CN106236139B - 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置 - Google Patents

超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置 Download PDF

Info

Publication number
CN106236139B
CN106236139B CN201610698500.6A CN201610698500A CN106236139B CN 106236139 B CN106236139 B CN 106236139B CN 201610698500 A CN201610698500 A CN 201610698500A CN 106236139 B CN106236139 B CN 106236139B
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
wiring
ultrasound transducer
transducer apparatus
ultrasonic transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610698500.6A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
CN106236139A (zh
Inventor
西胁学
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of CN106236139A publication Critical patent/CN106236139A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106236139B publication Critical patent/CN106236139B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B11/00Transmission systems employing sonic, ultrasonic or infrasonic waves
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • B06B1/0629Square array
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • A61B8/4483Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/52Devices using data or image processing specially adapted for diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/56Details of data transmission or power supply
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R29/00Monitoring arrangements; Testing arrangements
    • H04R29/008Visual indication of individual signal levels
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Otolaryngology (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Gynecology & Obstetrics (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
CN201610698500.6A 2012-02-24 2013-02-17 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置 Active CN106236139B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012038401A JP5990929B2 (ja) 2012-02-24 2012-02-24 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP2012-038401 2012-02-24
CN201310052062.2A CN103284755B (zh) 2012-02-24 2013-02-17 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310052062.2A Division CN103284755B (zh) 2012-02-24 2013-02-17 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106236139A CN106236139A (zh) 2016-12-21
CN106236139B true CN106236139B (zh) 2019-08-16

Family

ID=49002734

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310052062.2A Active CN103284755B (zh) 2012-02-24 2013-02-17 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置
CN201610698500.6A Active CN106236139B (zh) 2012-02-24 2013-02-17 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310052062.2A Active CN103284755B (zh) 2012-02-24 2013-02-17 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US9197331B2 (enExample)
JP (1) JP5990929B2 (enExample)
CN (2) CN103284755B (enExample)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5990929B2 (ja) 2012-02-24 2016-09-14 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
KR102126033B1 (ko) * 2013-10-23 2020-06-23 삼성전자주식회사 초음파 변환기 및 이를 채용한 초음파 진단장치
JP6281262B2 (ja) * 2013-11-29 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP6468426B2 (ja) * 2014-03-10 2019-02-13 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー
US10814352B2 (en) * 2014-05-06 2020-10-27 Koninklijke Philips N.V. Ultrasonic transducer chip assembly, ultrasound probe, ultrasonic imaging system and ultrasound assembly and probe manufacturing methods
US10130339B2 (en) * 2014-06-30 2018-11-20 Seiko Epson Corporation Ultrasound sensor and method of manufacturing thereof
JP6299511B2 (ja) * 2014-07-31 2018-03-28 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス並びにプローブおよび電子機器
JP2016033970A (ja) * 2014-07-31 2016-03-10 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびその製造方法並びにプローブおよび電子機器
JP6398454B2 (ja) * 2014-08-13 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法
JP6402983B2 (ja) * 2014-08-29 2018-10-10 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器
JP2016086956A (ja) * 2014-10-31 2016-05-23 セイコーエプソン株式会社 超音波プローブ並びに電子機器および超音波画像装置
KR20160069293A (ko) * 2014-12-08 2016-06-16 삼성전자주식회사 프로브, 초음파 영상장치, 및 초음파 영상장치의 제어방법
USD831834S1 (en) * 2015-12-04 2018-10-23 Sonotec Ultraschallsensorik Halle Gmbh Ultrasonic probe
CN109475348B (zh) * 2016-05-20 2022-04-19 奥林巴斯株式会社 超声波振子组件、超声波内窥镜以及超声波振子组件的制造方法
CN106332448B (zh) * 2016-08-06 2019-04-12 业成科技(成都)有限公司 超声波传感器及具有该超声波传感器的电子装置
JP6828389B2 (ja) * 2016-11-16 2021-02-10 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサーデバイス、超音波プローブおよび超音波装置
JP6922300B2 (ja) * 2017-03-22 2021-08-18 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスユニット、超音波探触子、及び超音波装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS648978U (enExample) * 1987-06-29 1989-01-18
CN1596831A (zh) * 2003-02-24 2005-03-23 株式会社东芝 超声波探测头及其制造方法

