JP2013220016A - ハイサイド・ゲートドライバ、スイッチングチップ及び電力装置 - Google Patents

ハイサイド・ゲートドライバ、スイッチングチップ及び電力装置 Download PDF

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Abstract

【課題】ハイサイド・ゲートドライバ、スイッチングチップ及び電力装置を提供する。
【解決手段】ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオフさせるために提供された第1ローレベル駆動電源、第1ローレベル駆動電源とハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートとの間に直列に連結された保護素子、及び第1スイッチング素子を含むハイサイド・ゲートドライバとこれを含む電力装置を提供する。また、同じ構造で具現されたハイサイド・ノーマリーオンスイッチ、追加ノーマリーオンスイッチ及びローサイド・ノーマリーオンスイッチを含むスイッチングチップを提供する。
【選択図】図1

Description

本発明は、ハイサイド・ゲートドライバ、スイッチングチップ及び電力装置に係わり、さらに詳細には、保護素子を含むハイサイド・ゲートドライバ、スイッチングチップ及び電力装置に関する。
最近、主電源を供給されて、各素子に必要な電圧に変換または分配する電力半導体が電子機器に採用されている。電力半導体は、シリコン基盤の半導体を利用して製造されるか、または窒化ガリウム(GaN)や炭化ケイ素(SiC)などの化合物半導体に基づいたGaNトランジスタやSiCトランジスタで具現される。
ハイサイド・ゲートドライバには、出力端子に高いレベルの電圧が印加される。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオン/オフさせるためには、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートに出力端子の電圧に相応する高いレベルの電圧が印加されねばならない。このような高いレベルの電圧は、周辺スイッチング素子の破壊(breakdown)現象を引き起こす恐れがある。
本発明が解決しようとする課題は、周辺スイッチング素子の破壊現象を防止できるハイサイド・ゲートドライバ、スイッチングチップ及び電力装置を提供することである。
前記課題を達成するために、本発明の一態様によるハイサイド・ゲートドライバが提供される。前記ハイサイド・ゲートドライバは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ(high side normally−on switch)を制御でき、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオフさせるために提供された第1ローレベル駆動電源、前記第1ローレベル駆動電源と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートとの間に直列に連結された保護素子及び第1スイッチング素子を含む。
前記ハイサイド・ゲートドライバの一例によれば、前記保護素子の抵抗値は、前記第1スイッチング素子の抵抗値より50倍ないし100倍ほど大きい。
前記ハイサイド・ゲートドライバの他例によれば、前記保護素子は、追加ノーマリーオンスイッチを含む。この時、前記追加ノーマリーオンスイッチの平面視での面積は、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの平面視での面積の1/10ないし1/100である。
前記ハイサイド・ゲートドライバの他例によれば、前記追加ノーマリーオンスイッチのゲートに印加された電圧は、前記追加ノーマリーオンスイッチの臨界電圧より高い。例えば、前記追加ノーマリーオンスイッチのゲートは、接地端子と連結される。
前記ハイサイド・ゲートドライバの他例によれば、前記追加ノーマリーオンスイッチのゲートは、前記第1ローレベル駆動電源と連結される。
前記ハイサイド・ゲートドライバの他例によれば、前記追加ノーマリーオンスイッチ及び前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチは、同じ構造で具現される。前記同じ構造は、窒化ガリウム(GaN)トランジスタ、炭化ケイ素(SiC)トランジスタ及び絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(Insulated Gate Bipolar Transistor)の中で選択された一つを含む。
前記ハイサイド・ゲートドライバの他例によれば、前記ハイサイド・ゲートドライバは、前記保護素子と第2ローレベル駆動電源との間に連結された第2スイッチング素子をさらに含み、前記第2ローレベル駆動電源の電圧は、前記第1ローレベル駆動電源の電圧より高い。
前記ハイサイド・ゲートドライバの他例によれば、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオフさせる間に、前記第1スイッチング素子は、前記第2スイッチング素子がターンオンされた後にターンオンされるように構成される。
本発明の一態様による電力装置が提供される。前記電力装置は、出力端子と連結されたソース、ハイレベル供給電源と連結されたドレイン及びゲートを含むハイサイド・ノーマリーオンスイッチと、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチを制御するためのハイサイド・ゲートドライバと、を含み、前記ハイサイド・ゲートドライバは、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオフさせるために提供された第1ローレベル駆動電源、前記第1ローレベル駆動電源と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートとの間に直列に連結された保護素子及び第1スイッチング素子を含む。
前記電力装置の一例によれば、前記ハイサイド・ゲートドライバは、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオンさせるために提供されたハイレベル駆動電源と、前記ハイレベル駆動電源と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートとの間に連結された第3スイッチング素子と、をさらに含む。
前記電力装置の他例によれば、前記ハイサイド・ゲートドライバは、前記ハイレベル駆動電源と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのソースとの間に連結された容量性素子をさらに含む。
前記電力装置の他例によれば、前記電力装置は、ローレベル供給電源と連結されたソース、前記出力端子と連結されたドレイン及びゲートを含むローサイド・ノーマリーオンスイッチと、前記ローサイド・ノーマリーオンスイッチを制御するためのローサイド・ゲートドライバと、をさらに含む。
