JPS58143179A - クライオポンプの制御装置 - Google Patents
クライオポンプの制御装置Info
- Publication number
- JPS58143179A JPS58143179A JP2548982A JP2548982A JPS58143179A JP S58143179 A JPS58143179 A JP S58143179A JP 2548982 A JP2548982 A JP 2548982A JP 2548982 A JP2548982 A JP 2548982A JP S58143179 A JPS58143179 A JP S58143179A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- cryopump
- control circuit
- chamber
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクライオポンプの制御装置に関し、特にクライ
オポンプの正確な再生時期を知ることができるクライオ
ポンプの制御装置に関する。
オポンプの正確な再生時期を知ることができるクライオ
ポンプの制御装置に関する。
最近、真空蒸着装置、エツチング装置等にクリーンな真
空を得ることができるクライオポンプが使われ始めた。
空を得ることができるクライオポンプが使われ始めた。
このクライオポンプは極低温に冷却された冷却面に気体
分子を凝縮または吸着させることによって排気を行って
いるが時間が経過するにつれ、排気された気体分子は冷
却面に蓄積され、徐々にポンプの排気能力は低下し、遂
には各スの種類、圧力によって多様に異なる。従って、
従来では排気能力が低下した適宜な時点でクライオポン
プの作動を停止し、冷却面を略室温にまで上昇させ、該
冷却面に凝縮あるいは吸着した気体をポンプ室内に再放
出し、別のポンプにより、放出ガスを排気することによ
ってクライオポンプの再生を行っている。この再生の時
点はオペレータの経験に頼っており、時には再生すべき
状態であるにも拘わらず、再生処理が行われなかったり
、逆に、今だ使用可能な状態であるにも拘わらず、再生
処理が行われたりしている。
分子を凝縮または吸着させることによって排気を行って
いるが時間が経過するにつれ、排気された気体分子は冷
却面に蓄積され、徐々にポンプの排気能力は低下し、遂
には各スの種類、圧力によって多様に異なる。従って、
従来では排気能力が低下した適宜な時点でクライオポン
プの作動を停止し、冷却面を略室温にまで上昇させ、該
冷却面に凝縮あるいは吸着した気体をポンプ室内に再放
出し、別のポンプにより、放出ガスを排気することによ
ってクライオポンプの再生を行っている。この再生の時
点はオペレータの経験に頼っており、時には再生すべき
状態であるにも拘わらず、再生処理が行われなかったり
、逆に、今だ使用可能な状態であるにも拘わらず、再生
処理が行われたりしている。
本発明は上述した如き点に鑑みてなされたもので、クラ
イオポンプの再生必要時期を正確に知ることができるク
ライオポンプの制御装置を提供することを目的とする。
イオポンプの再生必要時期を正確に知ることができるク
ライオポンプの制御装置を提供することを目的とする。
本発明に基づくクライオポンプの制御装置はクライオポ
ンプ内あるいは該クライオポンプによって排気される被
排気室内の圧力を測定する手段、該被排気室内へガスを
供給するためのガス供給手段、該圧力測定手段からの圧
力値をクロック信号に基づいて積算する積算手段、該被
排気室内へのガスの供給及び供給されるガスの種類に応
じて実質的に該積算値を補正するための手段とを備えて
いる。
ンプ内あるいは該クライオポンプによって排気される被
排気室内の圧力を測定する手段、該被排気室内へガスを
供給するためのガス供給手段、該圧力測定手段からの圧
力値をクロック信号に基づいて積算する積算手段、該被
排気室内へのガスの供給及び供給されるガスの種類に応
じて実質的に該積算値を補正するための手段とを備えて
いる。
以下本発明−の一実施例を添付図面に基づき詳述する。
第１図において、１は被排気室であり、該被排気室１は
回転ポンプ２によって予備排気され、パルプ３を介して
連通しているクライオポンプ４によって本引きされる。
回転ポンプ２によって予備排気され、パルプ３を介して
連通しているクライオポンプ４によって本引きされる。
該被排気室１・内の圧力は真空計５によって測定され、
又クライオポンプ４内の圧力は真空計６によって測定さ
れる。該被排気室１にはガス溜７及び８から夫々パルプ
９及び１０を介して例えばアルゴン及び酸素ガスが供給
されるが、該パルプ９及び１０はガス供給制御回路１１
によって制御される。該クライオポンプ４内の圧力を測
定する真空計６からの信号はガス供給制御回路１１から
の信号も供給される演算回路１２に供給され、該演算回
路１２の出力信号は積算器１３に供給される。該積算１
１３においては、クロック信号発生回路１４からのりＯ
ツク信号に応じて演算回路１２の出力信号を積算し、そ
の積算値を制御回路１５に供給する。該制御回路１５は
該積算値が予め該制御回路に与えられている設定値以上
となると、制御信号をパルプ３及びクライオポンプ４に
送り、パルプ３を閉じると共に、クライオポンプ４の作
動を停止させ、クライオポンプの再生を開始せしめる。
又クライオポンプ４内の圧力は真空計６によって測定さ
れる。該被排気室１にはガス溜７及び８から夫々パルプ
９及び１０を介して例えばアルゴン及び酸素ガスが供給
されるが、該パルプ９及び１０はガス供給制御回路１１
によって制御される。該クライオポンプ４内の圧力を測
定する真空計６からの信号はガス供給制御回路１１から
の信号も供給される演算回路１２に供給され、該演算回
路１２の出力信号は積算器１３に供給される。該積算１
１３においては、クロック信号発生回路１４からのりＯ
ツク信号に応じて演算回路１２の出力信号を積算し、そ
の積算値を制御回路１５に供給する。該制御回路１５は
該積算値が予め該制御回路に与えられている設定値以上
となると、制御信号をパルプ３及びクライオポンプ４に
送り、パルプ３を閉じると共に、クライオポンプ４の作
動を停止させ、クライオポンプの再生を開始せしめる。
上述した如き゛構成において、被排気ｖ１を回転ポンプ
２によって予備排気し、該被排気室１内が所定の真空度
に達すると制御回路１５によりてパルプ３が開けられク
ライオポンプ４による被排気室１内の排気が開始される
。第２図は被排気室１内の圧力変化を示すグラフで縦軸
は圧力（Ｐａ ）、横軸は時間である。例えば、時刻Ｔ
１でパルプ３が開けられると被排気室１内の圧力は急速
に低下し、ある鱒刻Ｔｚ以降はその系の到達真空度に達
して平衡状態となる。ここで、時刻Ｔ３において例えば
パルプ９を開け、アルゴンガスを被排気室内に導入する
と、クライオポンプ４内の圧力は急ニ上昇シ、圧力Ｐ１
で平衡状態となる。この平衡状態の圧力Ｐ１は導入ガス
の質、クライオポンプの排気速度によって定まる。
２によって予備排気し、該被排気室１内が所定の真空度
に達すると制御回路１５によりてパルプ３が開けられク
ライオポンプ４による被排気室１内の排気が開始される
。第２図は被排気室１内の圧力変化を示すグラフで縦軸
は圧力（Ｐａ ）、横軸は時間である。例えば、時刻Ｔ
１でパルプ３が開けられると被排気室１内の圧力は急速
に低下し、ある鱒刻Ｔｚ以降はその系の到達真空度に達
して平衡状態となる。ここで、時刻Ｔ３において例えば
パルプ９を開け、アルゴンガスを被排気室内に導入する
と、クライオポンプ４内の圧力は急ニ上昇シ、圧力Ｐ１
で平衡状態となる。この平衡状態の圧力Ｐ１は導入ガス
の質、クライオポンプの排気速度によって定まる。
さて、時刻Ｔ１においてパルプ３が開けられ、クライオ
ポンプの作動が開始されると、制御ｌ装置１３から積算
器１３に信号が送られ、真空計６によって測定されたク
ライオポンプ４内の圧力値の積算が開始される。該積算
はクロック信号発生回路１４からのクロック信号に基づ
いて行われ、゛その積算値は制御回路１５に送られて該
１ｉ１Ｊ１１回路内に予め与えられている設定値と比較
される。時刻Ｔ３において被排気室１内にアルゴンガス
が供給され始めると、ガス供給制御回路１１からアルゴ
ンガスに応じた信号が演算゛回路１２に供給され、真空
計からの圧力信号には該ガス供給制御回路１１からの信
号に応じである係数が乗ぜられる。この係数は被排気室
１内へ導入されるガスの種類によって変えられ、クライ
オポンプによる排気速度が速いガス、言替えれば、クラ
イオポンプに凝縮あるいは吸着され易いガスが供給され
る場合にはその係数は高くされる。逆に排気速度が遅い
、すなわちクライオポンプに凝縮あるいは吸着され難い
ガスが供給される場合にはその係数は低くされる。時刻
■５においてパルプ９が閉じられ、パルプ１０が開けら
れて被排気室１内にガスＭ８から酸素が供給されると、
供給されるＩＩ素の量に応じてクライオポンプ４内の圧
力が変化する。この時、演算回路１２において真空計６
からの圧力信号に乗ぜられる係数は酸素に応じた値に変
えられる。
ポンプの作動が開始されると、制御ｌ装置１３から積算
器１３に信号が送られ、真空計６によって測定されたク
ライオポンプ４内の圧力値の積算が開始される。該積算
はクロック信号発生回路１４からのクロック信号に基づ
いて行われ、゛その積算値は制御回路１５に送られて該
１ｉ１Ｊ１１回路内に予め与えられている設定値と比較
される。時刻Ｔ３において被排気室１内にアルゴンガス
が供給され始めると、ガス供給制御回路１１からアルゴ
ンガスに応じた信号が演算゛回路１２に供給され、真空
計からの圧力信号には該ガス供給制御回路１１からの信
号に応じである係数が乗ぜられる。この係数は被排気室
１内へ導入されるガスの種類によって変えられ、クライ
オポンプによる排気速度が速いガス、言替えれば、クラ
イオポンプに凝縮あるいは吸着され易いガスが供給され
る場合にはその係数は高くされる。逆に排気速度が遅い
、すなわちクライオポンプに凝縮あるいは吸着され難い
ガスが供給される場合にはその係数は低くされる。時刻
■５においてパルプ９が閉じられ、パルプ１０が開けら
れて被排気室１内にガスＭ８から酸素が供給されると、
供給されるＩＩ素の量に応じてクライオポンプ４内の圧
力が変化する。この時、演算回路１２において真空計６
からの圧力信号に乗ぜられる係数は酸素に応じた値に変
えられる。
尚時刻■８においてその系の到達真空度に達し、圧力Ｐ
２で平衡状態となる。
２で平衡状態となる。
上述した過程を経て積算１１３によって積算された値は
クライオポンプ内に凝縮及び吸着され蓄積されたガス分
子の量に比例したものであり、該積算値が制御回路１５
内に予め設定されたポンプの限界のガス分子量に対応し
た設定値以上となった時、制御回路１５は信号をバルブ
３及びクライオポンプ４に送り、該バルブ３を閉じると
共にポンプ４の作動を停止する。その後、該ポンプ４の
温度は室温にまで上昇させられ、該ポンプ内に蓄積され
たガス分子は放出され、該ポンプの再生が行われる。
クライオポンプ内に凝縮及び吸着され蓄積されたガス分
子の量に比例したものであり、該積算値が制御回路１５
内に予め設定されたポンプの限界のガス分子量に対応し
た設定値以上となった時、制御回路１５は信号をバルブ
３及びクライオポンプ４に送り、該バルブ３を閉じると
共にポンプ４の作動を停止する。その後、該ポンプ４の
温度は室温にまで上昇させられ、該ポンプ内に蓄積され
たガス分子は放出され、該ポンプの再生が行われる。
このように上述した実施例においては、クライオポンプ
に蓄積されるガス分子の量はその内部圧力、ガス分子の
種類及び時間に関連していることから、ポンプ内の圧力
をクロック信号に応じて積算すると共に、この積算値を
被排気室内に供給されるガスに応じて分類補正するよう
にしているため、異った排気速度のガスが切替られて被
排気室に供給される場合でも、正確にクライオポンプに
蓄積されたガス分子の量を知ることができ、ポンプ再生
時期を作用ガスに対応して正確に決定することができる
。
に蓄積されるガス分子の量はその内部圧力、ガス分子の
種類及び時間に関連していることから、ポンプ内の圧力
をクロック信号に応じて積算すると共に、この積算値を
被排気室内に供給されるガスに応じて分類補正するよう
にしているため、異った排気速度のガスが切替られて被
排気室に供給される場合でも、正確にクライオポンプに
蓄積されたガス分子の量を知ることができ、ポンプ再生
時期を作用ガスに対応して正確に決定することができる
。
以上本発明を詳述したが、本発明は正確にクライオポン
プの再生時期を知ることができるものである。尚、本発
明は上述した実施例に限定されず幾多の変形が可能であ
る。例えば、制御回路１５において積算値と設定値を比
較し、該積算値が設定値以上になった時に自動的にバル
ブ３とクライオポンプ４とを制−′するようにしたが、
保守の実際面からの便利を高めるよう該積算値が設定値
以上になった時にその飽和率や残りの寿命等の何等かの
表示を行うか、あるいは警報音を１発するように構成し
、ポンプ再生時期をオペレータに知らせるようにしても
良い。又被排気室へのガスの供給が行われると、該ガス
に応じた係数をクライオポンプの圧力値に乗じて該圧力
値を補正し、補正された圧力値をクロック信号によって
積算するように構成したが、該積算値を無補正で積算し
、その後該積算値を該ガスの供給及び種類に応じて補正
処理を行うようにしても良い。更に、ガスの供給及び種
類に応じりＯツク信号発生回路からのクロックパルスの
間隔を変えるように構成しても実質的にガスの供給及び
種類に応じた積算値の補正を行うことができる。更に又
−クライオポンプの真空計６の測定値を積算するように
したが、真空計６による圧力の変動値を用いても良く、
又被排気室１の真空計５の測定値を積算するようにして
も良い。
プの再生時期を知ることができるものである。尚、本発
明は上述した実施例に限定されず幾多の変形が可能であ
る。例えば、制御回路１５において積算値と設定値を比
較し、該積算値が設定値以上になった時に自動的にバル
ブ３とクライオポンプ４とを制−′するようにしたが、
保守の実際面からの便利を高めるよう該積算値が設定値
以上になった時にその飽和率や残りの寿命等の何等かの
表示を行うか、あるいは警報音を１発するように構成し
、ポンプ再生時期をオペレータに知らせるようにしても
良い。又被排気室へのガスの供給が行われると、該ガス
に応じた係数をクライオポンプの圧力値に乗じて該圧力
値を補正し、補正された圧力値をクロック信号によって
