JP2013161894A - 印刷検査装置、印刷検査システム、検査データの統計方法、プログラム及び基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】容易に半田印刷不良の原因の特定することができる印刷検査装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術に係る印刷検査装置は、測定部と、制御部とを具備する。前記測定部は、スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定する。前記制御部は、前記測定部によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する。
【選択図】図９

Description

本技術は、スクリーン印刷装置によって基板上に印刷された半田を検査する印刷検査装置、半田の検査データの統計方法等の技術に関する。

従来から、スクリーン印刷により基板上にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷装置が広く知られている（例えば、下記特許文献１参照）。このスクリーン印刷装置では、印刷パターンに応じたパターン孔が設けられたスクリーンの上方側にスキージが配置され、スクリーンの下方側に基板が配置される。スクリーン上には、クリーム半田が供給され、スキージは、スクリーン上を摺動される。スキージがスクリーン上を摺動されると、クリーム半田がスキージにより押され、スクリーンに設けられたパターン孔の上方を移動する。これにより、スクリーンの下側に配置された基板にクリーム半田が印刷される。

基板上にクリーム半田を効率よく印刷するために、スクリーン印刷装置には、交互に印刷を実行する２つのスキージが設けられる場合がある。この２つのスキージは、一般的に、スクリーン上で互いに逆方向に摺動される。

近年においては、一般的に、スクリーン印刷装置によって基板上に印刷された半田の印刷状態を検査する印刷検査装置がスクリーン印刷装置の下流側に配置される。この印刷検査装置は、基板上に印刷された半田を撮像して得られた画像を解析して、半田の２次元形状、あるいは、３次元形状を測定する。そして、この印刷検査装置は、半田の量に不足がないかなどを判定して、半田印刷状態の良／不良を判定し、不良と判定された基板を破棄するなどの処理を実行する。

特開２０１０−２３４６２７号公報

上記したように、スクリーン印刷装置では、スクリーン上での摺動方向が異なる２つのスキージが設けられる場合がある。この場合、基板上に印刷された半田は、２つのスキージのうちのどちらか一方のスキージによって印刷されることになる。

しかしながら、従来においては、２つのスキージのうち、どちらのスキージによって印刷された半田であるかを識別することができない。従って、半田印刷不良が発生した場合に、半田印刷不良の原因の特定が困難であるといった問題がある。

以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、容易に半田印刷不良の原因の特定することができる印刷検査装置等の技術を提供することにある。

本技術に係る印刷検査装置は、測定部と、制御部とを具備する。
前記測定部は、スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定する。
前記制御部は、前記測定部によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する。

この印刷検査装置では、スキージの摺動方向別に、半田の検査データの統計処理が実行されるので、オペレータ（又は、コンピュータ）は、容易に半田の印刷不良の原因を特定することができる。例えば、複数のスキージのうち、１つのスキージについて動作不良が発生した場合、そのスキージについての半田の検査データに異常が表れる。従って、オペレータ（又は、コンピュータ）は、そのスキージに異常があることを容易に特定することができる。

上記印刷検査装置において、前記制御部は、前記半田の測定データに基づいて、前記半田の体積重心及び面積重心を算出し、前記半田の体積重心及び面積重心の位置に基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定してもよい。

これにより、半田の測定データに基づいて、正確にスキージの摺動方向を判定することができる。

上記印刷検査装置において、前記制御部は、前記半田の測定データに基づいて、前記半田の高さの傾きを算出し、前記半田の高さの傾きに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定してもよい。

これにより、半田の測定データに基づいて、正確にスキージの摺動方向を判定することができる。

上記印刷検査装置において、前記スキージは、前記基板上に複数の半田を印刷し、前記測定部は、前記基板上に印刷された前記複数の半田のうち少なくとも２以上の半田を測定し、前記制御部は、測定部によって得られた前記２以上の半田の測定データに基づいて、前記スキージの摺動方向を判定してもよい。

