JP3328632B2 - エッチング装置 - Google Patents
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32816—Pressure
- H01J37/32834—Exhausting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程で
使用されるドライエッチング装置に関するものである。
使用されるドライエッチング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】エッチング速度やエッチング形状をウェ
ハ面内で均一とするためには、ウェハ表面の圧力分布を
均一化することが重要である。そのために、従来のドラ
イエッチング装置では、様々な対策が施されている。そ
の例としては、エッチングチャンバを等方的な排気機構
を持った構造としたり、エッチングチャンバ内に圧力分
布を均一化するための仕切り板を設けたりする対策が挙
げられる。
ハ面内で均一とするためには、ウェハ表面の圧力分布を
均一化することが重要である。そのために、従来のドラ
イエッチング装置では、様々な対策が施されている。そ
の例としては、エッチングチャンバを等方的な排気機構
を持った構造としたり、エッチングチャンバ内に圧力分
布を均一化するための仕切り板を設けたりする対策が挙
げられる。
【０００３】前者の対策では、具体的には、エッチング
チャンバの直下にターボ分子ポンプを配置し、ウェハか
ら排気口までの距離を均等にすることでウェハ近傍に圧
力差が生じないようにしたり、或いは、エッチングチャ
ンバの下部側方に、ウェハとの間にある程度の距離が確
保されるように排気口を設けることで、ウェハ近傍の圧
力差を低減する措置が採られている。一方、後者の対策
では、他の部分に比して排気効率の良い部分、すなわ
ち、他の部分に比して圧力が低下し易い部分に排気を妨
げるための仕切り板を設置してチャンバ内の圧力不均一
を抑制している。
チャンバの直下にターボ分子ポンプを配置し、ウェハか
ら排気口までの距離を均等にすることでウェハ近傍に圧
力差が生じないようにしたり、或いは、エッチングチャ
ンバの下部側方に、ウェハとの間にある程度の距離が確
保されるように排気口を設けることで、ウェハ近傍の圧
力差を低減する措置が採られている。一方、後者の対策
では、他の部分に比して排気効率の良い部分、すなわ
ち、他の部分に比して圧力が低下し易い部分に排気を妨
げるための仕切り板を設置してチャンバ内の圧力不均一
を抑制している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、エッチングチ
ャンバ内の圧力が極低圧（数mTorr程度）である場合
は、圧力分布のばらつきがわずかであっても、圧力の低
い部分のエッチング速度が、圧力の高い部分のエッチン
グ速度に比して高くなる。この傾向は特にプロセスガス
の流量が大きくなるほど顕著になり、エッチングプロセ
スの条件によっては、同一のウェハ面内に、５〜１０％
程度のエッチング速度差が生ずる。
ャンバ内の圧力が極低圧（数mTorr程度）である場合
は、圧力分布のばらつきがわずかであっても、圧力の低
い部分のエッチング速度が、圧力の高い部分のエッチン
グ速度に比して高くなる。この傾向は特にプロセスガス
の流量が大きくなるほど顕著になり、エッチングプロセ
スの条件によっては、同一のウェハ面内に、５〜１０％
程度のエッチング速度差が生ずる。
【０００５】従って、エッチングチャンバ内のガスを等
方的に排気する機構を設けても、様々なプロセス条件下
で常に圧力分布を均一に保つことは非常に困難である。
また、エッチングチャンバがこのような構造にされる
と、必然的に、下部電極付近のレイアウトに制約が生
じ、また、エッチングチャンバの容量が増大する。その
結果、装置のレイアウトが制約を受けたり、或いは、排
