JP2013185480A5 - - Google Patents

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真空排気運転（Ｓ１２）は、真空チャンバ１０２からクライオポンプ１０へ向かって飛来する気体分子を、極低温に冷却されたクライオパネル３２、３４の表面に凝縮又は吸着により捕捉する運転状態である。第１クライオパネル３２（例えばバッフル３８）には、その冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体（例えば水分など）が凝縮される。バッフル３８の冷却温度では蒸気圧が充分に低くならない気体はバッフル３８を通過して熱シールド３６へと進入する。第２クライオパネル３４には、その冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体（例えばアルゴンなど）が凝縮される。第２クライオパネル３４の冷却温度でも蒸気圧が充分に低くならない気体（例えば水素など）は、第２クライオパネル３４の吸着剤に吸着される。このようにしてクライオポンプ１０は真空チャンバ１０２の真空度を所望のレベルに到達させることができる。
図８に示す実施例においては、ガスボリューム増加調整により第１バッファタンク１２４の圧は低下する。ガスボリューム減少調整により第２バッファタンク１２６の圧は上昇する。よって、既述のリセット動作が適時に行われることが望ましい。つまり、圧縮機ユニット５０の運転停止中に第１バッファタンク１２４及び第２バッファタンク１２６をそれぞれガスライン７２に開放し、各々のガス圧を初期圧に復元する。
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