本発明の他の態様による電力装置が提供される。前記電力装置は、出力端子と連結されたソース、ハイレベル供給電源と連結されたドレイン及びゲートを含むハイサイド・ノーマリーオンスイッチと、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオンさせるために提供されたハイレベル駆動電源と、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオフさせるために提供された第1ローレベル駆動電源と、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートと連結された追加ノーマリーオンスイッチと、前記第1ローレベル駆動電源と前記追加ノーマリーオンスイッチとの間に連結された第1スイッチング素子と、を含む。
前記電力装置の一例によれば、前記電力装置は、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートの電圧を低下させるために提供された第2ローレベル駆動電源と、前記第2ローレベル駆動電源と前記追加ノーマリーオンスイッチとの間に連結された第2スイッチング素子と、をさらに含み、前記第2ローレベル駆動電源の電圧は、前記第1ローレベル駆動電源の電圧より高い。
本発明の一態様によるスイッチングチップが提供される。前記スイッチングチップは、出力端子と連結されたソース、ハイレベル供給電源と連結されたドレイン及びゲートを含むハイサイド・ノーマリーオンスイッチと、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートと連結された追加ノーマリーオンスイッチと、ローレベル供給電源と連結されたソース、前記出力端子と連結されたドレイン及びゲートを含むローサイド・ノーマリーオンスイッチと、を含み、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ、前記追加ノーマリーオンスイッチ及び前記ローサイド・ノーマリーオンスイッチは、同じ構造で具現される。
前記スイッチングチップの一例によれば、前記追加ノーマリーオンスイッチの平面視での面積は、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの平面視での面積の1/10ないし1/100である。
本発明によるハイサイド・ゲートドライバ及びこれを含む電力装置は、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートと連結された追加保護素子(例えば、ノーマリーオンスイッチ)を含む。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートに印加された高いレベルの電圧が、前記保護素子にほぼ印加され、それにより、周辺スイッチング素子に高いレベルの電圧が印加されて発生する破壊現象が防止される。
本発明によるハイサイド・ゲートドライバ及びこれを含む電力装置は、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチと同じ構造で具現された追加ノーマリーオンスイッチが、保護素子として形成される。したがって、同じ工程を行うことによって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ、ローサイド・ノーマリーオンスイッチ及び追加ノーマリーオンスイッチが具現され、追加的な工程なしにも保護素子が具現される。さらに、追加ノーマリーオンスイッチの場合、その具現において、狭い面積(例えば、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの平面視での面積の1/10ないし1/100)だけを必要とするため、スイッチングチップの面積の増大がほぼ不要である。
本発明の実施形態による電力装置を概略的に示すブロック図である。 本発明の一実施形態による電力装置を概略的に示すブロック図である。 本発明の一実施形態による電力装置を概略的に示すブロック図である。 本発明の他の実施形態による電力装置を概略的に示すブロック図である。 本発明の他の実施形態による電力装置を概略的に示すブロック図である。 本発明のさらに他の実施形態による電力装置を概略的に示すブロック図である。 図6の電力装置のうち、ローサイド・ノーマリーオンスイッチ及びローサイド・ゲートドライバを示す回路図である。 図6の電力装置のうち、ローサイド・ノーマリーオンスイッチ、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ及び追加ノーマリーオンスイッチを示す回路図である。 図6の電力装置の動作を示すタイミング図である。 本発明のさらに他の実施形態による電力装置を概略的に示すブロック図である。 図10の電力装置の動作を示すタイミング図である。 本発明の追加ノーマリーオンスイッチの一具現例を示す工程断面図である。 本発明の実施形態によるスイッチングチップを含む電力装置を概略的に示すブロック図である。 本発明の実施形態によるスイッチングチップの製造方法を概略的に示すフローチャートである。
以下、添付した図面を参照して、本発明による望ましい実施形態を詳細に説明する。しかし、本発明は、後述する実施形態に限定されず、異なる多様な形態に具現され、単に本実施形態は、本発明の開示を完全にし、当業者に発明の範囲を完全に知らせるために提供される。図面で、構成要素は、説明の便宜上、その大きさが誇張されている。
後述する本発明の実施形態で利用される用語は、当該技術分野で通常的に知られた意味を有する。例えば、少なくとも一つは、最小限一つ、すなわち、一つまたはそれ以上の数を意味し、一つまたは複数とも同じ意味として使われる。
図1は、本発明の実施形態による電力装置を概略的に示すブロック図である。
図1を参照すれば、電力装置は、ローサイド・ノーマリーオンスイッチ(LS:Low side normally on Switch)、ローサイド・ゲートドライバ(LGD:Low side Gate Drive)、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ(HS:High side normally on Switch)及びハイサイド・ゲートドライバ(HGD:High side Gate Drive)を含む。
ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSは、ローレベル供給電源(例えば、グラウンド)と連結されたソース、出力端子OUTと連結されたドレイン及びローサイド・ゲートドライバLGDと連結されたゲートを含む。ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSがターンオンされることによって、出力端子OUTの電圧がローレベル供給電源の電圧(例えば、0V)に低下する。
ローサイド・ゲートドライバLGDは、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSを制御するように構成される。さらに具体的に、ローサイド・ゲートドライバLGDは、ハイレベル駆動電源+VDDL及びローレベル駆動電源−VSSLから電圧(例えば、パルス電圧)を印加されて、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSをターンオンまたはターンオフさせるように構成される。
ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSは、出力端子OUTと連結されたソース、ハイレベル供給電源VSと連結されたドレイン、及びハイサイド・ゲートドライバHGDと連結されたゲートを含む。ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSがターンオンされることによって、出力端子OUTの電圧がハイレベル供給電源VSの電圧に上昇する。
