JP5455137B2

JP5455137B2 - トリクロロシランの精製方法及び精製装置

Info

Publication number: JP5455137B2
Application number: JP2012521590A
Authority: JP
Inventors: チェ、チュル−ファン; リー、ジョン−ソク; チェ、クワン−ウク; シン、ジョン−ホ; キム、ドン−キュ
Original assignee: LG Chem Ltd
Current assignee: LG Chem Ltd
Priority date: 2009-12-28
Filing date: 2010-12-27
Publication date: 2014-03-26
Anticipated expiration: 2030-12-27
Also published as: EP2520546A2; CN102471074A; EP2520546A4; US20120145530A1; KR20110075464A; WO2011081385A3; EP2520546B1; US8535488B2; KR101292545B1; CN102471074B; JP2012533515A; WO2011081385A2

Description

本発明は、高純度ポリシリコンの原料物質であるクロロシランの精製方法及び精製装置に関し、より詳細には、従来より経済的、且つエネルギー消費の少ないクロロシランの精製方法及び精製装置に関する。

一般的に、半導体又は太陽電池の原料として用いられるポリシリコンは、主にシーメンス法と呼ばれる気相蒸着法により製造されている。図１には従来のシーメンス法によるポリシリコンの製造工程が概略的に示されている。

ポリシリコンの製造工程は、原料物質であるトリクロロシランを製造する段階と、トリクロロシランを高純度に精製する段階と、精製されたトリクロロシランと水素を反応させてポリシリコンを生成する段階とに大きく分かれる。

図１を参照してポリシリコンの製造工程をより具体的に説明する。先ず、反応器１０１に原料物質である金属シリコン２１と塩酸気体２２を供給し、３００〜４００℃の反応温度で反応させてトリクロロシランを製造する。このとき、上記金属シリコンと塩酸気体の反応生成物には目的生成物であるトリクロロシランの他にも水素気体、未反応の塩酸気体、テトラクロロシラン、ジクロロシランなどのクロロシラン類などが混合されている。

従って、上記反応生成物から目的生成物であるトリクロロシランを分離する精製工程を行う。一般的に、高純度のポリシリコンを形成するためには、９９．９９９９９９９％から９９．９９９９９９９９９％純度のトリクロロシランが求められる。このような高純度のトリクロロシランを得るために、上記精製工程が複数の精製塔を経て行われるのが通常である。トリクロロシランの精製工程をより具体的に説明する。

先ず、前処理塔１０２において、蒸留を通じて反応器１０１で流出された反応生成物からクロロシラン混合物を分離させる。このとき、上記反応生成物のうち沸点の低い水素気体、塩酸気体、ジクロロシランなどは前処理塔１０２の上部ストリーム（ｔｏｐｓｔｒｅａｍ）４１を通じて排出され、沸点の高いトリクロロシランとテトラクロロシランを主成分として含むクロロシラン混合物は下部ストリーム（ｂｏｔｔｏｍｓｔｒｅａｍ）４２を通じて排出される。

前処理塔１０２の下部ストリーム４２は第１精製塔１０３に流入され、第１精製塔１０３での蒸留工程を通じて、トリクロロシランとテトラクロロシランに分離される。上記クロロシラン混合物のうち相対的に沸点の低いトリクロロシランは上部ストリーム４３に、相対的に沸点の高いテトラクロロシランは下部ストリーム４４に排出される。このとき、上記第１精製塔１０３の上部ストリーム４３を通じて排出されるトリクロロシランは通常、約９９％の純度を示す。しかし、上記したように、一般的に高純度のポリシリコンを生産するためには、９９．９９９９９９９％から９９．９９９９９９９９９％純度のトリクロロシランが求められるため、所望する純度を得るために上記第１精製塔１０３の上部ストリーム４３を第２精製塔１０４に流入させて再精製する。

