JP2013185480A - クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプシステム100は、室温から極低温へのクールダウンを含む準備運転と、極低温の真空排気運転と、を実行するためのクライオポンプ10と、クライオポンプ10のための作動ガスの圧縮機ユニット50と、クライオポンプ10と圧縮機ユニット50とを接続するガスライン72と、真空排気運転におけるガスライン72の作動ガス量を、準備運転に比べて増加させるよう構成されているガスボリューム調整部74と、ガスライン72に圧力制御を提供するよう圧縮機ユニット50を制御するための制御装置110と、を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- 室温から極低温へのクールダウンを含む準備運転と、極低温の真空排気運転と、を実行するためのクライオポンプと、
前記クライオポンプのための作動ガスの圧縮機と、
前記クライオポンプと前記圧縮機とを接続するガスラインと、
前記真空排気運転における前記ガスラインの作動ガス量を、前記準備運転に比べて増加させるよう構成されているガスボリューム調整部と、
前記ガスラインに圧力制御を提供するよう前記圧縮機を制御するための制御装置と、を備えることを特徴とするクライオポンプシステム。 - 前記準備運転は、前記クライオポンプの再生を含み、
前記ガスボリューム調整部は、前記準備運転における前記ガスラインの作動ガス量を、前記真空排気運転に比べて減少させるよう構成されていることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプシステム。 - 前記ガスボリューム調整部は、前記ガスラインから排出される作動ガスを回収し、前記ガスラインに作動ガスを補給するよう構成されていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
- 前記制御装置は、前記圧縮機の高圧と低圧との差圧を目標値に一致させるように前記圧縮機の回転数を制御することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
- 前記ガスボリューム調整部は、設定された上限以下に前記圧縮機の高圧が留まるように前記作動ガス量を調整することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
- クライオポンプと、該クライオポンプのための圧縮機と、を備えるクライオポンプシステムの運転方法であって、
前記クライオポンプの真空排気運転を開始するために、前記クライオポンプと前記圧縮機とを循環する作動ガス量を増加させることと、
前記クライオポンプと前記圧縮機とを循環する作動ガスの圧力制御のために前記圧縮機を制御することと、を備えることを特徴とする方法。 - 極低温装置のための作動ガスの圧縮機ユニットであって、
圧縮機と、
前記極低温装置と前記圧縮機とを循環する作動ガス量の調整のために設けられているガスボリューム調整部と、
作動ガスの圧力制御を提供するよう前記圧縮機を制御する制御部と、を備え、
前記ガスボリューム調整部は、前記極低温装置の通常運転のための前記作動ガス量を、室温から極低温への冷却を含む前記極低温装置の準備運転のための初期ガス量から、該初期ガス量よりも増加された通常ガス量に調整することを特徴とする圧縮機ユニット。 - クライオポンプと、
圧縮機と、
前記クライオポンプと前記圧縮機とを接続するガスラインと、
前記クライオポンプの再生における前記ガスラインの作動ガス量を、前記クライオポンプの真空排気運転中に比べて減少させるよう構成されているガスボリューム調整部と、を備えることを特徴とするクライオポンプシステム。
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