積算するように構成したが、該積算値を無補正で積算し
、その後該積算値を該ガスの供給及び種類に応じて補正
処理を行うようにしても良い。更に、ガスの供給及び種
類に応じりＯツク信号発生回路からのクロックパルスの
間隔を変えるように構成しても実質的にガスの供給及び
種類に応じた積算値の補正を行うことができる。更に又
−クライオポンプの真空計６の測定値を積算するように
したが、真空計６による圧力の変動値を用いても良く、
又被排気室１の真空計５の測定値を積算するようにして
も良い。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図のクライオポンプ内の圧力変化を示す図である。 １：被排気室、２：回転ポンプ、３：バルブ、４：クラ
イオポンプ、５．６：真空計、７．８：ガス溜、９．１
０：バルブ、１１：ガス供給制御回路、１２：演算回路
、１３：積算器、１４：クロック信号発生回路、１５：
制御回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 加勢 忠雄
第１図のクライオポンプ内の圧力変化を示す図である。 １：被排気室、２：回転ポンプ、３：バルブ、４：クラ
イオポンプ、５．６：真空計、７．８：ガス溜、９．１
０：バルブ、１１：ガス供給制御回路、１２：演算回路
、１３：積算器、１４：クロック信号発生回路、１５：
制御回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 加勢 忠雄
Claims (1)
- クライオポンプ内あるいは該クライオポンプによって排
気される被排気室内の圧力を測定する手段、該被排気室
内へガスを供給するためのガス供給手段、該圧力測定手
段からの圧力値をクロック信号に基づいて積算する積算
手段、該被排気室内へのガスの供葡及び供給されるガス
の種類に応じて実質的に該積算値を補正するための手段
とを備・えたクライオポンプのｆ／ｓＩｌ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2548982A JPS58143179A (ja) | 1982-02-19 | 1982-02-19 | クライオポンプの制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2548982A JPS58143179A (ja) | 1982-02-19 | 1982-02-19 | クライオポンプの制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58143179A true JPS58143179A (ja) | 1983-08-25 |
Family
ID=12167466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2548982A Pending JPS58143179A (ja) | 1982-02-19 | 1982-02-19 | クライオポンプの制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58143179A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103306936A (zh) * | 2012-03-07 | 2013-09-18 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元 |
| CN104047841A (zh) * | 2013-03-12 | 2014-09-17 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元 |
-
1982
- 1982-02-19 JP JP2548982A patent/JPS58143179A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103306936A (zh) * | 2012-03-07 | 2013-09-18 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元 |
| CN103306936B (zh) * | 2012-03-07 | 2016-02-03 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元 |
| CN104047841A (zh) * | 2013-03-12 | 2014-09-17 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元 |
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