第２精製塔１０４に流入されたトリクロロシランは、再び低沸点不純物及びトリクロロシランの混合物と、テトラクロロシランのような高沸点不純物及びトリクロロシランの混合物に分離される。低沸点不純物及びトリクロロシランの混合物は、上部ストリーム４５に排出された後、凝縮器２０１を通過して液化される。そのうち一部は第２精製塔１０４に還流４６され、残り４７は排出される。一方、高沸点不純物とトリクロロシランの混合物は、下部ストリーム４８を通じて排出された後、第２精製塔のリボイラー（ｒｅｂｏｉｌｅｒ）３０１により再加熱される。そのうち、一部は第２精製塔１０４にリサイクル４９され、残り５０は第３精製塔１０５に流入されて再び精製される。第３精製塔１０５において、上記高沸点不純物とトリクロロシランの混合物は高純度のトリクロロシランと高沸点不純物を含むトリクロロシランに分離される。このとき、上記高純度のトリクロロシランは上部ストリーム５１を通じて排出された後、凝縮器２０２で液化される。そのうち、一部は第３精製塔１０５に還流５２され、残り５３はトリクロロシランの貯蔵タンク１に排出される。一方、高沸点不純物を含むトリクロロシランは、下部ストリーム５４を通じて排出された後、リボイラー３０２により再加熱される。そのうち、一部は第３精製塔にリサイクルされ、残りは排出５６される。図１には第３精製塔までが示されているが、必要に応じて、さらに多い精製段階を行ってもよい。

上記のような過程を経てトリクロロシランの貯蔵タンク１に貯蔵されたトリクロロシランは、水素気体２とともにポリシリコンが生成される還元炉１０６に原料物質として供給される。

上記した従来のポリシリコンの製造方法は、高純度のトリクロロシランを得るために、複数の精製塔を経なければならず、精製塔毎に上部ストリームを冷却するための凝縮器と、下部ストリームを再加熱するためのリボイラーを備えなければならない。よって、用いられるユーティリティ（ｕｔｉｌｉｔｙ）の数が多くなるとともに、製造工程上のエネルギー消費量と生産費用が高くなるという問題点がある。

従って、環境的な側面及び経済的な側面を考慮すると、トリクロロシランの精製工程で使用されるエネルギー消費量を減少させ、生産費用が節減できるトリクロロシランの精製方法が求められている。

本発明は、凝縮器及びリボイラーに用いられるユーティリティの使用を最小化し、エネルギー消耗量を減少させることで、経済的、且つ環境にやさしいトリクロロシランの精製方法を提供する。

そのために、本発明は、トリクロロシランの生成反応の反応生成物からトリクロロシラン及びテトラクロロシランを主成分とするクロロシラン混合物を分離させる前処理段階と、上記クロロシラン混合物を微量の不純物及びトリクロロシランの混合物からなる第１上部ストリームと、テトラクロロシランを主成分とする第１下部ストリームとに分離させる第１精製段階と、上記第１上部ストリームを微量の低沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２上部ストリームと、微量の高沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２下部ストリームとに分離させる第２精製段階と、上記第２下部ストリームをトリクロロシランを主成分とする第３上部ストリームと、微量の高沸点不純物及びトリクロロシラン混合物からなる第３下部ストリームとに分離させる第３精製段階とを含み、このとき、上記第３精製段階は上記第２精製段階より高い圧力条件下で行われ、上記第２下部ストリームと上記第３上部ストリームの間で熱交換が行われることを特徴とするトリクロロシランの精製方法を提供する。

上記第３精製段階は、上記第２精製段階より０．５から１００ａｔｍ程度高い圧力条件下で行われることが好ましく、上記第２精製段階が１から１０ａｔｍの圧力条件下で行われ、上記第３精製段階は１．５から１００ａｔｍの圧力条件下で行われることがより好ましい。

また、上記第２下部ストリームと上記第３上部ストリームの温度差は、５から２００℃程度であることが好ましく、上記第２精製段階の下部ストリームの温度は４０から１２０℃程度で、上記第３精製段階の上部ストリームの温度は６０から２５０℃程度であることがより好ましい。

他の側面における本発明は、前処理塔、第１精製塔、第２精製塔及び第３精製塔を含むトリクロロシランの精製装置において、上記第３精製塔の内部圧力が上記第２精製塔の内部圧力より高く保持され、上記第３精製塔の上部ストリームと上記第２精製塔の下部ストリームの間で熱交換を行うための熱交換器を含むことを特徴とするトリクロロシランの精製装置を提供する。

上記第３精製塔の内部圧力は、上記第２精製塔の内部圧力より０．５から１００ａｔｍ程度高く保持することが好ましく、第２精製塔の内部圧力が１から１０ａｔｍ程度で、第３精製塔の内部圧力が１．５から１００ａｔｍ程度であることがより好ましい。

また、上記第３精製塔の上部ストリームと上記第２精製塔の下部ストリームの温度差は５℃から２００℃程度であることが好ましく、第３精製塔の上部ストリームの温度は６０℃から２５０℃程度で、上記第２精製塔の下部ストリームの温度は４０℃から１２０℃程度であることがより好ましい。