ハイサイド・ゲートドライバHGDは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSを制御するように構成される。さらに具体的に、ハイサイド・ゲートドライバHGDは、ハイレベル駆動電源+VDDH、第1ローレベル駆動電源−VSSH1、保護素子PD及び第1スイッチング素子SW1を含む。
ハイレベル駆動電源+VDDHは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオンさせるために提供される。さらに具体的に、ハイサイド・ゲートドライバHGDは、ハイレベル駆動電源+VDDHから高いレベルの電圧を受信して、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオンさせるように構成される。ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオンさせるための構成については、図6でさらに詳細に説明する。
第1ローレベル駆動電源−VSSH1は、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせるために提供される。さらに具体的に、ハイサイド・ゲートドライバHGDは、第1ローレベル駆動電源−VSSH1から低いレベルの電圧を受信して、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせるように構成される。
保護素子PD及び第1スイッチング素子SW1は、第1ローレベル駆動電源−VSSH1とハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートとの間に直列に連結される。さらに具体的に、保護素子PDは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSと連結されてもよく、第1スイッチング素子SW1は、第1ローレベル駆動電源−VSSH1と保護素子PDとの間に連結されてもよい。
デプレッション型トランジスタ(Depletion−type Transistor)のようなノーマリーオンスイッチが完全にターンオフされるためには、前記ノーマリーオンスイッチのゲートに負電圧が印加されねばならない。ハイサイド・ゲートドライバHGDは、第1ローレベル駆動電源−VSSH1から負電圧を受信して、前記負電圧をハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSに伝達でき、それにより、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSが完全にターンオフされる。前記負電圧の伝達を調節するために、第1スイッチング素子SW1がハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートと第1ローレベル駆動電源−VSSH1との間に連結される。第1スイッチング素子SW1は、IN_N信号を受信してターンオンされ、それにより、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに、第1ローレベル駆動電源−VSSH1の電圧(すなわち、負電圧)が印加される。
ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSがターンオフされる前、出力端子OUTには、高いレベルの電圧(例えば、400V以上の電圧)が印加された状態である。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートにも、出力端子OUTの電圧に相応する高いレベルの電圧が印加された状態である。この場合、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせるために、第1スイッチング素子SW1をターンオンさせる場合、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに印加された前記高いレベルの電圧によって、第1スイッチング素子SW1の破壊現象が発生する恐れがある。
本発明の技術的思想によるハイサイド・ゲートドライバHGD及びこれを含む電力装置は、第1スイッチング素子SW1とハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートとの間に連結された保護素子PDを含む。保護素子PDの抵抗値は、第1スイッチング素子SW1の抵抗値より約50倍ないし100倍大きい。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに印加された前記高いレベルの電圧は、第1スイッチング素子SW1と直列に連結された保護素子PDにほぼ印加され、それにより、第1スイッチング素子SW1に高いレベルの電圧が印加されて発生する破壊現象が防止される。
保護素子PDは、任意の高い抵抗を有する構造物で具現され、例えば、高い抵抗値を有するノーマリーオンスイッチで具現される。ノーマリーオンスイッチを利用して保護素子PDを具現した例が、図2及び図3に示される。
図2及び図3は、本発明の一実施形態による電力装置を概略的に示したブロック図である。
図2及び図3を参照すれば、電力装置は、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS、ローサイド・ゲートドライバLGD、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS、及びハイサイド・ゲートドライバHGDを含む。これらの構成要素に関する説明は、図1で説明した通りであるので、以下では省略する。
図1に示された保護素子PDは、追加ノーマリーオンスイッチASを含む。追加ノーマリーオンスイッチASは、第1スイッチング素子SW1とハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSとの間に連結される。追加ノーマリーオンスイッチASのゲートには、追加ノーマリーオンスイッチASの臨界電圧より高い電圧が印加される。例えば、追加ノーマリーオンスイッチASの臨界電圧は、−5Vである。この場合、図2に示したように、追加ノーマリーオンスイッチASのゲートは、接地端子と連結される。
選択的に、追加ノーマリーオンスイッチASのゲートは、追加ノーマリーオンスイッチASのソース/ドレインと連結される。さらに具体的に、図3に示したように、追加ノーマリーオンスイッチASのゲートは、追加ノーマリーオンスイッチASのソース/ドレインのうち、第1スイッチング素子のドレインと連結されたソース/ドレイン(すなわち、第1ローレベル駆動電源−VSSH1方向のソース/ドレイン)と連結される。この場合、追加ノーマリーオンスイッチASは、高い抵抗値を有するダイオード素子として機能できる。
図2及び図3に示した追加ノーマリーオンスイッチASは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS及び/またはローサイド・ノーマリーオンスイッチLSと同じ構造で具現される。前記同じ構造は、窒化ガリウム(GaN)トランジスタ、炭化ケイ素(SiC)トランジスタ及び絶縁ゲート型バイポーラトランジスタのうち選択された一つを含む。この場合、追加ノーマリーオンスイッチASは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS及びまたはローサイド・ノーマリーオンスイッチLSを形成する工程を行う間に形成される。
