JP2013256014A - 吐出口形成部材及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一形態は、第一の光酸発生剤を含む第一のネガ型感光性樹脂層と、該第一のネガ型感光性樹脂層の上に形成され、第二の光酸発生剤を含む第二のネガ型感光性樹脂層と、からなる積層体を形成する工程と、前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層を一括に露光して、前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層にそれぞれ第一の潜像及び第二の潜像を形成する工程と、前記露光後に加熱処理を実施する工程と、現像処理によって前記吐出口を形成する工程と、を有し、前記第一の潜像における前記第一の光酸発生剤の酸の拡散長の方が前記第二の潜像における前記第二の光酸発生剤の酸の拡散長よりも大きいことを特徴とする吐出口形成部材の製造方法である。
【選択図】図3
Description
ザグリ形状を有する吐出口を有する吐出口形成部材の製造方法であって、
(1)第一の光酸発生剤を含む第一のネガ型感光性樹脂層と、該第一のネガ型感光性樹脂層の上に形成され、第二の光酸発生剤を含む第二のネガ型感光性樹脂層と、からなる積層体を形成する工程と、
(2)前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層を一括に露光して、前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層にそれぞれ第一の潜像及び第二の潜像を形成する工程と、
(3)前記露光後に加熱処理を実施する工程と、
(4)現像処理によって前記吐出口を形成する工程と、
を有し、
前記第一の潜像における前記第一の光酸発生剤の酸の拡散長の方が前記第二の潜像における前記第二の光酸発生剤の酸の拡散長よりも大きいことを特徴とする吐出口形成部材の製造方法である。
以下に、本発明の第一の実施形態について説明する。
次に、本発明の第二の実施形態について説明する。
図1を用いて、内径の小さい開口を有する中間層を内部に含む吐出口形成部材の具体的な製造方法を説明する。
実施例1では、高沸点溶媒を用いて露光後からPEB直前までの残存溶媒量を制御し、酸の拡散長に差を持たせたが、実施例2においては残存溶媒量の制御に加えて、各レジストの光酸発生剤の種類に差異を持たせる例を示す。なお、工程フローは実施例1と同じ工程(図4に工程概要を示す)であるため、ここではレジストの光酸発生剤についてのみ説明する。
2 第二の樹脂層
5 マスク
6 基板
7 ひさし
8 吐出エネルギー発生素子
9 保護膜
10 吐出口
12 液体供給口
10a 下層開口
10b 中間層開口
10c 上層開口
20 吐出口形成部材
20a 第一の層
20b 第二の層
20c 第三の層
21 流路壁形成部材
61a 第一の潜像
61b 第一の除去空間
62a 第二の潜像
62b 第二の除去空間
101 感光性樹脂下層
102 感光性樹脂中間層
103 感光性樹脂上層
106 基板
107 ひさし
108 吐出エネルギー発生素子
109 保護膜
110 吐出口
120 吐出口形成部材
121 流路壁形成部材
161a 第一の潜像
161b 第一の除去空間
162a 第二の潜像
162b 第二の除去空間
163a 第三の潜像
163b 第三の除去空間
Claims (13)
- ザグリ形状を有する吐出口を有する吐出口形成部材の製造方法であって、
(1)第一の光酸発生剤を含む第一のネガ型感光性樹脂層と、該第一のネガ型感光性樹脂層の上に形成され、第二の光酸発生剤を含む第二のネガ型感光性樹脂層と、からなる積層体を形成する工程と、
(2)前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層を一括に露光して、前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層にそれぞれ第一の潜像及び第二の潜像を形成する工程と、
(3)前記露光後に加熱処理を実施する工程と、
(4)現像処理によって前記吐出口を形成する工程と、
を有し、
前記第一の潜像における前記第一の光酸発生剤の酸の拡散長の方が前記第二の潜像における前記第二の光酸発生剤の酸の拡散長よりも大きいことを特徴とする吐出口形成部材の製造方法。 - 前記工程(2)の露光後であって前記工程(3)の加熱処理前において、前記第一のネガ型感光性樹脂層の残存溶媒量の方が前記第二のネガ型感光性樹脂層の残存溶媒量よりも大きい請求項1に記載の吐出口形成部材の製造方法。
- 前記第一のネガ型感光性樹脂層に含まれる第一の溶媒の沸点の方が前記第二のネガ型感光性樹脂層に含まれる第二の溶媒の沸点よりも大きい請求項2に記載の吐出口形成部材の製造方法。
- 前記第一の光酸発生剤の方が前記第二の光酸発生剤よりも高感度である請求項1乃至3のいずれかに記載の吐出口形成部材の製造方法。
- 前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層は、熱酸発生剤および熱硬化触媒を含まない請求項1乃至4のいずれかに記載の吐出口形成部材の製造方法。
- 前記工程(1)において、前記積層体は、さらに、前記第一のネガ型感光性樹脂層の前記第二のネガ型感光性樹脂層と反対側の面の上に、第三の光酸発生剤を含む第三のネガ型感光性樹脂層を有し、
前記工程(3)において、前記第三のネガ型感光性樹脂層を含んで一括に露光することにより、前記第三のネガ型感光性樹脂層に第三の潜像を形成し、
前記第一の潜像における前記第一の光酸発生剤の酸の拡散長の方が前記第三の潜像における第三の光酸発生剤の酸の拡散長よりも大きい請求項1乃至5のいずれかに記載の吐出口形成部材の製造方法。 - 前記工程(2)の露光後であって前記工程(3)の加熱処理前において、前記第一のネガ型感光性樹脂層の残存溶媒量の方が前記第三のネガ型感光性樹脂層の残存溶媒量よりも大きい請求項6に記載の吐出口形成部材の製造方法。
- 前記第一のネガ型感光性樹脂層に含まれる第一の溶媒の沸点の方が前記第三のネガ型感光性樹脂層に含まれる第三の溶媒の沸点よりも大きい請求項7に記載の吐出口形成部材の製造方法。
- 前記第一の光酸発生剤の方が前記第三の光酸発生剤よりも高感度である請求項6乃至8のいずれかに記載の吐出口形成部材の製造方法。
- 前記第一のネガ型感光性樹脂層と前記第三のネガ型感光性樹脂層は同一材料からなる請求項6乃至9のいずれかに記載の吐出口形成部材の製造方法。
- 請求項1乃至10のいずれかに記載の吐出口形成部材の製造方法を含む液体吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項1乃至10のいずれかに記載の吐出口形成部材の製造方法により製造された吐出口形成部材を備える液体吐出ヘッド。
- 請求項12に記載の液体吐出ヘッドを備える画像形成装置。
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