JP2013179251A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁膜によって規定され、IGBTの素子が形成される活性領域ACは、平面視において一定の間隔を設けて第1方向に延びる第1長辺L1と第2長辺L2とを有する。そして、第1長辺L1および第2長辺L2の一方の端部において、第1長辺L1と第1角度θ1を成す第1短辺S1と、第2長辺L2と第2角度θ2を成す第2短辺S2とを有し、第1長辺L1および第2長辺L2の他方の端部において、第1長辺L1と第3角度θ3を成す第3短辺S3と、第2長辺L2と第4角度θ4を成す第4短辺S4とを有する。第1角度θ1、第2角度θ2、第3角度θ3、および第4角度θ4は、90度よりも大きく180度よりも小さい範囲である。
【選択図】図10B
Description
まず、実施の形態によるIGBTの構造がより明確となると思われるため、本発明者らが見出したIGBTにおいて生じたエピタキシャル成長の不具合について、図39〜図41を用いて以下に説明する。図39〜図41の各々の(a)および(b)はそれぞれ、半導体チップの活性部の一部(IGBTの素子が形成される活性領域の一方の端部)を拡大して示す要部斜視図および要部平面図である。
≪半導体装置≫
実施の形態1によるIGBTを含む半導体装置について図1A、図1B、図2、および図38を用いて説明する。図1Aおよび図1BはIGBTを形成する半導体チップの要部平面図であり、図1Aに示す半導体チップの活性部は、IGBTの素子が形成される領域の一部を拡大して示しており、図1BはIGBTの素子が形成される領域のみをさらに拡大して示している。図2は半導体チップの活性部および外周部を示す要部断面図(活性部は、図1Bに示すA−A′線に沿った断面に該当する要部断面図)である。図38は半導体チップの活性部の一部(IGBTの素子が形成される活性領域)を拡大して示す要部平面図である。
実施の形態1によるIGBTを含む半導体装置の製造方法について図3〜図35を用いて工程順に説明する。図3〜図7、図9、図12、図15、図17、図18、図20、図22〜図24、図26〜図29、図31〜図33、および図35は半導体チップの活性部および外周部を示す要部断面図(活性部は、前述の図1Bに示すA−A′線に沿った断面に該当する要部断面図)である。図8A、図10A、図13A、図19A、図21A、図25A、図30A、および図34Aは半導体チップの要部平面図(半導体チップの活性部は、その一部を拡大して示す要部平面図)である。図8B、図10B、図13B、図19B、図21B、図25B、図30B、および図34BはIGBTの素子が形成される領域のみをさらに拡大して示す要部平面図である。図11、図14、および図16の各々の(a)および(b)はそれぞれ、半導体チップの活性部の一部(IGBTの素子が形成される活性領域の一方の端部)を拡大して示す要部斜視図および要部平面図である。
実施の形態2によるIGBTを含む半導体装置は、平面視において半導体チップの各辺とIGBTの素子が形成された活性部との間の外周部(半導体チップの各辺から内側の一部)に形成される活性領域、具体的にはp型フィールドリミッティングリングに接続するp+型半導体層が形成される活性領域、およびn型ガードリングが形成される活性領域に特徴を有する。
実施の形態2によるIGBTを含む半導体装置について図42〜図45を用いて説明する。図42は半導体チップに形成された活性領域を示す要部平面図である。図43は半導体チップの外周部に形成された活性領域の一部を拡大して示す要部平面図である。図44は半導体チップの角部に近い外周部を示す斜視図である。図45は半導体チップの活性部および半導体チップの角部に近い外周部を示す要部断面図(活性部は、前述の図1Bに示すA−A′線に沿った断面に該当する要部断面図、外周部は、図44のB−B′線に沿った断面に該当する要部断面図)である。なお、IGBTの素子が形成された半導体チップの活性部の構成は、前述の実施の形態1と同様であるので、ここでの説明は省略する。
IGBTを含む半導体装置であって、
(a)半導体基板と、
(b)半導体基板上に形成された、第1厚さを有する埋め込み絶縁膜と、
(c)前記埋め込み絶縁膜に形成された開口部と、
(d)前記埋め込み絶縁膜の周囲に形成され、前記第1厚さよりも厚い第2厚さを有し、活性領域を規定する絶縁膜と、
(e)前記活性領域において、前記埋め込み絶縁膜上に形成された表面半導体層と、
(f)前記表面半導体層に接続された電極と、
を有し、