本発明の技術的思想によるハイサイド・ゲートドライバHGD及びこれを含む電力装置は、第1スイッチング素子SW1と第1ローレベル駆動電源−VSSH1との間に連結された追加ノーマリーオンスイッチASを含む。追加ノーマリーオンスイッチASは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS及び/またはローサイド・ノーマリーオンスイッチLSを形成する間に形成される。したがって、別途の追加工程なしにも保護素子が具現される。
追加ノーマリーオンスイッチASは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS及び/またはローサイド・ノーマリーオンスイッチLSに比べて、小さい面積を有する。例えば、追加ノーマリーオンスイッチASの平面視での面積は、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの平面視での面積の1/10ないし1/100である。したがって、半導体チップの面積を大きく占めなくとも、保護素子が具現される。
図4は、本発明の他の実施形態による電力装置を概略的に示したブロック図である。この実施形態による電力装置は、図2の実施形態による電力装置の変形例である。以下、実施形態の間の重複説明は、省略する。
図4を参照すれば、ハイサイド・ゲートドライバHGDは、第2ローレベル駆動電源−VSSH2及び第2スイッチング素子SW2をさらに含む。
第2ローレベル駆動電源−VSSH2は、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートの電圧を低下させるために提供される。さらに具体的に、ハイサイド・ゲートドライバHGDは、第2ローレベル駆動電源−VSSH2から第1ローレベル駆動電源−VSSH1の電圧より高いレベルの電圧(例えば、0V)を受信して、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートの電圧を低下させるように構成される。
第2スイッチング素子SW2は、第2ローレベル駆動電源−VSSH2と保護素子(例えば、追加ノーマリーオンスイッチAS)との間に連結される。第2スイッチング素子SW2は、IN_G信号を受信してターンオンされ、それにより、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートに、第2ローレベル駆動電源−VSSH2の電圧(例えば、0V)が印加される。
ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせるために、第1スイッチング素子SW1は、第2スイッチング素子SW2がターンオンされた後にターンオンされるように構成される。さらに具体的に、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせるために、まず第2スイッチング素子SW2がターンオンされる。第2ローレベル駆動電源−VSSH2と連結された第2スイッチング素子SW2がターンオンされることによって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートが、第1ローレベル駆動電源−VSSH1の電圧より高いレベルの電圧(例えば、0V)に低下する。
以後、第2スイッチング素子SW2がターンオフされ、第1スイッチング素子SW1がターンオンされる。第1ローレベル駆動電源−VSSH1と連結された第1スイッチング素子SW1がターンオンされることによって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートが、第1ローレベル駆動電源−VSSH1の電圧に対応する負電圧(例えば、−15V)に低下する。
前述したように、デプレッション型トランジスタのようなノーマリーオンスイッチが完全にターンオフされるためには、ゲートに負電圧が印加されねばならず、特に、ハイサイド・ゲートドライバの場合、高い電圧が印加されるので、安定性が要求される。一方、負電圧は、外部から印加された正電圧(Positive voltage)に基づいて具現されるため、前記負電圧の変動(variation)が発生する恐れがある。このような負電圧の変動は、ハイサイド・ゲートドライバの安定性を低下させる問題を発生させる。
本発明の技術的思想によるハイサイド・ゲートドライバHGD及びこれを含む電力装置は、第1ローレベル駆動電源−VSSH1の電圧(すなわち、負電圧)より高い電圧(例えば、0V)を提供する第2ローレベル駆動電源−VSSH2と保護素子PDとの間に連結された第2スイッチング素子SW2をさらに含む。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせるために、まず第2スイッチング素子SW2がターンオンされて、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSの電圧を変動のない電圧(例えば、0V)に安定的に低下させ、以後に第1スイッチング素子SW1がターンオンされて、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSの電圧を負電圧に低下させる。したがって、ハイサイド・ゲートドライバHGDの安定性が改善され、結果的に、電力装置の性能が改善される。
図1ないし図4で、実施形態がハーフ・ブリッジ・インバータ(Half−Bridge Inverter)を基にして示されて説明されたが、本発明は、これに制限されない。例えば、図5に示したように、本発明の実施形態によるハイサイド・ゲートドライバHGD及びこれを含む電力装置は、フル・ブリッジ・インバータ(Full−Bridge Inverter)でも具現される。
図5を参照すれば、フル−ブリッジインバータに具現された電力装置は、第1ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS1、第1ローサイド・ゲートドライバLGD1、第1ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS1及び第1ハイサイド・ゲートドライバHGD1を含む。これらの構成要素に関する説明は、図1で説明した通りであるので、以下省略する。さらに、電力装置は、第2ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS2、第2ローサイド・ゲートドライバLGD2、第2ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS2及び第2ハイサイド・ゲートドライバHGD2をさらに含む。
図5では、保護素子PD,PD’及び第1スイッチング素子SW1,SW1’を含む第1ハイサイド・ゲートドライバHGD1及び第2ハイサイド・ゲートドライバHGD2のみが示されたが、本発明は、これに制限されない。例えば、図5に示した保護素子PD,PD’は、図2ないし図4に示したように、追加ノーマリーオンスイッチでも具現される。
図6は、本発明のさらに他の実施形態による電力装置を概略的に示したブロック図である。この実施形態による電力装置は、図2の実施形態による電力装置の変形例である。
図6を参照すれば、電力装置は、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS、ローサイド・ゲートドライバLGD、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS及びハイサイド・ゲートドライバHGDを含む。これらの構成要素は、図1及び図2で説明した通りであるので、重複説明は省略する。