本発明のトリクロロシランの精製方法及び精製装置を使用すると、凝縮器及びリボイラーのようなユーティリティの使用を最小化することができ、エネルギー消耗量を効果的に減少させることができる。その結果、トリクロロシランの製造費用を節減することができる。

従来のポリシリコンの製造工程を説明するための図面である。本発明のトリクロロシランの精製方法を説明するための図面である。比較例及び実施例のクロロシラン精製装置を示す図面である。

本発明者らは、エネルギー消耗量が少なく、経済的で、且つ環境にやさしいトリクロロシランの精製方法を開発するための研究を重ねた結果、トリクロロシランの精製工程で特定精製段階の圧力を調節することで、凝縮器やリボイラーに用いられるユーティリティの使用を最小化し、エネルギー消耗量を著しく減らすことができることを突き止め、本発明を完成した。

図２は、本発明のトリクロロシランの精製装置及び精製方法を説明するための図面である。以下では、図２を参照して本発明の精製装置及び精製方法をより詳しく説明する。

先ず、本発明のトリクロロシランの精製装置について説明する。

図２に示されているように、本発明の精製装置は、前処理塔１０２、第１精製塔１０３、第２精製塔１０４及び第３精製塔１０５を含んでなり、反応器（不図示）で生成された反応生成物はこれらを順に通過して高純度に精製される。上記前処理塔１０２、第１精製塔１０３、第２精製塔１０４及び第３精製塔１０５の作用及びそれぞれの精製塔で行われるトリクロロシランの精製過程は、上記背景技術に記載された内容と類似する。

しかし、従来のトリクロロシランの精製装置は、上記精製塔が同じ圧力条件下で作動するが、本発明の精製装置は、上記第３精製塔の内部圧力が上記第２精製塔の内部圧力より高く保持されることがその特徴である。

また、従来の精製装置は、第２精製塔と第３精製塔がそれぞれ凝縮器とリボイラーを全部備えなければならないが、本願発明の精製装置は、第２精製塔の下部ストリームを加熱するためのリボイラーと、第３精製塔の上部ストリームを冷却させるための凝縮器を備えない。その代わり、本発明の精製装置は、上記第３精製塔の上部ストリームと上記第２精製塔の下部ストリームの間で熱交換を行うための熱交換器４０１を含む。

本発明で第３精製塔の内部圧力を第２精製塔の内部圧力より高く保持させる理由は、圧力差により第２精製塔のストリームと第３精製塔のストリームに温度差を発生させ、これを通じて円滑な熱交換が行われるようにするためである。以下では、これについて具体的に説明する。

従来のトリクロロシランの精製装置は、図１に示されているように、第２精製塔１０４と第３精製塔１０５にそれぞれ凝縮器２０１、２０２とリボイラー３０１、３０２が備えられている。上記凝縮器２０１、２０２は各精製塔で排出される上部ストリームを冷却、凝縮させて、そのうち、一部は精製塔の内部に還流４６させ、残りは排出４７させる。上記リボイラー３０１、３０２は各精製塔の下部ストリームを加熱し、そのうち、一部は精製塔の内部にリサイクル４９させ、残りは排出５０させる。このように、精製塔で排出される上部ストリームと下部ストリームを冷却又は再加熱し、その一部を精製塔に戻すことは、精製塔内部の温度を一定に保持するために必須の工程であるが、精製塔が多くなるほど備えなければならない凝縮器及びリボイラーなどのユーティリティの数が多くなり、このようなユーティリティで消耗されるエネルギー量も増加する。その結果、生産費用が増加するという問題点がある。

従って、本発明者らは、このような問題点を解決するため、第２精製塔の下部ストリームと第３精製塔の上部ストリームの間で熱交換が行われるようにする熱交換器４０１を備えることで、ユーティリティの使用を最小化し、エネルギー消耗量が減らせるようにした。

しかし、従来のトリクロロシランの精製装置は、上記第２精製塔の下部ストリームと第３精製塔の上部ストリームの温度差が殆どないか、第３精製塔の上部ストリームの温度が却って低いため、熱交換器を設置しても上記第２精製塔の下部ストリームと上記第３精製塔の上部ストリームの熱交換が円滑に行われない。これは、第２精製塔と第３精製塔の両方で精製対象の９９％以上がトリクロロシランで、不純物が１％程度しか混合されていないため、沸点に大きな差がないためである。

