JP2013175878A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5990929B2 (ja) * 2012-02-24 2016-09-14 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
KR102126033B1 (ko) * 2013-10-23 2020-06-23 삼성전자주식회사 초음파 변환기 및 이를 채용한 초음파 진단장치
JP6281262B2 (ja) * 2013-11-29 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP6468426B2 (ja) * 2014-03-10 2019-02-13 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー
JP6495338B2 (ja) * 2014-05-06 2019-04-03 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． 超音波トランスデューサチップアセンブリ、超音波プローブ、超音波イメージングシステム並びに超音波アセンブリ及びプローブ製造方法
US10130339B2 (en) * 2014-06-30 2018-11-20 Seiko Epson Corporation Ultrasound sensor and method of manufacturing thereof
JP6299511B2 (ja) * 2014-07-31 2018-03-28 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス並びにプローブおよび電子機器
JP2016033970A (ja) * 2014-07-31 2016-03-10 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびその製造方法並びにプローブおよび電子機器
JP6398454B2 (ja) 2014-08-13 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法
JP6402983B2 (ja) * 2014-08-29 2018-10-10 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器
JP2016086956A (ja) * 2014-10-31 2016-05-23 セイコーエプソン株式会社 超音波プローブ並びに電子機器および超音波画像装置
KR20160069293A (ko) * 2014-12-08 2016-06-16 삼성전자주식회사 프로브, 초음파 영상장치, 및 초음파 영상장치의 제어방법
USD831834S1 (en) * 2015-12-04 2018-10-23 Sonotec Ultraschallsensorik Halle Gmbh Ultrasonic probe
CN109475348B (zh) * 2016-05-20 2022-04-19 奥林巴斯株式会社 超声波振子组件、超声波内窥镜以及超声波振子组件的制造方法
CN106332448B (zh) * 2016-08-06 2019-04-12 业成科技（成都）有限公司 超声波传感器及具有该超声波传感器的电子装置
JP6828389B2 (ja) * 2016-11-16 2021-02-10 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサーデバイス、超音波プローブおよび超音波装置
JP6922300B2 (ja) * 2017-03-22 2021-08-18 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスユニット、超音波探触子、及び超音波装置

Family Cites Families (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0730136Y2 (ja) * 1987-06-29 1995-07-12 タマパック株式会社 発振装置
JP3940683B2 (ja) * 2003-02-24 2007-07-04 株式会社東芝 超音波探触子及びその製造方法
US7491172B2 (en) 2004-01-13 2009-02-17 General Electric Company Connection apparatus and method for controlling an ultrasound probe
US7431698B2 (en) 2004-01-13 2008-10-07 Ge Medical Systems Global Technology Company, Llc Apparatus and method for controlling an ultrasound probe
US7867168B2 (en) * 2004-08-24 2011-01-11 Sonosite, Inc. Ultrasonic transducer having distributed weight properties
WO2006046471A1 (ja) 2004-10-27 2006-05-04 Olympus Corporation 静電容量型超音波振動子及びその体腔内超音波診断システム
JP4624763B2 (ja) 2004-10-27 2011-02-02 オリンパス株式会社 静電容量型超音波振動子、及びその製造方法
JP4744849B2 (ja) 2004-11-11 2011-08-10 株式会社東芝 半導体装置
US8047995B2 (en) * 2007-08-28 2011-11-01 Olympus Medical Systems Corp. Ultrasonic transducer, method of manufacturing ultrasonic transducer, ultrasonic diagnostic apparatus, and ultrasonic microscope
JP4774393B2 (ja) * 2007-08-28 2011-09-14 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡
JP5129011B2 (ja) * 2008-04-24 2013-01-23 シャープ株式会社 ナノ構造体を用いたセンサ素子、分析チップ、分析装置
JP4524719B2 (ja) * 2008-10-17 2010-08-18 コニカミノルタエムジー株式会社 アレイ型超音波振動子
JP5499479B2 (ja) 2009-01-13 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 電子機器
JP5206432B2 (ja) 2009-01-13 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 検出装置及び電子機器
JP5206433B2 (ja) 2009-01-13 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 入力装置及び入力方法
JP5177033B2 (ja) 2009-03-18 2013-04-03 セイコーエプソン株式会社 入力装置、及び電子機器
JP2010244119A (ja) 2009-04-01 2010-10-28 Seiko Epson Corp 入力補助装置、及び入力装置
US8286488B2 (en) * 2009-05-01 2012-10-16 General Electric Company Apparatus and system for measuring material thickness