ローサイド・ゲートドライバLGDは、ハイレベル駆動電源+VDDLの電圧及びローレベル駆動電源の電圧を印加されて、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSを制御するように構成される。さらに具体的に、ローサイド・ゲートドライバLGDの増幅器Aは、IN_L信号を受信して、ハイレベル駆動電源+VDDLの電圧とローレベル駆動電源−VSSLの電圧との間にスイング(swing)する電圧を生成して、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSのゲートに伝達する。
ハイサイド・ゲートドライバHGDは、ハイレベル駆動電源+VDDHの電圧及び第1ローレベル駆動電源−VSSH1の電圧を印加されて、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSを制御するように構成される。さらに具体的に、ハイサイド・ゲートドライバHGDは、図2で説明したような追加ノーマリーオンスイッチAS及び第1スイッチング素子SW1を含む。また、ハイサイド・ゲートドライバHGDは、第3スイッチング素子SW3及び容量性素子CAPを含む。
第3スイッチング素子SW3は、ハイレベル駆動電源+VDDHとハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートとの間に連結される。さらに具体的に、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオンさせるために、第3スイッチング素子SW3が提供される。第3スイッチング素子SW3がターンオンされることによって、ハイレベル駆動電源+VDDHの電圧(例えば、15V)がハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに伝達される。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSがターンオンされる。
容量性素子CAPは、ハイレベル駆動電源+VDDHとハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのソースとの間に連結される。さらに具体的に、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをさらに完璧にターンオンさせるために、容量性素子CAPが提供される。容量性素子CAPは、高い電圧(例えば、400V)を保存でき、したがって、第3スイッチング素子SW3のターンオンによって、前記高い電圧(例えば、400V)とハイレベル駆動電源+VDDHの電圧(例えば、15V)とが合わせられた電圧がハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに伝達される。したがって、出力端子OUTの電圧が上昇しても、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSの安定したターンオン状態が維持される。
図7は、図6の電力装置のうち、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSとローサイド・ゲートドライバLGDを示した回路図である。図8は、図6の電力装置のうち、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS及び追加ノーマリーオンスイッチASを示した回路図である。
図7を参照すれば、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSのソースが、ロー供給電源(例えば、グラウンド)と連結されているため、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSのゲートに高いレベルの電圧を印加せずにも、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSがターンオン/オフされる。したがって、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSの制御のためのローサイド・ゲートドライバLGDは、DC−DCコンバータに具現され、DC−DCコンバータのスイング幅は、出力端子OUTの電圧に相応する高いレベルの電圧に上昇される必要がない。したがって、相対的に低いローサイド・ゲートドライバLGDのハイレベル駆動電源+VDDHの電圧(例えば、15V)及びローレベル駆動電源の電圧(例えば、−15V)が要求されるだけであるので、前記電圧によって周辺スイッチング素子の破壊現象は、発生しない。
しかし、ハイサイド・ゲートドライバHGDの場合、前述したように、出力端子OUTに高いレベルの電圧が印加される。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオン/オフさせるためには、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに、出力端子OUTの電圧に相応する高いレベルの電圧が印加されねばならない。このような高いレベルの電圧は、周辺スイッチング素子の破壊現象を引き起こす。
図8を参照すれば、本発明の技術的思想によるハイサイド・ゲートドライバHGD及びこれを含む電力装置は、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートと連結された追加ノーマリーオンスイッチASを含む。ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSの抵抗値は、周辺スイッチング素子の抵抗値より約50倍ないし100倍大きい。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに印加された前記高いレベルの電圧は、追加ノーマリーオンスイッチASにほぼ印加され、それにより、周辺スイッチング素子に高いレベルの電圧が印加されて発生する破壊現象が防止される。
また、本発明の技術的思想によるハイサイド・ゲートドライバHGD及びこれを含む電力装置は、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSと同じ構造で具現された追加ノーマリーオンスイッチASが、保護素子として形成される。したがって、同じ工程を行うことによって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS及び追加ノーマリーオンスイッチASが具現され、追加的な工程なしにも、保護素子が具現される。さらに、追加ノーマリーオンスイッチASの場合、その具現において、狭い面積(例えば、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの平面視での面積の1/10ないし1/100)だけを必要とするため、スイッチングチップの面積の増大がほぼ不要である。ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS及び追加ノーマリーオンスイッチASが、同じ工程を利用して単一スイッチングチップで具現された例については、図13で後述する。
図9は、図6の電力装置の動作を示すタイミング図である。