従って、熱交換が円滑に行われるためには、上記第２精製塔の下部ストリームと第３精製塔の上部ストリームの間に温度差を発生させる必要がある。よって、本発明は熱交換器を備えるとともに、上記第３精製塔の圧力を第２精製塔の圧力より高く保持させて、第３精製塔のトリクロロシランの沸点が第２精製塔のトリクロロシランの沸点より高くなるようにした。その結果、第３精製塔の上部ストリームの温度が第２精製塔の下部ストリームより高くなり、熱交換器に、このように温度差がある第３精製塔の上部ストリームと第２精製塔の下部ストリームを通過させると、熱交換が行われ、第３精製塔の上部ストリームは冷却され、第２精製塔の下部ストリームは加熱される。

また、上記第３精製塔の内部圧力は、上記第２精製塔の内部圧力より０．５から１００ａｔｍ程度、より好ましくは１から５０ａｔｍ、最も好ましくは１から２０ａｔｍ程度高く保持する。

第２精製塔と第３精製塔の圧力差が０．５ａｔｍ未満では、第２精製塔の下部ストリームと第３精製塔の上部ストリームの間の温度差が小さくなり、その結果、円滑な熱交換が困難で、熱交換面積が大きくなって装置費用が上昇するという問題点がある。圧力差が１００ａｔｍを超えると、第３精製塔の圧力上昇のために過度な費用がかかり、精製塔の運転が困難であるという問題点がある。従って、費用と熱交換の効率をともに考慮すると、上記第３精製塔の内部圧力と第２精製塔の内部圧力の差は０．５から１００ａｔｍ程度であることが好ましい。

より具体的には、第２精製塔の内部圧力が１から１０ａｔｍ程度で、第３精製塔の内部圧力が１．５から１００ａｔｍ程度であることが好ましい。第２精製塔の内部圧力が１ａｔｍ未満では、運転温度が低くなって上部ストリームの凝縮器で低温の熱交換媒体を使用しなければならなくなり、費用が上昇する。また、第２精製塔の圧力が１０ａｔｍを超えると、第２精製塔の運転温度が必要以上に上昇し、第３精製塔の圧力もともに高くならなければならないため、多くの費用がかかるという問題点がある。

また、円滑な熱交換のためには、上記第３精製塔の上部ストリームと上記第２精製塔の下部ストリームの温度差が５℃から２００℃程度であることが好ましい。温度差が５℃未満では熱交換が困難で、２００℃以上では費用が非常に高くなるためである。

より具体的には、上記第３精製塔の上部ストリームの温度が６０℃から２５０℃程度で、上記第２精製塔の下部ストリームの温度が４０℃から１２０℃程度であることが好ましい。

上記のような本発明のトリクロロシランの精製装置を使用すると、凝縮器やリボイラーの使用を最小化することができ、別途の外部エネルギーを導入しなくても第３精製塔の上部ストリームの冷却と第２精製塔の下部ストリームの加熱を同時に行うことができる。

次に、本発明のトリクロロシランの精製方法を説明する。

本発明のトリクロロシランの精製方法は、前処理段階、第１精製段階、第２精製段階及び第３精製段階を含み、このとき、上記第３精製段階は第２精製段階より高い圧力条件下で行われ、上記第２精製段階で発生する下部ストリームと上記第３精製段階で発生する上部ストリームの間で熱交換が行われることをその特徴とする。

本発明の精製方法をより具体的に説明すると、先ず、トリクロロシランを生成するための反応により生成された反応生成物からトリクロロシラン及びテトラクロロシランを主成分とするクロロシラン混合物を分離させる前処理段階を行う。このような前処理段階は、一般的に前処理塔１０２で行われる。上記のように、トリクロロシランを生成するための反応により生成された反応生成物には水素気体、塩酸気体、ジクロロシラン、トリクロロシラン及びテトラクロロシランなどが含まれており、該反応生成物を前処理塔１０２で蒸留させると、沸点の低い水素気体、塩酸気体、ジクロロシランなどは上部ストリーム（ｔｏｐｓｔｒｅａｍ）４１を通じて排出され、沸点の高いトリクロロシランとテトラクロロシランのようなクロロシラン混合物は下部ストリーム（ｂｏｔｔｏｍｓｔｒｅａｍ）４２を通じて排出される。

上記前処理段階の下部ストリーム４２に排出されたクロロシラン混合物は、第１精製段階を通じてトリクロロシランを主成分とする第１上部ストリーム４３と、テトラクロロシランを主成分とする第１下部ストリーム４４とに分離される。一方、前処理段階の下部ストリーム４２を通じて排出される上記クロロシラン混合物は、トリクロロシランとテトラクロロシランを主成分とするが、上記トリクロロシラン及びテトラクロロシランの他にも前処理塔１０２で完全に分離されない不純物が微量混合されている。このように不純物が混合されているクロロシラン混合物を蒸留させると、沸点の低い不純物とトリクロロシランは第１上部ストリーム４３に排出され、沸点の高い不純物とテトラクロロシランは第１下部ストリーム４４に排出される。一般的に、上記第１上部ストリーム４３に排出されるトリクロロシランの純度は約９９％である。即ち、第１上部ストリーム４３には約１％の不純物が含まれており、この不純物には上記のように前処理塔で分離されない不純物と一部テトラクロロシランなどが含まれる。

次に、上記第１精製段階で排出されるトリクロロシランと微量の不純物の混合物を含む第１上部ストリームが第２精製段階を通じて蒸留され、微量の低沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２上部ストリーム１４５と、微量の高沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２下部ストリーム１４８とに分離される。このとき、上記第２上部ストリーム１４５は排出された後、凝縮器２０１により凝縮される。そのうち、一部は精製塔の内部に還流１４６され、残りは排出１４７される。一方、上記第２下部ストリーム１４８は、熱交換器４０１を通過した後、一部は精製塔にリサイクル１４９され、残りは後述する第３精製段階に排出１５０される。

一方、上記第２精製段階で排出される微量の高沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２下部ストリーム１４８は、第３精製段階を通じて、トリクロロシランを主成分とする第３上部ストリーム１５１と、微量の高沸点不純物及びトリクロロシラン混合物からなる第３下部ストリーム１５４に分離される。このとき、上記第３上部ストリーム１５１は、熱交換器４０１を通過した後、一部は精製塔の内部に還流１５２され、残りはトリクロロシランの貯蔵タンク１に排出１５３される。一方、上記第３下部ストリーム１５４は、リボイラー３０２を通じて加熱された後、一部は精製塔の内部に還流１５５され、残りは排出１５６される。

上記のような本発明のトリクロロシランの精製方法において、上記第３精製段階は、第２精製段階より高い圧力条件下で行われなければならない。これは、上記したように、第３精製段階で発生する上部ストリームと第２精製段階で発生する下部ストリームの間に温度差を誘発し、円滑な熱交換が行われるようにするためであり、上記第３精製段階の圧力は上記第２精製段階の圧力より１から１００ａｔｍ程度、より好ましくは１から５０ａｔｍ、最も好ましくは１から２０ａｔｍ程度高いことがよい。より具体的には、上記第２精製段階は１から１０ａｔｍ程度の圧力条件下で行われ、上記第３精製段階は１．５から１００ａｔｍ程度の圧力条件下で行われた方がよい。

また、上記第２精製段階の第２下部ストリームと上記第３精製段階の第３上部ストリームの温度差は、５から２００℃程度であることが好ましく、上記第２精製段階の第２下部ストリームの温度が５０から１２０℃程度で、上記第３精製段階の第３上部ストリームの温度が６０から２５０℃程度であることがより好ましい。

以下では、具体的な実施例を通じて本発明をより詳しく説明する。

比較例
図３に示されているようなクロロシラン精製装置によりクロロシランを精製した。このとき、上記精製装置の運転条件及び物質組成は、下記［表１］に記載された通りである。また、第２精製塔及び第３精製塔の運転圧力は１．９ｋｇｆ／ｃｍ^２と同一である。

上記クロロシラン精製装置の第２精製塔の下部ストリームと第３精製塔の上部ストリームの温度を測定した結果、第２精製塔の下部ストリーム温度は５４．０℃で、第３精製塔の上部ストリーム温度は５０．６℃であった。

＊Ｃ−ＴＣＳ：未精製のトリクロロシラン（ＣｒｕｄｅＴｒｉＣｈｌｏｒｏＳｉｌａｎｅ）
＊ＳＴＣ：四塩化ケイ素（ＳｉｌｉｃｏｎＴｅｔｒａＣｈｌｏｒｉｄｅ）
＊ＴＣＳ／ＬＢ：トリクロロシランと低沸点不純物の混合物
＊ＴＣＳ／ＨＢ：トリクロロシランと高沸点不純物の混合物
＊Ｐ−ＴＣＳ：精製されたトリクロロシラン
＊ＰＳＣ：ポリシランクロライド（ＰｏｌｙＳｉｌａｎｅＣｈｌｏｒｉｄｅ）
＊ＤＣＭＳ：ジクロロメチルシラン（ＤｉＣｈｌｏｒｏＭｅｔｈｙｌＳｉｌａｎｅ）

実施例１
第３精製塔の運転圧力を３．７ｋｇｆ／ｃｍ^２で加圧したことを除き、比較例１と同じ方法でクロロシランを精製した。

実施例２
第３精製塔の運転圧力を５０ｋｇｆ／ｃｍ^２で加圧したことを除き、比較例１と同じ方法でクロロシランを精製した。

上記比較例、実施例１及び実施例２それぞれの第３上部ストリーム（ＰｕｒｉｆｉｅｄＴＣＳ）と第３下部ストリーム（ＴＣＳ／ＨＢ）の温度、圧力、流量及びモル分率を測定し、その結果を下記［表２］に示した。

＊Ｒｅｂｏｉｌｅｒｄｕｔｙ：リボイラーで所要されるエネルギー
＊ＲＲ：ＲｕｆｌｕｘＲａｔｉｏ、ｃｏｎｄｅｎｓｅｒにおいて、製品に排出される量と蒸留塔の内部に還流される量の比率

上記［表２］から、比較例のように第２精製塔と第３精製塔の圧力を等しくして運転すると、第２下部ストリームの温度である５４．０℃と比べて第３精製塔の上部ストリーム温度は５０．６℃とより低いが、実施例１及び２のように、第３精製塔の圧力を加圧すると、第３精製塔上部ストリームの温度がそれぞれ約７４℃、約２２３℃と、第２下部ストリームとそれぞれ２０℃及び１６９℃程度の温度差を示すことが分かる。このように、実施例１及び２の第３上部ストリームを、第２下部ストリームを加熱するための媒体として使用すると、第２ストリームを加熱するための熱源（シミュレーションによると、第２ストリームを加熱するためには約０．２５Ｇｃａｌ／ｈｒの熱量が必要であると計算された）を全量回収することができる。

１０１反応器
１０２前処理塔
１０３第１精製塔
１０４第２精製塔
１０５第３精製塔
２０１、２０２凝縮器
３０１、３０２リボイラー
４０１熱交換器

Claims

トリクロロシランの生成反応の反応生成物からトリクロロシラン及びテトラクロロシランを主成分とするクロロシラン混合物を分離させる前処理段階と、
前記クロロシラン混合物を微量の不純物及びトリクロロシランの混合物からなる第１上部ストリームと、テトラクロロシランを主成分とする第１下部ストリームとに分離させる第１精製段階と、
前記第１上部ストリームを微量の低沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２上部ストリームと、微量の高沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２下部ストリームとに分離させる第２精製段階と、
前記第２下部ストリームをトリクロロシランを主成分とする第３上部ストリームと、微量の高沸点不純物及びトリクロロシラン混合物からなる第３下部ストリームとに分離させる第３精製段階を含み、
このとき、前記第３精製段階は、前記第２精製段階より０．５から１００ａｔｍ高い圧力条件下で行われ、前記第２下部ストリームの温度は４０から１２０℃であり、前記第３上部ストリームの温度は６０から２５０℃であり、前記第２下部ストリームと前記第３上部ストリームの温度差が５から２００℃であり、前記第２下部ストリームと前記第３上部ストリームの間で熱交換が行われることを特徴とするトリクロロシランの精製方法。
前記第２精製段階は圧力が１から１０ａｔｍの条件下で行われ、前記第３精製段階は圧力が１．５から１００ａｔｍの条件下で行われる請求項１に記載のトリクロロシランの精製方法。
前処理塔、第１精製塔、第２精製塔及び第３精製塔を含むトリクロロシランの精製装置において、
前記第３精製塔の内部圧力が前記第２精製塔の内部圧力より０．５から１００ａｔｍ高く保持され、
前記第３精製塔の上部ストリームの温度は６０から２５０℃であり、前記第２精製塔の下部ストリームの温度は４０から１２０℃であり、前記第３精製塔の上部ストリームと前記第２精製塔の下部ストリームの温度差は５から２００℃であり、
前記第３精製塔の上部ストリームと前記第２精製塔の下部ストリームの間で熱交換を行うための熱交換器を含むトリクロロシランの精製装置。
前記第２精製塔の内部圧力は１から１０ａｔｍで、
前記第３精製塔の内部圧力は１．５から１００ａｔｍである請求項３に記載のトリクロロシランの精製装置。