JP2013213850A - 露光描画装置及び露光描画方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被露光基板Cを載置するステージ10と、予め定められた第1位置から第2位置に移動して、第2位置においてステージ10に載置された被露光基板Cの端部を当該ステージ10との間で狭持して固定する固定部33と、端部が固定された状態で被露光基板Cの第1面を露光することにより予め定められた回路パターンを当該第1面に描画する描画部と、固定部33の移動に連動して移動し、当該固定部33によって端部が固定された状態の被露光基板Cの第1面に対向する第2面に予め定められたマークを形成する形成部51と、を備えた。
【選択図】図7
Description
Claims (14)
- 被露光基板を載置するステージと、
予め定められた第1位置から第2位置に移動して、前記第2位置において、前記ステージに載置された前記被露光基板の端部を当該ステージとの間で狭持して固定する固定部と、
前記固定部により端部が固定された状態で前記被露光基板の第1面を露光することにより予め定められた回路パターンを当該第1面に描画する描画部と、
前記固定部の移動に連動して移動し、当該固定部によって端部が固定された状態の前記被露光基板の前記第1面に対向する第2面に予め定められたマークを形成する形成部と、
を備えた露光描画装置。 - 前記形成部の位置を計測する位置計測部をさらに備えた
請求項1記載の露光描画装置。 - 前記ステージに貫通孔を形成し、
前記固定部を、前記貫通孔を通って基板載置側に突出して、前記被露光基板を固定するクランプで構成した
請求項2記載の露光描画装置。 - 前記形成部は、前記貫通孔を通して前記被露光基板の前記第2面に前記マークを形成する
請求項3記載の露光描画装置。 - 前記形成部は、紫外線ビームを出射する光源を有し、当該光源から出射された紫外線ビームを前記貫通孔を通過させて前記被露光基板の前記第2面に照射させることにより前記マークを形成する
請求項4記載の露光描画装置。 - 前記位置計測部は、前記形成部の移動に連動して移動する、前記形成部の位置の基準とする基準部を前記形成部の各々について有し、当該基準部は、前記ステージに前記被露光基板が載置された状態で該被露光基板の外部に露出する位置に設けられている
請求項2乃至5記載の露光描画装置。 - 前記基準部は、前記貫通孔を介して外部に露出する
請求項6記載の露光描画装置。 - 対応する各々の前記形成部及び前記基準部の位置関係を記憶する記憶手段と、
前記基準部の位置を計測する計測手段と、
前記計測手段に計測された前記基準部の位置と前記記憶手段に記憶された前記位置関係とから前記形成部の位置を導出する導出手段と、をさらに備えた
請求項6または7記載の露光描画装置。 - 前記基準部は、複数の位置識別用マークであり、
前記記憶手段は、前記複数の位置識別用マークの各々と前記形成部との位置関係をそれぞれ記憶し、
前記計測手段は、回路パターンが描画される位置と既知の関係にあり、前記複数の位置識別用マークの各々の位置を計測し、
前記導出手段は、前記計測手段に計測された各々の前記位置識別用マークの位置と前記記憶手段に記憶された前記位置関係とから前記形成部の位置を導出する
請求項8記載の露光描画装置。 - 前記ステージは、所定方向に往復移動可能であり、
各々の前記露出部において、前記複数の位置識別用マークの各々が前記ステージの往復移動方向に対して交差する方向に並列するように設けられている
請求項9記載の露光描画装置。 - 前記形成部は、前記ステージに対して、予め定められた範囲内で移動可能に設けられている
請求項1乃至10の何れか1項記載の露光描画装置。 - 前記ステージに前記被露光基板を前記第1面または前記第2面の方向から固定する他の固定部を設けた
請求項1乃至11の何れか1項記載の露光描画装置。 - 前記他の固定部は、前記被露光基板を前記第1面または前記第2面の方向から吸着することにより前記ステージに固定する
請求項12記載の露光描画装置。 - 被露光基板を載置するステージと、予め定められた第1位置から第2位置に移動して、前記ステージに載置された前記被露光基板の端部を当該ステージとの間で狭持して固定する固定部と、前記固定部により端部が固定された状態で前記被露光基板の第1面を露光することにより予め定められた回路パターンを当該第1面に描画する描画部と、前記固定部の移動に連動して移動し、当該固定部によって端部が固定された状態の前記被露光基板の前記第1面と対向する第2面に予め定められたマークを形成する形成部と、前記形成部の移動に連動して移動する前記形成部の位置の基準とする基準部と備えた露光描画装置における露光描画方法であって、
対応する各々の前記形成部及び前記基準部の位置関係を記憶する記憶ステップと、
前記基準部の位置を計測する位置計測ステップと、
前記計測ステップにて計測された基準部の位置と前記記憶ステップにて記憶された前記位置関係とから前記形成部の位置を導出する導出ステップと、
を備えた露光描画方法。
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