前記活性領域は、平面視において第1方向に延びる第1長辺と、前記第1方向と直交する第2方向に前記第1長辺と一定の間隔を設けて前記第1方向に延びる第2長辺とを有し、
前記第1長辺および前記第2長辺の一方の端部において、前記第1長辺と第1角度を成す第1短辺と、前記第2長辺と第2角度を成す第2短辺とを有し、前記第1長辺および前記第2長辺の他方の端部において、前記第1長辺と第3角度を成す第3短辺と、前記第2長辺と第4角度を成す第4短辺とを有し、
前記第1角度、前記第2角度、前記第3角度、および前記第4角度は、90度よりも大きく180度よりも小さい範囲である。
付記1記載の半導体装置において、
前記第1角度、前記第2角度、前記第3角度、および前記第4角度は135度である。
付記1記載の半導体装置において、
前記表面半導体層の上面の結晶面は(100)面であり、前記活性領域の前記第1短辺、前記第2短辺、前記第3短辺、および前記第4短辺と接する前記表面半導体層の結晶面は(111)面または(111)等価ファミリー面である。
付記1記載の半導体装置において、
前記開口部は平面視において四角形であり、前記開口部の各角部は、平面視において前記活性領域の前記第1短辺、前記第2短辺、前記第3短辺、および前記第4短辺とそれぞれ接するように形成されている。
付記1記載の半導体装置において、
前記半導体基板および前記表面半導体層は、単結晶シリコンから形成されている。
付記1記載の半導体装置において、
前記電極は、フィールドリミッティングリング電極、ガードリング電極、またはソース引き回し電極である。
2 ベース層
2A 半導体基板
3 埋め込み絶縁膜
4 表面半導体層
4A n−型単結晶シリコン膜
5 開口部(離間部)
6 絶縁膜
7 p型チャネル層
8 n型ソース層
8a n+型ソース層
8b n−型ソース層
9 p+型エミッタ層(p型バックゲート層)
10 ゲート絶縁膜
11 ゲート電極
12 p型フィールドリミッティングリング
12A フィールドリミッティングリング電極
13 n型ガードリング(チャネルストッパ)
13A ガードリング電極
13n n+型半導体層
14 層間絶縁膜
15 開口部
16 ソースパッド(ソース電極)
16A ソース引き回し電極
17 ゲートパッド
17A ゲートフィンガー
18 n型バッファ層
19 p型コレクタ層
20 コレクタ電極
21 表面酸化膜
22 溝
23 p型ウェル
24 犠牲酸化膜
25 p型半導体層
26 p+型半導体層
27 多結晶シリコン膜
28 タングステンシリサイド層
29 窒化シリコン膜
30 絶縁膜
31 酸化シリコン膜
32 窒化シリコン膜
33 酸化シリコン膜
35 PSG膜とSOG膜との積層絶縁膜
51 半導体基板
52 絶縁膜
53 開口部(離間部)
54 埋め込み絶縁膜
55 n−型単結晶シリコン膜
56 表面半導体層
AC,ACR,ACR1,ACR2,ACR3 活性領域
L1 第1長辺
L2 第2長辺
S1 第1短辺
S2 第2短辺
S3 第3短辺
S4 第4短辺
S5 第5短辺
SCL1 第1辺
SCL2 第2辺
SW サイドウォール
θ1 第1角度
θ2 第2角度
θ3 第3角度
θ4 第4角度
Claims (15)
- IGBTを含む半導体装置であって、
(a)第1導電型を有する前記IGBTのコレクタ層と、
(b)前記コレクタ層上に形成された、前記第1導電型と異なる第2導電型を有する前記IGBTのバッファ層と、
(c)前記バッファ層上に形成された、前記第2導電型を有する前記IGBTのベース層と、
(d)前記ベース層上に形成された、第1厚さを有する複数の埋め込み絶縁膜と、
(e)前記複数の埋め込み絶縁膜にそれぞれ形成された開口部と、
(f)前記複数の埋め込み絶縁膜の周囲に形成され、前記第1厚さよりも厚い第2厚さを有し、複数の活性領域を規定する絶縁膜と、
(g)前記複数の活性領域において、前記複数の埋め込み絶縁膜上にそれぞれ形成された、前記第2導電型を有する表面半導体層と、
(h)前記表面半導体層内に形成された、前記第1導電型を有する前記IGBTのチャネル層と、
(i)前記表面半導体層内にて、前記チャネル層と接するように形成され、前記チャネル層よりも高濃度の前記第1導電型を有する前記IGBTのエミッタ層と、
(j)前記表面半導体層内に形成された、前記第2導電型を有する前記IGBTのソース層と、
(k)前記表面半導体層の表面の一部に選択的に形成された、前記IGBTのゲート絶縁膜と、
(l)前記ゲート絶縁膜上に形成された、前記IGBTのゲート電極と、
(m)前記コレクタ層の裏面に形成され、前記コレクタ層と電気的に接続された、前記IGBTのコレクタ電極と、