気系の価格、すなわち、装置の価格が高騰するという問
題が生ずる。
方的に排気する機構を設けても、様々なプロセス条件下
で常に圧力分布を均一に保つことは非常に困難である。
また、エッチングチャンバがこのような構造にされる
と、必然的に、下部電極付近のレイアウトに制約が生
じ、また、エッチングチャンバの容量が増大する。その
結果、装置のレイアウトが制約を受けたり、或いは、排
気系の価格、すなわち、装置の価格が高騰するという問
題が生ずる。
【０００６】一方、後者の対策において設けられる仕切
り板は、エッチング装置の排気効率を全体として悪化さ
せる作用を有している。このため、このような仕切り板
を設ける場合は、エッチング装置の排気能力を確保する
ために排気ポンプを高性能化することが必要となる。ま
た、このような仕切板は、エッチングチャンバ内部に不
規則に配置されるため、エッチングチャンバ内部の温度
分布を不均一化させ易いという問題も有している。更
に、被エッチング膜がチャンバ側壁からの影響を受けや
すい膜である場合は、仕切り板の設置による悪影響がエ
ッチングの品質に及ぶことも懸念される。
り板は、エッチング装置の排気効率を全体として悪化さ
せる作用を有している。このため、このような仕切り板
を設ける場合は、エッチング装置の排気能力を確保する
ために排気ポンプを高性能化することが必要となる。ま
た、このような仕切板は、エッチングチャンバ内部に不
規則に配置されるため、エッチングチャンバ内部の温度
分布を不均一化させ易いという問題も有している。更
に、被エッチング膜がチャンバ側壁からの影響を受けや
すい膜である場合は、仕切り板の設置による悪影響がエ
ッチングの品質に及ぶことも懸念される。
【０００７】本発明は、上記のような課題を解決するた
めになされたもので、エッチングチャンバ内の圧力分布
を、極低圧の領域で高精度に均一化することができ、か
つ、比較的安価に製造することのできるエッチング装置
を提供することを目的とする。
めになされたもので、エッチングチャンバ内の圧力分布
を、極低圧の領域で高精度に均一化することができ、か
つ、比較的安価に製造することのできるエッチング装置
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
半導体製造におけるエッチング工程で使用されるドライ
エッチング装置であって、エッチングチャンバに設けら
れた複数の排気口と、それぞれの排気口に接続された複
数の排気用ポンプと、前記複数の排気用ポンプの排気量
を個別に制御し得る制御機構とを備え、前記制御機構
は、前記エッチングチャンバ内に設置されるウェハ上の
複数箇所の膜厚を、エッチング処理の実行中に測定する
膜厚測定機構と、前記膜厚測定機構が検知する膜厚情報
に基づいて、前記複数の排気口のそれぞれにおける排気
量をリアルタイムに制御する制御ユニットと、を有する
ことを特徴とする。
半導体製造におけるエッチング工程で使用されるドライ
エッチング装置であって、エッチングチャンバに設けら
れた複数の排気口と、それぞれの排気口に接続された複
数の排気用ポンプと、前記複数の排気用ポンプの排気量
を個別に制御し得る制御機構とを備え、前記制御機構
は、前記エッチングチャンバ内に設置されるウェハ上の
複数箇所の膜厚を、エッチング処理の実行中に測定する
膜厚測定機構と、前記膜厚測定機構が検知する膜厚情報
に基づいて、前記複数の排気口のそれぞれにおける排気
量をリアルタイムに制御する制御ユニットと、を有する
ことを特徴とする。
【０００９】請求項２記載の発明は、半導体製造におけ
るエッチング工程で使用されるドライエッチング装置で
あって、エッチングチャンバに設けられた複数の排気口
と、それぞれの排気口に設けられた排気量制御機構と、
前記排気口に接続された少なくとも１つの排気用ポンプ
と、前記排気量制御機構の排気能力を個別に制御する制
御機構とを備え、前記制御機構は、前記エッチングチャ
ンバ内に設置されるウェハ上の複数箇所の膜厚を、エッ
チング処理の実行中に測定する膜厚測定機構と、前記膜
厚測定機構が検知する膜厚情報に基づいて、前記複数の
排気口のそれぞれにおける排気量をリアルタイムに制御
する制御ユニットと、を有することを特徴とする。
るエッチング工程で使用されるドライエッチング装置で
あって、エッチングチャンバに設けられた複数の排気口
と、それぞれの排気口に設けられた排気量制御機構と、
前記排気口に接続された少なくとも１つの排気用ポンプ
と、前記排気量制御機構の排気能力を個別に制御する制
御機構とを備え、前記制御機構は、前記エッチングチャ
ンバ内に設置されるウェハ上の複数箇所の膜厚を、エッ
チング処理の実行中に測定する膜厚測定機構と、前記膜
厚測定機構が検知する膜厚情報に基づいて、前記複数の
排気口のそれぞれにおける排気量をリアルタイムに制御
する制御ユニットと、を有することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】実施の形態１． 図1は、本発明の実施の形態１のエッチング装置の構造
を説明するための概念図を示す。図１に示すように、本
実施形態のエッチング装置は、エッチングチャンバ１の
下端部近傍に２つの排気口４を有している。それらの排
気口４には、それぞれターボ分子ポンプ６が接続されて
いる。排気口４とターボ分子ポンプ６との間には、排気
量を制御するためのゲート弁５が設けられている。
を説明するための概念図を示す。図１に示すように、本
実施形態のエッチング装置は、エッチングチャンバ１の
下端部近傍に２つの排気口４を有している。それらの排
気口４には、それぞれターボ分子ポンプ６が接続されて
いる。排気口４とターボ分子ポンプ６との間には、排気
量を制御するためのゲート弁５が設けられている。
【００１１】排気口４の上方には、それぞれ、電極３上
に配置されるウェハ２の付近の圧力を監視する圧力セン
サ７が設けられている。ゲート弁５、ターボ分子ポンプ
６、および圧力センサ７は、それぞれ信号ケーブル９を
介して制御ユニット８と接続されている。
に配置されるウェハ２の付近の圧力を監視する圧力セン
サ７が設けられている。ゲート弁５、ターボ分子ポンプ
６、および圧力センサ７は、それぞれ信号ケーブル９を
介して制御ユニット８と接続されている。
【００１２】エッチングチャンバ１の内部でウェハ２が
処理される際には、複数の圧力センサ７によりウェハ２
の周辺圧力が監視され、その結果得られた情報が制御ユ
ニット８に供給される。制御ユニット８は、その情報に
基づいてウェハ２近傍の圧力分布を把握し、圧力分布に
偏りがあり、補正が必要な場合には、ゲート弁５やター
ボ分子ポンプ６に制御信号を送り、適正な圧力分布が得
られるように調整を行なう。
処理される際には、複数の圧力センサ７によりウェハ２
の周辺圧力が監視され、その結果得られた情報が制御ユ
ニット８に供給される。制御ユニット８は、その情報に
基づいてウェハ２近傍の圧力分布を把握し、圧力分布に
偏りがあり、補正が必要な場合には、ゲート弁５やター
ボ分子ポンプ６に制御信号を送り、適正な圧力分布が得
られるように調整を行なう。
【００１３】例えば、図１中右側の圧力センサ７と左側
の圧力センサ７からの情報に基づいて、図中右側の領域
における圧力が、図中左側の領域における圧力に比して
高いことがわかった場合には、右側の排気口４からの排
気量を大きくし、左側の排気口４からの排気量を小さく
することで圧力差をなくすことができる。そのために制
御ユニット８は、右側のゲート弁５の開度をどれだけ大
きくし、左側のゲート弁５の開度をどれだけ小さくすれ
ば、圧力差が解消するかを演算し、それに応じた制御信
号を各ゲート弁５に対して送信する。ゲート弁５のみの
調整で制御が困難な場合には、個々のターボ分子ポンプ
６の回転数を制御するための信号も合わせて送信する。
の圧力センサ７からの情報に基づいて、図中右側の領域
における圧力が、図中左側の領域における圧力に比して
高いことがわかった場合には、右側の排気口４からの排
気量を大きくし、左側の排気口４からの排気量を小さく
することで圧力差をなくすことができる。そのために制
御ユニット８は、右側のゲート弁５の開度をどれだけ大
きくし、左側のゲート弁５の開度をどれだけ小さくすれ
ば、圧力差が解消するかを演算し、それに応じた制御信
号を各ゲート弁５に対して送信する。ゲート弁５のみの
調整で制御が困難な場合には、個々のターボ分子ポンプ
６の回転数を制御するための信号も合わせて送信する。
【００１４】本実施形態のエッチング装置は、複数の圧
力センサ７が検出する圧力値をゲート弁５やターボ分子
ポンプ６の状態にリアルタイムにフィードバックする制
御を常時実行している。このため、本実施形態のエッチ
ング装置によれば、エッチングチャンバ１内の圧力分
布、特に、電極３上に配置されるウェハ２付近の圧力分
布を常に理想的な状態に保つことができる。
力センサ７が検出する圧力値をゲート弁５やターボ分子
ポンプ６の状態にリアルタイムにフィードバックする制
御を常時実行している。このため、本実施形態のエッチ
ング装置によれば、エッチングチャンバ１内の圧力分
布、特に、電極３上に配置されるウェハ２付近の圧力分
布を常に理想的な状態に保つことができる。
【００１５】本実施形態のエッチング装置では、１つの
エッチングチャンバに複数のターボ分子ポンプ６が接続
されている。このため、個々のターボ分子ポンプ６に要
求される排気能力は、１つのエッチングチャンバに１つ
のポンプが接続される場合に比して低くなる。例えば、
従来は３０００Ｌ／ｓ以上の排気速度を持つターボ分子
ポンプで確保していた排気能力を、排気速度が１５００
Ｌ／ｓ程度のターボ分子ポンプを２つ用いることで確保
することができる。従って、本実施形態の構造によれ
ば、比較的安価なポンプ６を用いて、エッチング装置の
価格を抑えることができる。更に、本実施形態の構造に
よれば、ターボ分子ポンプ６の数を増やすことにより、
従来は実現することのできなかった高度の真空状態を作
り出すことができる。
エッチングチャンバに複数のターボ分子ポンプ６が接続
されている。このため、個々のターボ分子ポンプ６に要
求される排気能力は、１つのエッチングチャンバに１つ
のポンプが接続される場合に比して低くなる。例えば、
従来は３０００Ｌ／ｓ以上の排気速度を持つターボ分子
ポンプで確保していた排気能力を、排気速度が１５００
Ｌ／ｓ程度のターボ分子ポンプを２つ用いることで確保
することができる。従って、本実施形態の構造によれ
ば、比較的安価なポンプ６を用いて、エッチング装置の
価格を抑えることができる。更に、本実施形態の構造に
よれば、ターボ分子ポンプ６の数を増やすことにより、
従来は実現することのできなかった高度の真空状態を作
り出すことができる。
【００１６】実施の形態２． 図２は、本発明の実施の形態２のエッチング装置の構造
を説明するための概念図を示す。本実施形態のエッチン
グ装置は、エッチングチャンバ１の下端部近傍に２つの
排気口４を備えている。本実施形態において、それら２
つの排気口４は、１つのターボ分子ポンプ１０に接続さ
れている。それぞれの排気口４には、排気量を制御する
ためのゲート弁５が設けられている。また、排気口４の
上方には、それぞれ、電極３上に配置されるウェハ２の
付近の圧力を監視する圧力センサ７が設けられている。
ゲート弁５、ターボ分子ポンプ１０、および圧力センサ
７は、それぞれ信号ケーブル９を介して制御ユニット８
と接続されている。
を説明するための概念図を示す。本実施形態のエッチン
グ装置は、エッチングチャンバ１の下端部近傍に２つの
排気口４を備えている。本実施形態において、それら２
つの排気口４は、１つのターボ分子ポンプ１０に接続さ
れている。それぞれの排気口４には、排気量を制御する
ためのゲート弁５が設けられている。また、排気口４の
上方には、それぞれ、電極３上に配置されるウェハ２の
付近の圧力を監視する圧力センサ７が設けられている。
ゲート弁５、ターボ分子ポンプ１０、および圧力センサ
７は、それぞれ信号ケーブル９を介して制御ユニット８
と接続されている。
【００１７】本実施形態のエッチング装置では、上述し
た実施の形態１の場合と同様に、圧力センサ７で検出さ
れた情報が制御ユニット８に伝送される。制御ユニット
８は、その情報に基づいてウェハ２近傍の圧力分布を把
握し、圧力分布に偏りがあり、補正が必要な場合には、
ゲート弁５に制御信号を送り、適正な圧力分布が得られ
るように調整を行なう。上述した一連の制御は、エッチ
ングの実行中にリアルタイムに実施することが可能であ
る。従って、本実施形態のエッチング装置によれば、エ
ッチングチャンバ１内の圧力分布を常に理想的な状態に
保つことができる。
た実施の形態１の場合と同様に、圧力センサ７で検出さ
れた情報が制御ユニット８に伝送される。制御ユニット
８は、その情報に基づいてウェハ２近傍の圧力分布を把
握し、圧力分布に偏りがあり、補正が必要な場合には、
ゲート弁５に制御信号を送り、適正な圧力分布が得られ
るように調整を行なう。上述した一連の制御は、エッチ
ングの実行中にリアルタイムに実施することが可能であ
る。従って、本実施形態のエッチング装置によれば、エ
ッチングチャンバ１内の圧力分布を常に理想的な状態に
保つことができる。
【００１８】上述の如く、実施の形態１または２のエッ
チング装置によれば、エッチングチャンバ１内の圧力分
布を常に理想的な状態に維持することができる。エッチ
ングチャンバ１内の圧力分布が理想的な状態であると、
ウェハ２の全面において、均一な条件でエッチングを行
うことができる。このため、実施の形態１または２のエ
ッチング装置によれば、ウェハ２の全面に対して均一な
条件でエッチングを施すことができる。
チング装置によれば、エッチングチャンバ１内の圧力分
布を常に理想的な状態に維持することができる。エッチ
ングチャンバ１内の圧力分布が理想的な状態であると、
ウェハ２の全面において、均一な条件でエッチングを行
うことができる。このため、実施の形態１または２のエ
ッチング装置によれば、ウェハ２の全面に対して均一な
条件でエッチングを施すことができる。
【００１９】具体的には、従来のエッチング装置では、
圧力差の影響によるエッチング速度のばらつきが１０％
程度存在するのに対して、実施の形態１または２の装置
では、そのばらつきを５％程度に抑制することができ
る。ウェハ面内におけるエッチング速度の均一性が向上
すれば、エッチング形状のバラツキが減少するため、大
口径ウェハのエッチングにおいて問題となる面内バラツ
キを解消することができる。従って、実施の形態１また
は２のエッチング装置は、大口径ウェハのエッチングを
行ううえで特に有効である。
圧力差の影響によるエッチング速度のばらつきが１０％
程度存在するのに対して、実施の形態１または２の装置
では、そのばらつきを５％程度に抑制することができ
る。ウェハ面内におけるエッチング速度の均一性が向上
すれば、エッチング形状のバラツキが減少するため、大
口径ウェハのエッチングにおいて問題となる面内バラツ
キを解消することができる。従って、実施の形態１また
は２のエッチング装置は、大口径ウェハのエッチングを
行ううえで特に有効である。
【００２０】また、実施の形態１または２のエッチング
装置によれば、エッチングチャンバ１内の圧力分布が均
一であり他の因子の影響によって、ウェハ２面内のエッ
チング速度が不均一となる場合、或いはウェハ２面内で
エッチング形状が不均一となる場合に、それらを相殺す
るように、エッチングチャンバ１内に不均一な圧力分布
を発生させることもできる。従って、実施の形態１また
は２のエッチング装置によれば、極めて広いプロセス条
件に対応して安定したエッチングを行うことができる。
装置によれば、エッチングチャンバ１内の圧力分布が均
一であり他の因子の影響によって、ウェハ２面内のエッ
チング速度が不均一となる場合、或いはウェハ２面内で
エッチング形状が不均一となる場合に、それらを相殺す
るように、エッチングチャンバ１内に不均一な圧力分布
を発生させることもできる。従って、実施の形態１また
は２のエッチング装置によれば、極めて広いプロセス条
件に対応して安定したエッチングを行うことができる。
【００２１】また、実施の形態１または２のエッチング
装置は、上記の如く、エッチングチャンバ１内に仕切り
板などを設けることなくその内部の圧力分布を均一化す
ることができる。従って、本実施形態のエッチング装置
によれば、仕切り板が必要とされる場合に比して高い排
気効率を得ることができ、かつ、エッチングチャンバ１
内の温度分布をより均一化することができる。
装置は、上記の如く、エッチングチャンバ１内に仕切り
板などを設けることなくその内部の圧力分布を均一化す
ることができる。従って、本実施形態のエッチング装置
によれば、仕切り板が必要とされる場合に比して高い排
気効率を得ることができ、かつ、エッチングチャンバ１
内の温度分布をより均一化することができる。
【００２２】ところで、上述した実施の形態１または２
では、ゲート弁５やターボ分子ポンプ６を、圧力センサ
７の出力値に基づいて制御することとしているが、本発
明はこれに限定されるものではない。すなわち、実施の
形態１または２のエッチング装置には、エッチング処理
の実行中にウェハ２上の複数の点でその膜厚をリアルタ
イムに測定する膜厚測定機構を加設することができる。
このような膜厚測定機構が加設される場合は、ゲート弁
５やターボ分子ポンプ６を、ウェハ２の膜厚の均一性に
基づいて制御してもよい。この場合、エッチングチャン
バ１内の圧力分布に、ウェハ膜厚の均一性を、エッチン
グの実行中にリアルタイムにフィードバックさせること
が可能となる。
では、ゲート弁５やターボ分子ポンプ６を、圧力センサ
７の出力値に基づいて制御することとしているが、本発
明はこれに限定されるものではない。すなわち、実施の
形態１または２のエッチング装置には、エッチング処理
の実行中にウェハ２上の複数の点でその膜厚をリアルタ
イムに測定する膜厚測定機構を加設することができる。
このような膜厚測定機構が加設される場合は、ゲート弁
５やターボ分子ポンプ６を、ウェハ２の膜厚の均一性に
基づいて制御してもよい。この場合、エッチングチャン
バ１内の圧力分布に、ウェハ膜厚の均一性を、エッチン
グの実行中にリアルタイムにフィードバックさせること
が可能となる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、エッチン
グチャンバ内のガスを、複数の排気口を介して、個別制
御の可能な複数のポンプで吸引することができる。従っ
て、本発明によれば、個々のポンプの排気能力を適当に
制御することで、エッチングチャンバ内の圧力分布を精
度良く管理することができる。更に、本発明によれば、
エッチングチャンバ内で処理に付されているウェハの膜
厚分布に基づいて、個々の排気口における排気量をリア
ルタイムに制御することができる。従って、本発明によ
れば、エッチング処理の実行中に、ウェハの膜厚分布が
均一となるように、ウェハの周辺に、精度良く所望の圧
力分布を作り出すことができる。
グチャンバ内のガスを、複数の排気口を介して、個別制
御の可能な複数のポンプで吸引することができる。従っ
て、本発明によれば、個々のポンプの排気能力を適当に
制御することで、エッチングチャンバ内の圧力分布を精
度良く管理することができる。更に、本発明によれば、
エッチングチャンバ内で処理に付されているウェハの膜
厚分布に基づいて、個々の排気口における排気量をリア
ルタイムに制御することができる。従って、本発明によ
れば、エッチング処理の実行中に、ウェハの膜厚分布が
均一となるように、ウェハの周辺に、精度良く所望の圧
力分布を作り出すことができる。
【００２４】請求項２記載の発明によれば、個々の排気
口に設けられた排気量制御機構を個別に制御すること
で、個々の排気口における排気量を個別に制御すること
ができる。従って、本発明によれば、エッチングチャン
バ内の圧力分布を精度良く管理することができる。更
に、本発明によれば、エッチングチャンバ内で処理に付
されているウェハの膜厚分布に基づいて、個々の排気口
における排気量をリアルタイムに制御することができ
る。従って、本発明によれば、エッチング処理の実行中
に、ウェハの膜厚分布が均一となるように、ウェハの周
辺に、精度良く所望の圧力分布を作り出すことができ
る。
口に設けられた排気量制御機構を個別に制御すること
で、個々の排気口における排気量を個別に制御すること
ができる。従って、本発明によれば、エッチングチャン
バ内の圧力分布を精度良く管理することができる。更
に、本発明によれば、エッチングチャンバ内で処理に付
されているウェハの膜厚分布に基づいて、個々の排気口
における排気量をリアルタイムに制御することができ
る。従って、本発明によれば、エッチング処理の実行中
に、ウェハの膜厚分布が均一となるように、ウェハの周
辺に、精度良く所望の圧力分布を作り出すことができ
る。
【図１】 本発明の実施の形態１のエッチング装置の構
造を説明するための概念図である。
造を説明するための概念図である。
【図２】 本発明の実施の形態２のエッチング装置の構
造を説明するための概念図である。
造を説明するための概念図である。
１ エッチングチャンバ ２ ウェハ ３ 電極 ４ 排気口 ５ ゲート弁 ６；１０ ターボ分子ポンプ ７ 圧力センサ ８ 制御ユニット ９ 信号ケーブル
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体製造におけるエッチング工程で使
用されるドライエッチング装置であって、 エッチングチャンバに設けられた複数の排気口と、 それぞれの排気口に接続された複数の排気用ポンプと、 前記複数の排気用ポンプの排気量を個別に制御し得る制
御機構とを備え、 前記制御機構は、 前記エッチングチャンバ内に設置されるウェハ上の複数
箇所の膜厚を、エッチング処理の実行中に測定する膜厚
測定機構と、 前記膜厚測定機構が検知する膜厚情報に基づいて、前記
複数の排気口のそれぞれにおける排気量をリアルタイム
に制御する制御ユニットと、 を有することを特徴とするエッチング装置。 - 【請求項２】 半導体製造におけるエッチング工程で使
用されるドライエッチング装置であって、 エッチングチャンバに設けられた複数の排気口と、 それぞれの排気口に設けられた排気量制御機構と、 前記排気口に接続された少なくとも１つの排気用ポンプ
と、 前記排気量制御機構の排気能力を個別に制御する制御機
構とを備え、 前記制御機構は、 前記エッチングチャンバ内に設置されるウェハ上の複数
箇所の膜厚を、エッチング処理の実行中に測定する膜厚
測定機構と、 前記膜厚測定機構が検知する膜厚情報に基づいて、前記
複数の排気口のそれぞれにおける排気量をリアルタイム
に制御する制御ユニットと、 を有することを特徴とするエッチング装置。
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|---|---|---|---|
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000070862A JP3328632B2 (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | エッチング装置 |
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| KR100675232B1 (ko) | 2007-01-29 |
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