JP2013251224A - 表示パネルの製造方法、その検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤色、緑色及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応する表示色フィルタを有する表示パネルの検査方法は、検査装置により撮像される各色表示画素の光学像の露出量が、各光学像間で略同一となるよう、撮像時に表示パネルに照射される、赤色光、緑色光及び青色光の強度を個別に設定する強度設定工程と、当該強度設定工程で設定された強度で、赤色光、緑色光及び青色光を各色表示画素に照射する照射工程と、当該照射工程で上記3種類の単色光が照射されている間に、検査装置により各色表示画素を撮像して当該各色表示画素の光学像を取得する取得工程と、当該取得工程で取得された光学像から各色表示画素の欠陥部を検出する検出工程とを含む。
【選択図】図5
Description
有機EL素子により発光する表示パネルの製造工程において、例えば、有機EL素子を構成する有機層内に異物等が混入し、有機EL素子が短絡欠陥部を有する場合、当該有機EL素子に信号電圧に対応した電圧が印加されても、短絡欠陥部に優先的に電流が流れてしまう。そのため、上記有機EL素子には正常な電流が流れず、滅点化してしまう。従って、有機EL素子の滅点化を防ぐため、滅点化の原因になる短絡欠陥部を検出し、該当箇所をリペアすることが要求される。
本発明の実施の形態に係る表示パネルの検査装置、検査方法及び製造方法について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る有機EL表示パネルの検査及びリペアの構成を示す機能ブロック図である。同図に記載された有機EL表示パネルの検査及びリペアの構成は、検査装置1と、表示装置2と、リペア装置3とを備える。なお、本発明の検査方法及び製造方法を実施する対象となるのは表示パネル22であり、表示装置2が有する制御部21、データ線駆動回路23及び走査線駆動回路24は、構成要素としてなくてもよい。
次に、本発明の表示パネルの検査方法及び製造方法について説明する。
2 表示装置
3 リペア装置
11 照射部
12 輝度測定部
13 判定部
21 制御部
22 表示パネル
22B 青色画素
22G 緑色画素
22R 赤色画素
23 データ線駆動回路
24 走査線駆動回路
50 異物
51 短絡部
52 欠陥部
110 基板
111 平坦化膜
112 陽極
113 正孔注入層
114 発光層
115 電子注入層
116 陰極
117 薄膜封止層
118 封止用樹脂層
119 接着層
120 透明基板
121 ブラックマトリクス
122 カラーフィルタ
122B 青色カラーフィルタ
122G 緑色カラーフィルタ
122R 赤色カラーフィルタ
123 隔壁
130 有機層
221、421 有機EL素子
222 駆動トランジスタ
223 選択トランジスタ
224 コンデンサ
231 データ線
241 走査線
251 正電源線
261 負電源線
422 短絡成分
Claims (12)
- 赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素の表示色に対応する表示色フィルタを有する表示パネルを、検査装置で検査する検査方法であって、
前記検査装置により撮像される前記赤色表示画素、前記緑色表示画素及び前記青色表示画素の光学像の露出量が各光学像間で略同一となるよう、前記検査装置による撮像時に前記表示パネルに照射される、赤色に対応する第1波長域の光、緑色に対応する第2波長域の光及び青色に対応する第3波長域の光の強度を個別に設定する強度設定工程と、
前記強度設定工程で設定された強度で、前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光を、前記表示色フィルタを介して前記各色表示画素に照射する照射工程と、
前記照射工程で前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光が照射されている間に、前記検査装置により前記各色表示画素を撮像して当該各色表示画素の光学像を取得する取得工程と、
前記取得工程で取得された前記光学像から前記各色表示画素の欠陥部を検出する検出工程とを含む
表示パネルの検査方法。 - 前記検査装置は、複数の光電変換素子を有しており、
前記強度設定工程では、
前記複数の光電変換素子の受光感度の可視光波長依存性及び前記表示色フィルタの透過率の可視光波長依存性に基づいて、前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光の強度を個別に設定する
請求項1に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記強度設定工程では、
前記第1波長域、前記第2波長域及び前記第3波長域のうち、前記受光感度と前記透過率との積が大きい波長域ほど、当該波長域の光強度を小さく設定する
請求項2に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記強度設定工程では、
前記各波長域における前記積と当該波長域の光の強度との積が同じとなるよう前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光の強度を設定する
請求項3に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記受光感度は、前記第1波長域よりも前記第3波長域が高く、かつ前記第3波長域よりも前記第2波長域が高い
請求項2〜4のいずれか1項に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記赤色表示画素、前記緑色表示画素及び前記青色表示画素に対応した前記表示色フィルタのうち少なくとも一つは、透過率の可視光波長依存性において、当該表示色フィルタが配置された表示画素の色に対応した波長域において透過率が最大となる第1ピーク波長と、当該波長域以外の可視光波長域において透過率が最大となる第2ピーク波長とを有し、
前記強度設定工程では、さらに、
前記表示色フィルタの前記第2ピーク波長における透過率を加味して、前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光の強度を個別に設定する
請求項2〜5のいずれか1項に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記強度設定工程では、
前記第1波長域、前記第2波長域及び前記第3波長域のうち、前記第1ピーク波長を含む波長域に対応する光の強度を、前記第2ピーク波長を加味しない場合の前記第1ピーク波長を含む波長域に対応する光の強度よりも小さく設定する
請求項6に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記照射工程では、
前記強度設定工程で設定された強度で、前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光を、同時に、前記各色表示画素に照射する
請求項1〜5のいずれか1項に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記各色表示画素は、陰極及び陽極で挟まれた有機エレクトロルミネッセンス発光層を有し、
前記検出工程では、前記陰極及び前記陽極が短絡された前記欠陥部を検出する
請求項1〜8のいずれか1項に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記検出工程では、前記光学像により測定された輝度値が所定値以上となっている領域を前記欠陥部と判定する
請求項1〜9のいずれか1項に記載の表示パネルの検査方法。 - 赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応する表示色フィルタを有する表示パネルに対し、赤色に対応する第1波長域の光、緑色に対応する第2波長域の光及び青色に対応する第3波長域の光を照射する照射部と、
前記照射部から前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光が照射されている間に、前記赤色表示画素、前記緑色表示画素及び前記青色表示画素の光学像を取得する輝度測定部と、
前記光学像から前記各色表示画素の欠陥部を判定する判定部とを備え、
前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光の強度は、前記輝度測定部により取得される、前記赤色表示画素、前記緑色表示画素及び前記青色表示画素の光学像の露出量が、各光学像間で略同一となるよう個別に設定されている
表示パネルの検査装置。 - 赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含む表示パネルの製造方法であって、
表示パネル基板上に、前記各色表示画素をマトリクス状に形成し、前記各色表示画素の上に、対応する表示色フィルタを形成する表示画素形成工程と、
検査装置により撮像される前記赤色表示画素、前記緑色表示画素及び前記青色表示画素の光学像の露出量が、各光学像間で略同一となるよう、前記撮像時に前記表示パネルに照射される、赤色に対応する第1波長域の光、緑色に対応する第2波長域の光及び青色に対応する第3波長域の光の強度を個別に設定する設定工程と、
前記設定工程で設定された強度で、前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光を、前記表示色フィルタを介して前記各色表示画素に照射する照射工程と、
前記照射工程で前記第1波長域の光、前記第2波長域の光及び前記第3波長域の光が照射されている間に、前記検査装置により前記各色表示画素の光学像を取得する取得工程と、
前記取得工程で取得された前記光学像から前記各色表示画素の欠陥部を検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記欠陥部について、リペアを行うリペア工程とを含む
表示パネルの製造方法。
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