JP2013258236A - 接着フィルムの破断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着フィルム23の破断方法であって、個々のチップ15Aに分割されたウエーハ11の裏面に接着フィルム23が貼着されるとともにエキスパンドシートに貼着され環状フレームFで支持された形態のウエーハユニットを形成するステップと、ウエーハ11と同等以上の直径を有しエキスパンドシートを介してウエーハ11を支持する伸縮可能な柔軟部材58と、密閉空間60に冷却気体を供給する冷却気体流入路62と、気体を排出する気体排出路68と、を備えた支持テーブル54上にウエーハユニットを載置するとともに、フレーム固定手段46でフレームFを固定するステップと、密閉空間60に冷却気体を流入して柔軟部材58とともにエキスパンドシートを拡張しつつ接着フィルム23を冷却しながらチップ15Aに沿って破断する破断ステップと、を備える。
【選択図】図5
Description
波長 :1064nm
繰り返し周波数 :100kHz
パルス出力 :10μJ
集光スポット径 :φ1μm
加工送り速度 :100mm/秒
13 分割予定ライン
15 デバイス
17 切削溝
18 切削ブレード
23 粘着テープ(DAF)
25,25A ウエーハユニット
40 分割装置(エキスパンド装置)
58 伸縮可能な柔軟部材
60 密閉空間
62 冷却気体流入路
68 気体排出路
70 流量調整手段
80 レーザービーム照射ユニット
84 レーザービーム発生ユニット
86 集光器
Claims (2)
- 接着フィルムの破断方法であって、
個々のチップに分割されたウエーハの裏面に接着フィルムが貼着されるとともに該接着フィルムを介してウエーハがエキスパンドシートに貼着され環状フレームで支持された形態のウエーハユニットを形成するウエーハユニット形成ステップと、
該ウエーハユニット形成ステップを実施した後、該ウエーハユニットのウエーハと同等以上の直径を有し該エキスパンドシートを介してウエーハを支持する伸縮可能な柔軟部材と、該柔軟部材の直下に形成される密閉空間と、該密閉空間に冷却気体を供給する冷却気体源に接続された冷却気体流入路と、該密閉空間の気体を排出する気体排出路と、を備えた支持テーブル上に該ウエーハユニットを載置するとともに、該支持テーブルの外周に配設されたフレーム固定手段で該フレームを固定するウエーハユニット固定ステップと、
該ウエーハユニット固定ステップを実施した後、該密閉空間に冷却気体を流入して該柔軟部材とともに該エキスパンドシートを拡張しつつ該気体排出路から冷却気体を排出させて該接着フィルムを冷却しながら該チップに沿って破断する破断ステップと、
を備えたことを特徴とする接着フィルムの破断方法。 - 接着フィルムの破断方法であって、
分割起点が形成されたウエーハの裏面に接着フィルムが貼着されるとともに該接着フィルムを介してウエーハがエキスパンドシートに貼着され環状フレームで支持された形態のウエーハユニットを形成するウエーハユニット形成ステップと、
該ウエーハユニット形成ステップを実施した後、該ウエーハユニットのウエーハと同等以上の直径を有し該エキスパンドシートを介してウエーハを支持する伸縮可能な柔軟部材と、該柔軟部材の下方に形成される密閉空間と、該密閉空間に冷却気体を供給する冷却気体源に接続された冷却気体流入路と、該密閉空間の気体を排出する気体排出路と、を備えた支持テーブル上に該ウエーハユニットを載置するとともに、該支持テーブルの外周に配設されたフレーム固定手段で該フレームを固定するウエーハユニット固定ステップと、
該ウエーハユニット固定ステップを実施した後、該密閉空間に冷却気体を流入して該柔軟部材とともに該エキスパンドシートを拡張しつつ該気体排出路から冷却気体を排出させることで該接着フィルムを冷却し該分割起点に沿ってウエーハとともに該接着フィルムを破断する破断ステップと、
を備えたことを特徴とする接着フィルムの破断方法。
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