図6及び図9を参照すれば、まず出力端子OUTに電力を供給するために、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSをターンオフさせ、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオンさせる動作が示される。
IN_L信号は、ロー状態に遷移される。したがって、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSは、ターンオフされる。以後、IN_H信号がロー状態に遷移され、それにより、第3スイッチング素子SW3がターンオンされる。第3スイッチング素子SW3のターンオンによって、ハイレベル駆動電源+VDDHの電圧(例えば、15V)がハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに伝達され、したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSがターンオンされて、出力端子OUTの電圧が上昇する。容量性素子CAPが高い電圧(例えば400V)を保存でき、第3スイッチング素子SW3のターンオンによって、前記高い電圧(例えば、400V)とハイレベル駆動電源+VDDHの電圧(例えば、15V)とが合わせられた電圧が、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに伝達されるのは、前述した通りである。
次いで、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSをターンオンさせ、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせる動作が行われる。
まず、IN_H信号がハイ状態に遷移される。したがって、第3スイッチング素子SW3がターンオフされ、ハイレベル駆動電源+VDDHの電圧が、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに伝達されない。次いで、IN_N信号がハイ状態に遷移される。したがって、第1スイッチング素子SW1がターンオンされ、第1ローレベル駆動電源−VSSH1によって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに保存された高いレベルの電圧(及び電荷)が放電される。前記放電によって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSが完全にターンオフされる。追加ノーマリーオンスイッチASが、前記放電の間に第1スイッチング素子SW1の破壊を防止できるのは、前述した通りである。一方、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSをターンオンさせるために、IN_L信号がハイ状態に遷移される。ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSがターンオンされるにつれて、出力端子OUTの電圧が低下する。
図10は、本発明のさらに他の実施形態による電力装置を概略的に示したブロック図である。この実施形態による電力装置は、図6の実施形態による電力装置の変形例である。
図6の電力装置で、第2スイッチング素子SW2が付加された構成の電力装置が、図10に示される。第2スイッチング素子SW2は、図4で説明したように、第2ローレベル駆動電源−VSSH2と追加ノーマリーオンスイッチASとの間に連結される。第2スイッチング素子SW2は、IN_G信号を受信してターンオンされ、それにより、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートに第2ローレベル駆動電源−VSSH2の電圧(例えば、0V)が印加される。
図11は、図10の電力装置の動作を示すタイミング図である。
図10及び図11を参照すれば、まず、出力端子OUTに電力を供給するために、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSをターンオフさせ、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオンさせる動作が示される。前記動作は、図9で説明した通りであるので、以下で重複説明は、省略する。
次いで、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSをターンオンさせ、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせる動作が行われる。
まず、IN_H信号がハイ状態に遷移される。したがって、第3スイッチング素子SW3がターンオフされ、ハイレベル駆動電源+VDDHの電圧が、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに伝達されない。一方、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSをターンオンさせるために、IN_L信号がハイ状態に遷移される。ローサイド・ノーマリーオンスイッチLSがターンオンされることによって、出力端子OUTの電圧が低下する。
次いで、IN_G信号がハイ状態に遷移される。したがって、第2スイッチング素子SW2がターンオンされ、第2ローレベル駆動電源−VSSH2によって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに保存された高いレベルの電圧(及び電荷)が放電される。前記放電以後に、IN_G信号は、ロー状態に遷移され、IN_N信号がハイ状態に遷移される。したがって、第1スイッチング素子SW1がターンオンされ、第1ローレベル駆動電源−VSSH1によって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSのゲートに保存された高いレベルの電圧(及び電荷)が完全に放電される。
ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせるために、まず第2スイッチング素子SW2がターンオンされ、次いで、第1スイッチング素子SW1がターンオンされる。前述したように、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSが完全にターンオフされるためには、ゲートに負電圧が印加されねばならない。前記負電圧は、外部から印加された正電圧に基づいて具現されるため、負電圧の変動が発生し、このような負電圧の変動は、ハイサイド・ゲートドライバHGDの安定性を低下させる問題を発生させる。
図11において、動作によるハイサイド・ゲートドライバHGD及びこれを含む電力装置は、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSをターンオフさせるために、まず第2スイッチング素子SW2がターンオンされて、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSの電圧を変動のない電圧(例えば、0V)に安定的に低下させ、次いで、第1スイッチング素子SW1がターンオンされて、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHSの電圧を負電圧に低下させる。したがって、ハイサイド・ゲートドライバHGDの安定性が改善され、結果的に、電力装置の性能が改善される。
図12は、本発明の追加ノーマリーオンスイッチの一具現例を示す工程断面図である。