(n)前記エミッタ層上および前記ソース層上に形成され、前記エミッタ層および前記ソース層と電気的に接続された、前記IGBTのソース電極と、
を有し、
前記活性領域は、平面視において第1方向に延びる第1長辺と、前記第1方向と直交する第2方向に前記第1長辺と一定の間隔を設けて前記第1方向に延びる第2長辺とを有し、
前記第1長辺および前記第2長辺の一方の端部において、前記第1長辺と第1角度を成す第1短辺と、前記第2長辺と第2角度を成す第2短辺とを有し、前記第1長辺および前記第2長辺の他方の端部において、前記第1長辺と第3角度を成す第3短辺と、前記第2長辺と第4角度を成す第4短辺とを有し、
前記第1角度、前記第2角度、前記第3角度、および前記第4角度は、90度よりも大きく180度よりも小さい範囲である。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1角度、前記第2角度、前記第3角度、および前記第4角度は135度である。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記表面半導体層の上面の結晶面は(100)面であり、前記活性領域の前記第1短辺、前記第2短辺、前記第3短辺、および前記第4短辺と接する前記表面半導体層の結晶面は(111)面または(111)等価ファミリー面である。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記開口部は平面視において四角形であり、前記開口部の各角部は、平面視において前記活性領域の前記第1短辺、前記第2短辺、前記第3短辺、および前記第4短辺とそれぞれ接するように形成されている。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記ベース層および前記表面半導体層は、単結晶シリコンから形成されている。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1長辺および前記第2長辺の長さは、前記第1短辺、前記第2短辺、前記第3短辺、および前記第4短辺の長さよりも長い。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1短辺、前記第2短辺、前記第3短辺、および前記第4短辺の長さが同じである。 - IGBTを含む半導体装置であって、
第1辺、および前記第1辺と直交する第2辺を有する四角形状の半導体チップと、
前記半導体チップの前記IGBTの素子が形成された活性部と、
平面視において、前記半導体チップの前記第1辺と前記活性部との間に前記第1辺に沿って延在する第1活性領域と、
平面視において、前記半導体チップの前記第2辺と前記活性部との間に前記第2辺に沿って延在する第2活性領域と、
を有し、
前記第1活性領域は、平面視において、前記半導体チップの前記第1辺に沿って延びる第1長辺と、前記半導体チップの前記第1辺と前記第1長辺との間に、前記半導体チップの前記第1辺に沿って延びる第2長辺とを有し、
前記第1長辺および前記第2長辺の一方の端部において、前記第1長辺と第1角度を成す第1短辺と、前記第2長辺と第2角度を成す第2短辺とを有し、前記第1長辺および前記第2長辺の他方の端部において、前記第1長辺と第3角度を成す第3短辺と、前記第2長辺と第4角度を成す第4短辺とを有し、
前記第2活性領域は、平面視において、前記半導体チップの前記第2辺に沿って延びる第3長辺と、前記半導体チップの前記第2辺と前記第3長辺との間に、前記半導体チップの前記第2辺に沿って延びる第4長辺とを有し、
前記第3長辺および前記第4長辺の一方の端部において、前記第3長辺と第5角度を成す第5短辺と、前記第4長辺と第6角度を成す第6短辺とを有し、前記第3長辺および前記第4長辺の他方の端部において、前記第3長辺と第7角度を成す第7短辺と、前記第4長辺と第8角度を成す第8短辺とを有し、
前記第1角度乃至前記第8角度は、90度よりも大きく180度よりも小さい範囲である。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記第1角度乃至前記第8角度は135度である。 - 請求項8記載の半導体装置において、さらに、
前記第1活性領域上および前記第2活性領域上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された配線と、
を有し、
前記第1活性領域は、第1導電型の半導体基板上に第1埋め込み絶縁膜を介して形成された第1半導体層からなり、
前記第2活性領域は、前記半導体基板上に第2埋め込み絶縁膜を介して形成された第2半導体層からなり、