これにより、半田の測定データに基づいて、正確にスキージの摺動方向を判定することができる。

上記印刷検査装置において、前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データを表示する表示部をさらに具備していてもよい。

この印刷検査装置では、オペレータは、表示部の画面上に表示された、スキージの摺動方向別に統計された半田の検査データを視認することで、半田の印刷不良の原因を特定することができる。

上記スクリーン印刷装置は、前記スクリーン印刷装置と通信する通信部をさらに具備していてもよい。
この場合、前記制御部は、前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データを示す情報を前記通信部を介して前記スクリーン印刷装置へ出力してもよい。

スクリーン印刷装置は、スキージの摺動方向別に統計された検査データを受信して、例えば、スクリーン印刷装置が有する表示部の画面上に検査データを表示させることができる。

上記印刷検査装置において、前記制御部は、前記検査データに基づいて、前記スクリーン印刷装置による前記半田の印刷不良を検知し、前記半田の印刷不良が検知された場合に、前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データに基づいて、印刷不良の原因と推定される１以上の候補を特定してもよい。

上記印刷検査装置は、前記制御部によって特定された前記印刷不良原因の１以上の候補を画面上に表示する表示部をさらに具備していてよい。

この印刷検査装置では、オペレータは、表示部の画面上に表示された印刷不良原因の１以上の候補を視認することで、さらに容易に半田の印刷不良の原因を特定することができる。

上記印刷検査装置が前記スクリーン印刷装置と通信する通信部をさらに具備する場合、前記制御部は、特定された前記印刷不良原因の１以上の候補を示す情報を前記通信部を介して前記スクリーン印刷装置へ出力してもよい。

上記印刷検査装置において、
前記制御部は、印刷不良原因を前記スクリーン印刷装置により自動的に除去させるために、前記印刷不良原因の１以上の候補を示す情報を前記通信部を介して出力してもよい。

これにより、スクリーン印刷装置によって、半田の印刷不良原因を自動的に除去することができる。

本技術に係る印刷検査システムは、スクリーン印刷装置と、印刷検査装置とを具備する。
前記スクリーン印刷装置は、スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有する。
前記印刷検査装置は、測定部と、制御部とを有する。
前記測定部は、前記スクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定する。
前記制御部は、前記測定部によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する。

本技術に係る検査データの統計方法は、スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定することを含む。
測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向が判定される。
前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理が実行される。

本技術に係るプログラムは、印刷検査装置に、スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定するステップを実行させる。
また、印刷検査装置に、測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定するステップを実行させる。
また、印刷検査装置に、前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行するステップを実行させる。

本技術に係る基板の製造方法は、スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定することを含む。
測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向が判定される。
前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理が実行される。
前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データに基づいて、前記スクリーン印刷装置による前記半田の印刷不良原因が特定される。
特定された前記スクリーン印刷装置の印刷不良原因が除去される。
前記印刷不良原因が除去された前記スクリーン印刷装置によって前記基板上に半田が印刷される。
前記半田が印刷された基板上に電子部品が実装される。

以上のように、本技術によれば、容易に半田印刷不良の原因の特定することができる印刷検査装置等の技術を提供することができる。

本技術の一実施形態に係る印刷検査システムを示す図である。 スクリーン印刷装置を示す正面図である。 スクリーン印刷装置を示す側面図である。 スクリーン印刷装置が有するスクリーンを示す上面図である。 スクリーン印刷装置がスキージによって基板上に半田を印刷しているときの様子を示す側面図である。 スクリーン印刷装置の構成を示すブロック図である。 印刷検査装置の構成を示す図である。 スキージの摺動方向の判定方法を説明するための図である。 スキージの摺動方向が考慮されずに統計された半田の検査データと、スキージの摺動方向が考慮されて統計された半田の検査データとの比較図である。 スキージの摺動方向が考慮されずに統計された半田の検査データと、スキージの摺動方向が考慮されて統計された半田の検査データとの比較図である。 スキージの摺動方向が考慮されずに統計された半田の検査データと、スキージの摺動方向が考慮されて統計された半田の検査データとの比較図である。 スキージの摺動方向が考慮されずに統計された半田の検査データと、スキージの摺動方向が考慮されて統計された半田の検査データとの比較図である。 印刷検査装置の制御部の処理を示すフローチャートである。