図12を参照すれば、保護素子の一例である追加ノーマリーオンスイッチASは、半導体基板AS_1及びこれに積層される下部半導体層AS_2、チャネル層AS_3、上部半導体層AS_4及び一つ以上の電極を含む。前記一つ以上の電極は、ソース電極AS_5、ゲート電極AS_6及びドレイン電極AS_7を含む。
ソース電極AS_5、ゲート電極AS_6及びドレイン電極AS_7は、上部半導体層AS_4上に相互離隔して形成され、それぞれ導電性物質を含む。また、下部半導体層AS_2及び上部半導体層AS_4は、相異なるバンドギャップを有する物質を含み、一例として、下部半導体層AS_2は、GaN、GaAs、InNなどの物質を含み、上部半導体層AS_4は、AlGaN、AlGaAs、AlInNなどの物質を含む。下部半導体層AS_2と上部半導体層AS_4とのバンドギャップの差によって、下部半導体層AS_2と上部半導体層AS_4との接合面に、2次元電子ガス(2DEG:2 Dimensional Electron Gas)層が誘導され、誘導された2次元電子ガス層がチャネル層AS_3として動作できる。
前述したように、保護素子の一例である追加ノーマリーオンスイッチASは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ及び/またはローサイド・ノーマリーオンスイッチと同じ構造で具現される。したがって、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ及び/またはローサイド・ノーマリーオンスイッチも、ノーマリーオンスイッチASのように、下部半導体層、チャネル層及び上部半導体層を含む。
図13は、本発明の実施形態によるスイッチングチップSCを含む電力装置を概略的に示したブロック図である。この実施形態による電力装置は、図2の実施形態による電力装置が実際に具現された実施形態である。以下、図2の説明と重複する説明は、省略する。
図13を参照すれば、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS及び追加ノーマリーオンスイッチASは、同じ工程を利用して、単一のスイッチングチップSCに具現される。したがって、スイッチングチップSCは、同じ構造で具現されたハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS及び追加ノーマリーオンスイッチASを含む。前記同じ工程を通じてスイッチングチップSCを製造する方法は、図14で後述する。
図2に示した電力装置の構成要素のうち、スイッチングチップSCに具現された構成要素(例えば、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS及び追加ノーマリーオンスイッチAS)を除いた残りの構成要素(例えば、第1スイッチング素子SW1を含むハイサイド・ゲートドライバHGD及びローサイド・ゲートドライバLGD)は、ドライバチップDCで具現される。
スイッチングチップSC及びドライバチップDCは、モジュールボードMB上に搭載され、ワイヤW1,W2のような配線部材を通じて連結される。例えば、ワイヤW1を通じて第1スイッチング素子SW1と追加ノーマリーオンスイッチASとが電気的に連結され、ワイヤW2を通じてローサイド・ゲートドライバLGDとローサイド・ノーマリーオンスイッチLSとが連結される。
図14は、本発明の実施形態によるスイッチングチップの製造方法を概略的に示したフローチャートである。図14に示したスイッチングチップの製造方法は、図13のスイッチングチップSCを製造するための方法の一例である。
図13及び図14を参照すれば、ノーマリーオンスイッチを形成するための活性領域が形成される(S110)。次いで、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS及び追加ノーマリーオンスイッチASを同時に形成する(S120)。ハイサイド・ノーマリーオンスイッチHS、ローサイド・ノーマリーオンスイッチLS及び追加ノーマリーオンスイッチASを同時に形成するための工程が行われることによって、図12に示した構造で具現された追加ノーマリーオンスイッチAS(図12)と、前記構造と同じ構造を有するハイサイド・ノーマリーオンスイッチと、ローサイド・ノーマリーオンスイッチとが具現される。次いで、配線層を形成する(S130)。
本発明の技術的思想によるスイッチングチップは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ及び/またはローサイド・ノーマリーオンスイッチを形成する間に形成される追加ノーマリーオンスイッチを含む。したがって、別途の追加工程なしにも、保護素子が具現される。また、このような追加ノーマリーオンスイッチは、ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ及び/またはローサイド・ノーマリーオンスイッチに比べて、小さい面積を有し、スイッチングチップの面積を大きく占めずとも、保護素子が具現される。
本発明を明確に理解させるために、添付した図面の各部位の形状は、例示的なものであると理解せねばならない。図示された形状以外の多様な形状に変形されることに注意せねばならない。図面に記載された同じ番号は、同じ要素を表す。
前述した本発明は、前述した実施形態及び添付した図面に限定されず、当業者ならば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で多様な置換、変形及び変更が可能であるということが分かるであろう。
本発明は、電源関連の技術分野に好適に適用可能である。
VS ハイレベル供給電源
HS ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ
LS ローサイド・ノーマリーオンスイッチ
OUT 出力端子
LGD ローサイド・ゲートドライバ
HGD ハイサイド・ゲートドライバ
PD 保護素子
+VDDH ハイレベル駆動電源
−VSSH1 第1ローレベル駆動電源
+VDDL ハイレベル駆動電源
−VSSL ローレベル駆動電源
SW1 第1スイッチング素子

Claims (19)

  1. ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ(high side normally−on switch)を制御するように構成されたハイサイド・ゲートドライバであって、
    第1ローレベル駆動電源を受信するように構成された第1スイッチング素子と、
    前記第1スイッチング素子と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートとの間に直列に連結された保護素子と、を含み、
    前記保護素子は、前記第1スイッチング素子に印加された電圧を低下させるように構成されることを特徴とするハイサイド・ゲートドライバ。