Family Cites Families (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7431698B2 (en) 2004-01-13 2008-10-07 Ge Medical Systems Global Technology Company, Llc Apparatus and method for controlling an ultrasound probe
US7491172B2 (en) 2004-01-13 2009-02-17 General Electric Company Connection apparatus and method for controlling an ultrasound probe
US7867168B2 (en) * 2004-08-24 2011-01-11 Sonosite, Inc. Ultrasonic transducer having distributed weight properties
JP4624763B2 (ja) 2004-10-27 2011-02-02 オリンパス株式会社 静電容量型超音波振動子、及びその製造方法
US20070299345A1 (en) 2004-10-27 2007-12-27 Hideo Adachi Capacitive Ultrasonic Transducer and Endo Cavity Ultrasonic Diagnosis System Using the Same
JP4744849B2 (ja) 2004-11-11 2011-08-10 株式会社東芝 半導体装置
US8047995B2 (en) * 2007-08-28 2011-11-01 Olympus Medical Systems Corp. Ultrasonic transducer, method of manufacturing ultrasonic transducer, ultrasonic diagnostic apparatus, and ultrasonic microscope
JP4774393B2 (ja) * 2007-08-28 2011-09-14 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡
JP5129011B2 (ja) * 2008-04-24 2013-01-23 シャープ株式会社 ナノ構造体を用いたセンサ素子、分析チップ、分析装置
US8531089B2 (en) 2008-10-17 2013-09-10 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. Array-type ultrasonic vibrator
JP5206433B2 (ja) 2009-01-13 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 入力装置及び入力方法
JP5499479B2 (ja) 2009-01-13 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 電子機器
JP5206432B2 (ja) 2009-01-13 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 検出装置及び電子機器
JP5177033B2 (ja) 2009-03-18 2013-04-03 セイコーエプソン株式会社 入力装置、及び電子機器
JP2010244119A (ja) 2009-04-01 2010-10-28 Seiko Epson Corp 入力補助装置、及び入力装置
US8286488B2 (en) * 2009-05-01 2012-10-16 General Electric Company Apparatus and system for measuring material thickness
JP5332060B2 (ja) * 2009-05-09 2013-11-06 本多電子株式会社 超音波診断装置
US20110060225A1 (en) 2009-09-09 2011-03-10 General Electric Company Ultrasound probe with integrated pulsers
JP2011082624A (ja) 2009-10-02 2011-04-21 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 近接超音波センサ
JP5671876B2 (ja) * 2009-11-16 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー、超音波センサー、超音波トランスデューサーの製造方法、および超音波センサーの製造方法
JP5754129B2 (ja) * 2010-03-11 2015-07-29 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、圧電センサー、電子機器、および圧電素子の製造方法
EP2563527A2 (en) * 2010-04-29 2013-03-06 Research Triangle Institute Methods for forming a connection with a micromachined ultrasonic transducer, and associated apparatuses
JP5435802B2 (ja) 2010-06-25 2014-03-05 富士フイルム株式会社 圧電体薄膜素子及びこれを用いた超音波センサ、並びにその製造方法
JP5678670B2 (ja) * 2011-01-06 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー、触覚センサー、および把持装置
JP5708214B2 (ja) * 2011-03-28 2015-04-30 セイコーエプソン株式会社 圧力センサー、センサーアレイ、センサーアレイの製造方法、及び把持装置
JP5834657B2 (ja) * 2011-09-12 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 超音波プローブおよび超音波画像診断装置
JP5990929B2 (ja) * 2012-02-24 2016-09-14 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP5978649B2 (ja) * 2012-02-24 2016-08-24 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブヘッドおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6019671B2 (ja) * 2012-03-30 2016-11-02 セイコーエプソン株式会社 超音波プローブ並びに電子機器および超音波診断装置
US20130342810A1 (en) * 2012-06-04 2013-12-26 Seiko Epson Corporation Eyeball biological information collection device and method for collecting eyeball biological information
JP6089499B2 (ja) * 2012-08-28 2017-03-08 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6011235B2 (ja) * 2012-10-17 2016-10-19 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置
JP2014083281A (ja) * 2012-10-25 2014-05-12 Seiko Epson Corp 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置
JP6205704B2 (ja) * 2012-10-25 2017-10-04 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置
JP6186696B2 (ja) * 2012-10-25 2017-08-30 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置
JP2014083283A (ja) * 2012-10-25 2014-05-12 Seiko Epson Corp 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置
JP6102284B2 (ja) * 2013-01-29 2017-03-29 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置
JP6160120B2 (ja) * 2013-02-28 2017-07-12 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサーデバイス、超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び超音波画像装置
JP2014175577A (ja) * 2013-03-12 2014-09-22 Seiko Epson Corp 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波トランデューサー及び超音波デバイス
JP6164405B2 (ja) * 2013-03-28 2017-07-19 セイコーエプソン株式会社 圧電素子モジュール、超音波トランスデューサー、超音波デバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子モジュールの製造方法
JP2015023994A (ja) * 2013-07-26 2015-02-05 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置
JP2015023995A (ja) * 2013-07-26 2015-02-05 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置
JP6183599B2 (ja) * 2013-08-20 2017-08-23 セイコーエプソン株式会社 圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法及び超音波トランスデューサーの製造方法
JP6248535B2 (ja) * 2013-10-23 2017-12-20 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器、超音波画像装置および超音波デバイスの製造方法
JP6229431B2 (ja) * 2013-10-28 2017-11-15 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置
JP6252130B2 (ja) * 2013-11-20 2017-12-27 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置
JP6281262B2 (ja) * 2013-11-29 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS648978U (enExample) * 1987-06-29 1989-01-18
CN1596831A (zh) * 2003-02-24 2005-03-23 株式会社东芝 超声波探测头及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103284755A (zh) 2013-09-11
JP2013175878A (ja) 2013-09-05
CN103284755B (zh) 2016-08-24
US9692524B2 (en) 2017-06-27
US20130223192A1 (en) 2013-08-29
CN106236139A (zh) 2016-12-21
US9197331B2 (en) 2015-11-24
US20160056901A1 (en) 2016-02-25
JP5990929B2 (ja) 2016-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106236139B (zh) 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置
JP5990930B2 (ja) 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
CN103491489B (zh) 超声波换能器元件单元、探测器、探头及电子/诊断设备
CN103654848B (zh) 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置
CN103505242B (zh) 超声波换能器元件包及其生产方法
WO2013145764A1 (ja) 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6136464B2 (ja) 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
CN103961138A (zh) 超声波测定装置、超声波头单元及超声波探测器
JP2013175877A (ja) 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブヘッドおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6252279B2 (ja) 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP2016086956A (ja) 超音波プローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP2015066203A (ja) 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP2014195495A (ja) 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP2015130994A (ja) 超音波デバイスおよび超音波トランスデューサー装置並びに電子機器および超音波画像装置
JP2015160104A (ja) 超音波デバイスユニットおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP6365726B2 (ja) 超音波トランスデューサー装置及び電子機器
JP2017000792A (ja) 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant