JP2014179434A - ウェーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のウェーハ(W)の分割方法は、切削ブレード(42)をウェーハ(W)の表面から切り込みウェーハ(W)の裏面から所定厚みを残して該分割予定ラインに沿って複数の切削溝(45)を形成する工程の後、ウェーハ(W)の裏面に貼着された保護テープ(T)の裏面側に圧縮エアを向けて噴射し、保護テープ(T)が膨らんで切削溝(45)を起点にウェーハ(W)裏面に至るクラックを成長させて分割予定ラインに沿ってウェーハ(W)を複数のチップに分割する工程を行う。
【選択図】図4
Description
切削ブレード42:人工ダイヤモンド 4〜6μm
ウェーハWの直径寸法:6インチ
ウェーハWの厚み:0.4mm
保護テープT:表面保護テープ厚み70μm
切削ブレード42のRPM:40,000/min
切削ブレード42のX軸方向送り速度:150mm/s
分割予定ラインのピッチ間隔(チップの一辺の長さ):5mm
切削溝45の深さD:350μm
ブレードハイト:0.12mm
3 チャックテーブル
4 切削手段
15 保持面
16 吸引口
19 分岐配管
20 第1開閉バルブ(開閉バルブ)
21 負圧生成源
22 第2開閉バルブ(開閉バルブ)
23 圧縮エア供給源
25 フレーム保持部
42 切削ブレード
45 切削溝
C クラック
F フレーム
T 保護テープ
W ウェーハ
Claims (1)
- 保護テープを介してフレームに装着されたウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの外周に配設されて該フレームを支持するフレーム保持部と、該チャックテーブルに保持されたウェーハに切削溝を形成する切削手段と、該チャックテーブルのウェーハを保持する保持面に開口した吸引口と、該吸引口に連結した分岐配管のそれぞれに開閉バルブを介して連通した負圧生成源及び圧縮エア供給源と、を少なくとも備える切削装置において、ウェーハの分割予定ラインに沿って分割をするウェーハの分割方法であって、
ウェーハの裏面と該フレームとを保護テープによって一体に貼着する貼着工程と、
該貼着工程の後に、該チャックテーブルの該吸引口を該負圧生成源に連通させ、該保護テープを介して該フレームに装着されたウェーハを該チャックテーブルに保持し、該フレームを該フレーム保持部に保持する保持工程と、
該保持工程の後に、該切削手段の回転する切削ブレードをウェーハの表面から切り込みウェーハの裏面から所定厚みを残して該分割予定ラインに沿って複数の切削溝を形成する切削溝形成工程と、
該切削溝形成工程の後に、該フレームを該フレーム保持部で保持した状態のまま該吸引口を該負圧生成源から該圧縮エア供給源に切り替えて連通させ該チャックテーブルの該吸引口から圧縮エアを該保護テープの裏面側に向けて噴射し、該保護テープが上方向に凸形状の状態に膨らむとともにウェーハの該切削溝を起点にウェーハ裏面に至るクラックを成長させて該分割予定ラインに沿ってウェーハを複数のチップに分割するチップ分割工程と、
から構成されるウェーハの分割方法。
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2013
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