  2. 前記保護素子の抵抗値は、前記第1スイッチング素子の抵抗値より約50倍ないし100倍大きいことを特徴とする請求項1に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  3. 前記保護素子は、追加ノーマリーオンスイッチを含むことを特徴とする請求項1に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  4. 前記追加ノーマリーオンスイッチの平面視での面積は、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの平面視での面積の1/10ないし1/100であることを特徴とする請求項3に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  5. 前記追加ノーマリーオンスイッチは、前記追加ノーマリーオンスイッチの臨界電圧より高い電圧を受信するように構成されたゲートを含むことを特徴とする請求項3に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  6. 前記追加ノーマリーオンスイッチの前記ゲートは、接地端子と連結されることを特徴とする請求項5に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  7. 前記追加ノーマリーオンスイッチのゲートは、前記追加ノーマリーオンスイッチのソース/ドレインと連結されることを特徴とする請求項3に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  8. 前記追加ノーマリーオンスイッチ及び前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチは、同じ構造で具現されることを特徴とする請求項3に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  9. 前記同じ構造は、窒化ガリウム(GaN)トランジスタ、炭化ケイ素(SiC)トランジスタ及び絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(Insulated Gate Bipolar Transistor)のうち選択された一つを含むことを特徴とする請求項8に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  10. 前記保護素子と第2ローレベル駆動電源との間に連結された第2スイッチング素子をさらに含み、前記第2ローレベル駆動電源の電圧は、前記第1ローレベル駆動電源の電圧より高いことを特徴とする請求項1に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  11. 前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオフさせる間に、前記第1スイッチング素子は、前記第2スイッチング素子がターンオンされた後にターンオンされるように構成されることを特徴とする請求項10に記載のハイサイド・ゲートドライバ。
  12. 出力端子と連結されたソース、ハイレベル供給電源と連結されたドレイン及びゲートを含むハイサイド・ノーマリーオンスイッチであって、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチは、第1ローレベル駆動信号に応答してターンオフされるように構成されたハイサイド・ノーマリーオンスイッチと、
    前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチを制御するように構成されたハイサイド・ゲートドライバと、を含み、
    前記ハイサイド・ゲートドライバは、第1ローレベル駆動電源を受信するように構成された第1スイッチング素子と、
    前記第1スイッチング素子と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの前記ゲートとの間に直列に連結された保護素子と、を含み、
    前記保護素子は、前記第1スイッチング素子に印加された電圧を低下させるように構成されることを特徴とする電力装置。
  13. 前記ハイサイド・ゲートドライバは、
    ハイレベル駆動電源と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートとの間に連結された追加スイッチング素子をさらに含み、
    前記追加スイッチング素子は、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをターンオンさせるために、第1ハイレベル駆動信号を前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチに選択的に提供するように構成されることを特徴とする請求項12に記載の電力装置。
  14. 前記ハイサイド・ゲートドライバは、前記ハイレベル駆動電源と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのソースとの間に連結された容量性素子をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の電力装置。
  15. ローレベル供給電源と連結されたソース、前記出力端子と連結されたドレイン及びゲートを含むローサイド・ノーマリーオンスイッチと、
    前記ローサイド・ノーマリーオンスイッチを制御するように構成されたローサイド・ゲートドライバと、をさらに含むことを特徴とする請求項12に記載の電力装置。
  16. 出力端子と連結されたソース、ハイレベル供給電源と連結されたドレイン及びゲートを含むハイサイド・ノーマリーオンスイッチであって、前記ゲートは、ハイレベル駆動電源によって提供された信号に応答して前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをスイッチオンさせ、第1ローレベル駆動電源によって提供された信号に応答して前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチをスイッチオフさせるように構成されたハイサイド・ノーマリーオンスイッチと、
    前記第1ローレベル駆動電源を受信するように構成された第1スイッチング素子と、
    前記第1スイッチング素子と前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの前記ゲートとの間に連結された追加ノーマリーオンスイッチと、を含み、
    前記追加ノーマリーオンスイッチは、前記第1スイッチング素子に印加された電圧を低下させるように構成されることを特徴とする電力装置。
  17. 第2ローレベル駆動電源と前記追加ノーマリーオンスイッチとの間に連結された第2スイッチング素子をさらに含み、
    前記第2ローレベル駆動電源の電圧は、前記第1ローレベル駆動電源の電圧より高いことを特徴とする請求項16に記載の電力装置。
  18. 出力端子と連結されたソース、ハイレベル供給電源と連結されたドレイン及びゲートを含むハイサイド・ノーマリーオンスイッチと、
    前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチのゲートと連結された追加ノーマリーオンスイッチと、
    ローレベル供給電源と連結されたソース、前記出力端子と連結されたドレイン及びゲートを含むローサイド・ノーマリーオンスイッチと、を含み、
    前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチ、前記追加ノーマリーオンスイッチ及び前記ローサイド・ノーマリーオンスイッチは、同じ構造で具現されることを特徴とするスイッチングチップ。
  19. 前記追加ノーマリーオンスイッチの平面視での面積は、前記ハイサイド・ノーマリーオンスイッチの平面視での面積の1/10ないし1/100であることを特徴とする請求項18に記載のスイッチングチップ。
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