실란의 혼합물은 하부 스트림(48)을 통해 배출된 다음, 일부는 제2 정제탑에서 리보일러(reboiler)(301)를 통해 재가열된 후 제2 정제탑(104)으로 리사이클링(49)되고, 나머지(50)는 제3 정제탑(105)으로 유입되어, 다시 정제과정을 거치게 된다.
상기 제 3정제탑(105)에서는, 상기 유입된 고비점 불순물과 트리클로로실란의 혼합물이 고순도의 트리클로로실란과 고비점 불순물을 포함하는 트리클로로실란으로 분리되는데, 상기 고순도의 트리클로로실란은 상부 스트림(51)을 통해 배출된 다음, 응축기(202)에서 냉각된 후, 일부는 제3 정제탑(105)으로 환류(52)되고, 나머지(53)는 트리클로로실란의 저장탱크(1)로 배출된다. 또한, 상기 고비점 불순물을 포함하는 트리클로로실란은 하부 스트림(54)을 통해 배출된 다음, 일부는 리보일러(302)를 통해 재가열된 된 후 제3 정제탑(105)으로 리사이클링되고, 나머지는 외부로 배출(56)된다. 도 1에서는 제3 정제탑까지 나타내었으나, 이는 일례로서 제시한 것이고, 필요에 따라 정제탑의 수를 증가시킬 수 있다.
상기와 같은 과정을 거쳐 정제된 트리클로로실란은 저장 탱크(1)에 저장되고, 수소 기체(2)와 함께 지멘스 반응기(106)와 같은 실리콘 석출 장치의 반응가스로 공급됨으로써, 폴리실리콘을 제조하게 되는 것이다.
그러나, 이러한 종래의 트리클로로실란의 정제방법은 고순도의 트리클로로실란 제조를 위해 각각의 정제탑마다 상부 스트림을 냉각하기 위한 응축기와 하부 스트림을 재가열하기 위한 리보일러를 구비해야 하기 때문에, 사용되는 유틸리티(utility)의 수가 많아지고, 더불어 제조 공정상의 에너지 소비 및 생산 비용의 측면에서 매우 큰 손실이 발생할 수밖에 없다.
따라서, 저비용으로 트리클로로실란을 효과적으로 정제함으로써 에너지 효율을 극대화할 수 있는 트리클로로실란의 정제방법에 대한 요구가 매우 절실한 실정이라 할 수 있다.
본 발명은 응축기 및 리보일러에 사용되는 유틸리티의 수를 최소화하고, 이에 따라 에너지 소비량 및 생산비용을 저감시킬 수 있는 트리클로로실란의 정제장치 및 정제방법을 제공한다.
본 발명은 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 압축기; 및 상기 압축기에 의해 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 열교환기를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제장치를 제공한다.
이때, 상기 압축기는 1.5 내지 10의 압축비로 구동되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명은 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 단계; 및 상기 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제방법을 제공한다.
이때, 상기 압축하는 단계는 1.5 내지 10의 압축비로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 발명의 일측면에 따르면, 정제탑의 상부 스트림을 압축기를 통해 압축시켜, 응축기 및 리보일러에 사용되는 유틸리티의 수를 최소화하고, 이에 따라 에너지 소비량 및 생산비용을 저감시킴으로써, 경제성장, 환경개선 및 전자산업의 발전에 기여할 수 있다.
도 1은 종래의 트리클로로실란의 정제장치의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 2는 종래의 트리클로로실란의 정제장치 중 제2 정제탑 및 제3 정제탑의 확대도를 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 트리클로로실란의 정제장치 중 제2 정제탑 및 제3 정제탑의 확대도를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에서 발명예 및 비교예의 트리클로로실란의 정제장치의 일례를 나타낸 개략도이다.
이하, 도 3을 통해 본 발명을 설명하지만, 이는 본 발명의 보다 입체적인 설명을 위한 것이고, 본 발명의 권리범위가 도면에 의해 한정되는 것은 아니다.
먼저, 본 발명의 트리클로로실란의 정제장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명의 트리클로로실란의 정제장치는 정제탑(104)의 상부 스트림(63)을 압축하는 압축기(401); 및 상기 압축기(401)에 의해 압축된 상부 스트림(64)과 상기 정제탑(104)의 하부 스트림(66)을 열교환시키는 열교환기(501)를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제장치를 제공한다.
먼저, 종래의 트리클로로실란의 정제장치를 도 2를 통해 상세히 살펴보면, 정제탑(104)으로 유입된 트리클로로실란은 다시 저비점 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물과, 고비점 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물로 분리되는데, 상기 저비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물이 상부 스트림(45)으로 유출된 후 이를 냉각시키기 위한 응축기(201)를 구비하고, 상기 냉각된 상부 스트림 중 일부는 제2 정제탑(104)으로 환류(46)되고, 나머지(47)는 외부로 배출된다. 또한, 상기 고비점 불순물과 트리클로로실란의 혼합물은 하부 스트림(48)을 통해 배출된 다음, 제2 정제탑(104)으로 리사이클링(47)시키기 위해 상기 하부 스트림(48) 중 일부를 재가열하는 리보일러(reboiler)(301)를 구비하며, 나머지(50)는 제3 정제탑(105)으로 유입되어, 다시 정제과정을 거치게 된다.
이와 같이 응축기(201)를 구비하여 상부 스트림(45)을 냉각하거나 리보일러(301)를 구비하여 하부 스트림(48)을 재가열시킨 후 그 일부를 다시 정제탑으로 환류시키는 것은 정제탑 내부의 온도를 일정하게 유지시켜 원활한 정제가 가능하도록 하는 매우 중요한 공정으로서, 종래의 트리클로로실란의 정제장치는 이를 위해 각 정제탑마다 응축기(201)와 리보일러(301)를 구비하고 있었다. 다만, 도 2를 통해 제2 정제탑만을 예를 들어 설명하는 것일 뿐이고, 필요에 따라 정제탑의 수를 증가시켜 다른 정제탑에도 적용할 수 있고, 또한 하나의 정제탑에 대해서만 적용하는 것도 가능하다.
이러한 종래의 트리클로로실란의 정제장치는 정제탑의 수가 증가할수록 구비해야 할 응축기와 리보일러 등의 유틸리티의 수가 많아지기 때문에, 각 장치의 제조비용 및 이를 구동시키는 데 필요한 에너지 소모량을 증가시켜, 결국 생산비용적 측면 뿐만 아니라 환경적인 측면에서도 악영향을 끼칠 수밖에 없었다.
이에 본 발명자들은 상기의 문제를 해결하기 위해, 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 압축기; 및 상기 압축기에 의해 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 열교환기를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제장치를 제공함으로써, 별도의 열원을 통해 하부 스트림을 가열하는 리보일러를 생략시키고, 또한 상부 스트림의 전부를 응축기에 보내어 냉각시키는 것이 아니라 외부로 배출되는 일부에 대해서만 응축기에서 냉각을 시킴으로써, 유틸리티의 수를 감소시킴과 동시에 유틸리티를 구동시키는 데 필요한 에너지를 저감시켜 비용저감 및 환경개선에 기여할 수 있는 트리클로로실란의 정제장치를 발명하기에 이른 것이다.
도 3을 통해 본 발명의 트리클로로실란의 정제장치를 구체적으로 살펴보면, 제2 정제탑(104)에 유입된 트리클로로실란은 고비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물과, 저비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물로 분리되는데, 먼저 상기 저비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물을 상부 스트림으로 배출된 다음, 일부(61)는 응축기(201)를 통해 냉각된 후 외부로 배출되고, 그 나머지(63)를 압축시키기 위해 압축기(401)를 구비한다. 또한, 상기 고비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물은 하부 스트림으로 배출된 다음, 일부(68)는 제3 정제탑(68)으로 유입되고, 나머지(66)를 열교환시키기 위해 열교환기(501)를 구비한다.
이에 따라, 열교환기(501)에서는 상기 압축기(401)를 통해 압축된 상부 스트림(64)과 정제탑(104)으로부터 유출된 하부 스트림(66)이 유입되어 열교환을 일으키게 된다. 이때, 상부 스트림(64)은 상기 압축기(401)에서 단열압축됨으로써 승온된 상태에 있기 때문에, 상기 상부 스트림(64)의 열이 정제탑(104)에서 유출된 하부 스트림(66)으로 전달되게 된다. 즉, 이는 압축된 상부 스트림(64)의 잠열을 이용한 것으로서, 상기 열교환에 의해 열교환기(501)를 통과한 상부 스트림(65)은 냉각 효과를 얻게 되고, 열교환기(501)를 통과한 하부 스트림(67)은 재가열 효과를 얻게 되는 것이다.