前記配線は、前記第1活性領域の上方に前記半導体チップの前記第1辺に沿って延在する第1配線部分と、前記第2活性領域の上方に前記半導体チップの前記第2辺に沿って延在する第2配線部分と、前記第1配線部分の一端と前記第2配線部分の一端とを繋ぐラウンド形状の第3配線部分とから構成され、
前記第1配線部分と前記第1活性領域の前記第1半導体層とが、前記層間絶縁膜に形成された開口部を介して接続され、
前記第2配線部分と前記第2活性領域の前記第2半導体層とが、前記層間絶縁膜に形成された開口部を介して接続されている。 - 請求項10記載の半導体装置において、さらに、
前記半導体基板には、前記第1導電型とは異なる第2導電型を有するフィールドリミッティングリングと、
を有し、
前記フィールドリミッティングリングは、
前記第1活性領域の下方に前記半導体チップの前記第1辺に沿って延在する第1フィールドリミッティングリング部分と、前記第2活性領域の下方に前記半導体チップの前記第2辺に沿ってに延在する第2フィールドリミッティングリング部分と、前記第1フィールドリミッティングリング部分の一端と前記第2フィールドリミッティングリング部分の一端とを繋ぐラウンド形状の第3フィールドリミッティングリング部分とから構成され、
前記第1フィールドリミッティングリング部分と前記第1活性領域の前記第1半導体層とが、前記第1埋め込み絶縁膜に形成された開口部を介して接続され、
前記第2フィールドリミッティングリング部分と前記第2活性領域の前記第2半導体層とが、前記第2埋め込み絶縁膜に形成された開口部を介して接続されている。 - 請求項11記載の半導体装置において、
前記配線と前記フィールドリミッティングリングとは、平面視において重なる。 - 請求項8記載の半導体装置において、さらに、
前記第1活性領域上および前記第2活性領域上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された配線と、
を有し、
前記第1活性領域は、第1導電型の半導体基板上に第1埋め込み絶縁膜を介して形成された第1半導体層からなり、
前記第2活性領域は、前記半導体基板上に第2埋め込み絶縁膜を介して形成された第2半導体層からなり、
前記配線は、前記第1活性領域の上方に前記半導体チップの前記第1辺に沿って延在する第1配線部分と、前記第2活性領域の上方に前記半導体チップの前記第2辺に沿って延在する第2配線部分と、前記第1配線部分の一端と前記第2配線部分の一端とを繋ぐラウンド形状の第3配線部分とから構成され、
平面視において、前記配線の前記第3配線部分の下方には、前記半導体基板上に第3埋め込み絶縁膜を介して形成された第3半導体層からなる四角形状の第3活性領域が1個または2個以上配置されており、
前記第1配線部分と前記第1活性領域の前記第1半導体層とが、前記層間絶縁膜に形成された開口部を介して接続され、
前記第2配線部分と前記第2活性領域の前記第2半導体層とが、前記層間絶縁膜に形成された開口部を介して接続され、
前記第3配線部分と前記第3活性領域の前記第3半導体層とが、前記層間絶縁膜に形成された開口部を介して接続されている。 - 請求項13記載の半導体装置において、さらに、
前記半導体基板には、前記第1導電型とは異なる第2導電型を有するフィールドリミッティングリングと、
を有し、
前記フィールドリミッティングリングは、
前記第1活性領域の下方に前記半導体チップの前記第1辺に沿って延在する第1フィールドリミッティングリング部分と、前記第2活性領域の下方に前記半導体チップの前記第2辺に沿って延在する第2フィールドリミッティングリング部分と、前記第1フィールドリミッティングリング部分の一端と前記第2フィールドリミッティングリング部分の一端とを繋ぐラウンド形状の第3フィールドリミッティングリング部分とから構成され、
前記第1フィールドリミッティングリング部分と前記第1活性領域の前記第1半導体層とが、前記第1埋め込み絶縁膜に形成された開口部を介して接続され、
前記第2フィールドリミッティングリング部分と前記第2活性領域の前記第2半導体層とが、前記第2埋め込み絶縁膜に形成された開口部を介して接続され、
前記第3フィールドリミッティングリング部分と前記第3活性領域の前記第3半導体層とが、前記第3埋め込み絶縁膜に形成された開口部を介して接続されている。 - 請求項14記載の半導体装置において、
前記配線と前記フィールドリミッティングリングとは、平面視において重なる。
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