JP5332060B2 (ja) * 2009-05-09 2013-11-06 本多電子株式会社 超音波診断装置
US20110060225A1 (en) 2009-09-09 2011-03-10 General Electric Company Ultrasound probe with integrated pulsers
JP2011082624A (ja) 2009-10-02 2011-04-21 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 近接超音波センサ
JP5671876B2 (ja) * 2009-11-16 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー、超音波センサー、超音波トランスデューサーの製造方法、および超音波センサーの製造方法
JP5754129B2 (ja) * 2010-03-11 2015-07-29 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、圧電センサー、電子機器、および圧電素子の製造方法
JP2013527702A (ja) * 2010-04-29 2013-06-27 リサーチ・トライアングル・インスティチュート 微小機械加工された超音波変換子との接続を形成するための方法、および関連する装置
JP5435802B2 (ja) 2010-06-25 2014-03-05 富士フイルム株式会社 圧電体薄膜素子及びこれを用いた超音波センサ、並びにその製造方法
JP5678670B2 (ja) * 2011-01-06 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー、触覚センサー、および把持装置
JP5708214B2 (ja) * 2011-03-28 2015-04-30 セイコーエプソン株式会社 圧力センサー、センサーアレイ、センサーアレイの製造方法、及び把持装置
JP5834657B2 (ja) * 2011-09-12 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 超音波プローブおよび超音波画像診断装置
JP5978649B2 (ja) * 2012-02-24 2016-08-24 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブヘッドおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP5990929B2 (ja) * 2012-02-24 2016-09-14 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6019671B2 (ja) * 2012-03-30 2016-11-02 セイコーエプソン株式会社 超音波プローブ並びに電子機器および超音波診断装置
US20130342810A1 (en) * 2012-06-04 2013-12-26 Seiko Epson Corporation Eyeball biological information collection device and method for collecting eyeball biological information
JP6089499B2 (ja) * 2012-08-28 2017-03-08 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6011235B2 (ja) * 2012-10-17 2016-10-19 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置
JP2014083283A (ja) * 2012-10-25 2014-05-12 Seiko Epson Corp 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置
JP6186696B2 (ja) * 2012-10-25 2017-08-30 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置
JP2014083281A (ja) * 2012-10-25 2014-05-12 Seiko Epson Corp 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置
JP6205704B2 (ja) * 2012-10-25 2017-10-04 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置
JP6102284B2 (ja) * 2013-01-29 2017-03-29 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置
JP6160120B2 (ja) * 2013-02-28 2017-07-12 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサーデバイス、超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び超音波画像装置
JP2014175577A (ja) * 2013-03-12 2014-09-22 Seiko Epson Corp 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波トランデューサー及び超音波デバイス
JP6164405B2 (ja) * 2013-03-28 2017-07-19 セイコーエプソン株式会社 圧電素子モジュール、超音波トランスデューサー、超音波デバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子モジュールの製造方法
JP2015023994A (ja) * 2013-07-26 2015-02-05 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置
JP2015023995A (ja) * 2013-07-26 2015-02-05 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置
JP6183599B2 (ja) * 2013-08-20 2017-08-23 セイコーエプソン株式会社 圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法及び超音波トランスデューサーの製造方法
JP6248535B2 (ja) * 2013-10-23 2017-12-20 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器、超音波画像装置および超音波デバイスの製造方法
JP6229431B2 (ja) * 2013-10-28 2017-11-15 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置
JP6252130B2 (ja) * 2013-11-20 2017-12-27 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置
JP6281262B2 (ja) * 2013-11-29 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置

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