즉, 종래의 트리클로로실란의 정제장치에서는 모든 상부 스트림을 응축기에 보내어 이를 구동시켜 냉각시키고, 정제탑으로 환류하는 하부 스트림은 리보일러에서 별도의 열원을 통해 재가열시키는 방식을 사용하였기 때문에, 유틸리티 및 에너지 소모량의 증가를 수반할 수밖에 없었으나, 본 발명의 트리클로로실란의 정제장치에 따르면 상부 스트림의 일부를 압축하는 압축기를 구비하고, 상기 압축된 상부 스트림의 잠열을 이용하여 하부 스트림과 열교환하는 열교환기를 구비함으로써, 정제탑으로 환류하는 상부 스트림은 응축기를 이용하지 않고도 자연적인 열교환에 의해 냉각의 효과를 달성하고, 정제탑으로 환류하는 하부 스트림은 리보일러를 이용하지 않고도 자연적인 열교환에 의해 재가열의 효과를 달성하게 된 것이다.
상기 설명은 도 3에서 제2 정제탑을 일례로 설명한 것에 불과하고, 제3 정제탑이나 더 많은 정제탑이 구비되어 있는 경우 모든 각 정제탑에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다.
또한, 상기 압축기는 1.5 내지 10의 압축비로 구동되는 것이 바람직하다. 압축비가 1.5 이상이 되면 압축이 충분히 이루어져 하부 스트림과의 열교환 효과를 극대화시킬 수 있고, 또한 압축비를 10 이하로 하면 압축기의 부하 및 기타 장치에 대한 무리를 방지하는 데에 더욱 효과적이다.
다음으로, 본 발명의 트리클로로실란의 정제방법에 대해 상세히 설명한다.
본 발명은 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 단계; 및 상기 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제방법을 제공한다.
먼저, 종래의 트리클로로실란의 정제방법를 도 2를 통해 상세히 살펴보면, 정제탑(104)으로 유입된 트리클로로실란은 다시 저비점 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물과, 고비점 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물로 분리되는데, 상기 저비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물은 상부 스트림(45)으로 배출된 뒤 응축기(201)를 통과하여 냉각된 후, 일부는 제2 정제탑(104)으로 환류(46)되고, 나머지(47)는 외부로 배출된다. 또한, 상기 고비점 불순물과 트리클로로실란의 혼합물은 하부 스트림(48)을 통해 배출된 다음, 일부는 리보일러(reboiler)(301)를 통해 재가열된 후 제2 정제탑(104)으로 리사이클링(49)되고, 나머지(50)는 제3 정제탑(105)으로 유입되어, 다시 정제과정을 거치게 된다.
이에 본 발명자들은 상기의 문제를 해결하기 위해, 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 단계; 및 상기 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제방법을 제공함으로써, 별도의 열원을 통해 하부 스트림을 가열하는 리보일러를 생략시키고, 또한 상부 스트림의 전부를 응축기에 보내어 냉각시키는 것이 아니라 외부로 배출되는 일부에 대해서만 응축기에서 냉각을 시킴으로써, 유틸리티의 수를 감소시킴과 동시에 유틸리티를 구동시키는 데 필요한 에너지를 저감시켜 비용저감 및 환경개선에 기여할 수 있는 트리클로로실란의 정제방법를 발명하기에 이른 것이다.
도 3을 통해 본 발명의 트리클로로실란의 정제방법를 구체적으로 살펴보면, 제2 정제탑(104)에 유입된 트리클로로실란은 고비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물과, 저비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물로 분리되는데, 먼저 상기 저비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물을 상부 스트림으로 배출된 다음, 일부(61)는 응축기(201)를 통해 냉각된 후 외부로 배출되고, 나머지(63)는 압축을 시키게 된다. 또한, 상기 고비점의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물은 하부 스트림으로 배출된 다음, 일부(68)는 제3 정제탑(68)으로 유입되고, 나머지(66)는 상기 압축된 상부 스트림(64)과 열교환을 하는 단계를 포함한다.
이에 따라, 상부 스트림(64)은 단열압축됨으로써 승온된 상태에 있기 때문에, 상기 상부 스트림(64)의 열이 정제탑(104)에서 유출된 하부 스트림(66)으로 전달되게 된다. 즉, 이는 압축된 상부 스트림(64)의 잠열을 이용한 것으로서, 상기 압축 및 열교환에 의해 상부 스트림(65)은 냉각 효과를 얻게 되고, 하부 스트림(67)은 재가열 효과를 얻게 되는 것이다.
즉, 종래의 트리클로로실란의 정제방법에서는 모든 상부 스트림을 응축기에 보내어 이를 구동시켜 냉각시키고, 정제탑으로 환류하는 하부 스트림은 리보일러에서 별도의 열원을 통해 재가열시키는 방식을 사용하였기 때문에, 유틸리티 및 에너지 소모량의 증가를 수반할 수밖에 없었으나, 본 발명의 트리클로로실란의 정제방법에 따르면 상부 스트림의 일부를 압축하는 단계를 포함하고, 상기 압축된 상부 스트림의 잠열을 이용하여 하부 스트림과 열교환하는 단계를 포함함으로써, 정제탑으로 환류하는 상부 스트림은 응축기를 이용하지 않고도 자연적인 열교환에 의해 냉각의 효과를 달성하고, 정제탑으로 환류하는 하부 스트림은 리보일러를 이용하지 않고도 자연적인 열교환에 의해 재가열의 효과를 달성하게 된 것이다.
상기 설명은 도 3에서 제2 정제탑을 일례로 설명한 것에 불과하고, 제3 정제탑이나 더 많은 정제탑이 구비되어 있는 경우 모든 각 정제탑에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다.
이때, 상기 압축하는 단계는 1.5 내지 10의 압축비로 이루어지는 것이 바람직하다. 압축비가 1.5 이상이 되면 압축이 충분히 이루어져 하부 스트림과의 열교환 효과를 극대화시킬 수 있고, 또한 압축비를 10 이하로 하면 압축기의 부하 및 다른 장치들에 대한 부담을 줄이는 데에 유리할 수 있다.
이하, 실시예를 통해 본 발명을 상세히 설명하지만, 이는 본 발명의 보다 완전한 설명을 위한 것이고, 하기 개별실시예에 의해 본 발명의 권리범위가 제한되는 것은 아니다.
( 실시예 )
먼저, 도 2와 같이 종래의 트리클로로실란의 정제장치를 구동하였고, 각 지점에서의 온도, 압력, 질량유속, 체적유속, 증기분율을 아래 [표 1]에 나타내었다. 이때, 증류를 위해 사용된 응축기(201) 및 리보일러(301)에 소요된 열량은 각각 0.25Gcal/hr였고, 응축기(202) 및 리보일러(302)에 소요된 열량은 각각 0.70Gcal/hr였다.
지점
(도2)		 온도
(℃)		 압력
(kg/㎠)		 질량유속
(kg/hr)		 체적유속
(cum/hr)		 증기분율
43 41.4 3.0 2927 2.25 0.00
47 -2.3 1.9 300 0.22 0.00
50 54.0 2.1 2627 2.06 0.00
53 50.6 1.9 2585 2.02 0.00
56 55.7 2.1 42 0.03 0.00
다음으로, 도 3과 같이 본 발명의 일례에 따른 트리클로로실란의 정제장치를 구동하였고, 각 지점에서의 온도, 압력, 질량유속, 체적유속, 증기분율을 아래 [표 2]에 나타내었다. 이때, 증류를 위해 사용된 압축기(401)에 소요된 전력은 79.3kW(압축비 8)이고, 압축기(601)에 소요된 전력은 83.0kW(압축비 2)였다.
지점
(도3)		 온도
(℃)		 압력
(kg/㎠)		 질량유속
(kg/hr)		 체적유속
(cum/hr)		 증기분율
43 41.4 3.0 2927 2.25 0.00
62 -2.3 1.9 300 0.22 0.00
63 46.4 1.9 4270 466.03 1.00
64 171.8 15.2 4270 72.16 1.00
65 58.3 15.2 4270 3.43 0.00
66 53.9 2.1 37636 29.52 0.00
67 54.0 2.1 37636 547.44 0.15
68 53.9 2.1 2627 2.06 0.00
72 50.7 1.9 2585 2.02 0.00
73 50.7 1.9 15729 1596.65 1.00
74 86.2 3.8 15729 862.43 1.00
75 70.5 3.8 15729 12.71 0.00
76 55.7 2.1 107102 83.43 0.00
77 55.9 2.1 107102 1532.89 0.15
78 55.7 2.1 42 0.03 0.00
따라서, 종래의 정제장치에 의할 경우 상기 2개의 리보일러에 소모되는 총 열량이 0.95Gcal/hr(약 1104kW)인 반면에, 본 발명의 일례에 따른 정제장치에 의할 경우 2개의 압축기에 소모되는 총 전력이 162.3kW이므로, 후자의 경우가 에너지 소모량을 85%나 저감시키고 있음을 확인할 수 있다.

Claims (4)

  1. 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 압축기; 및
    상기 압축기에 의해 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 열교환기
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 압축기는 1.5 내지 10의 압축비로 구동되는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제장치.
  3. 정제탑의 상부 스트림을 압축하는 단계; 및
    상기 압축된 상부 스트림과 상기 정제탑의 하부 스트림을 열교환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 압축하는 단계는 1.5 내지 10의 압축비로 이루어지는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제방법.
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