以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
［印刷検査システム３００の構成］
図１は、本技術の一実施形態に係る印刷検査システム３００を示す図である。図１に示すように、印刷検査システム３００は、スクリーン印刷装置１００と、スクリーン印刷装置１００の下流側に配置された印刷検査装置２００とを有する。

スクリーン印刷装置１００は、スクリーン印刷装置１００の上流側に配置された基板投入装置（図示せず）から受け渡された基板１上にクリーム半田２（以下、単に半田２）を印刷する。そして、スクリーン印刷装置１００は、半田２が印刷された基板１を印刷検査装置２００に受け渡す。

印刷検査装置２００は、スクリーン印刷装置１００によって基板１上に印刷された半田２の印刷状態を検査する。スクリーン印刷装置１００と印刷検査装置２００とは、通信ケーブルを介して相互に通信可能に接続されている。スクリーン印刷装置１００と、印刷検査装置２００とは、無線により通信可能であってもよい。

印刷検査装置２００は、半田２の印刷状態の良／不良を判定し、印刷状態が「良」と判定された基板１を、印刷検査装置２００の下流側に配置された実装装置（図示せず）に受け渡す。一方、印刷検査装置２００は、「不良」と判定された基板１を破棄する。実装装置は、印刷検査装置２００から受け渡された、半田２が印刷された基板１（良品）上に電子部品を実装する。

［スクリーン印刷装置１００の構成］
まず、スクリーン印刷装置１００の構成について説明する。図２は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１００を示す正面図であり、図３は、スクリーン印刷装置１００を示す側面図である。図４は、スクリーン印刷装置１００が有するスクリーン３を示す上面図であり、図５は、スクリーン印刷装置１００がスキージ１３によって基板１上に半田２を印刷しているときの様子を示す側面図である。

これらの図に示すように、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン３と、スクリーン３をスクリーン印刷装置１００の所定位置に固定する固定部６と、スクリーン３の上方に配置されたスキージ部１０を備えている。また、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン３の下方に配置された位置決め部２０と、撮像部３０と、クリーニング部４０とを備えている。さらに、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン印刷装置１００の背面側で、スキージ部１０、撮像部３０及びクリーニング部４０を移動可能に支持する支持ベース５０を備えている。

スクリーン３は、印刷パターンに応じたパターン孔４を有している（図４参照）。スクリーン３は、ステンレス鋼などの金属により構成され、スクリーン３には、スクリーン３の四辺に沿って、スクリーン３にテンションを付与する枠体５が設けられる。

スクリーン３の下面には、基板１との位置合わせ用のアライメントマークが２箇所に設けられる。これに対応して、基板１上にもスクリーン３との位置合わせ用のアライメントマークが２箇所に設けられる。

スクリーン３を固定する固定部６は、取り付けフレーム７と、取り付けフレーム７に設けられ、スクリーン３の枠体５を上下方向から挟み込んで固定する４つのスクリーンクランプ８とを有する。取り付けフレーム７は、支持ベース５０や、図示しない支持体などにより支持されている。

支持ベース５０の上部側には、Ｙ軸方向に沿って一対の案内レール５１、５２が設けられる。また、支持ベース５０下部側には、Ｙ軸方向に沿って一対の案内レール５３、５４が設けられる。

案内レール５１、５２には、スキージ部１０を支持するキャリッジ５５が移動可能に取り付けられている。キャリッジ５５とキャリッジ５５に支持されたスキージ部１０とは、例えば、ボールネジ及びモータ等で構成される駆動機構の駆動により、支持ベース５０に対してＹ軸方向に沿って移動される。

スキージ部１０は、第１のスキージ機構１１と、第１のスキージ機構１１と対称に配置される第２のスキージ機構１２とを有する。第１のスキージ機構１１及び第２のスキージ機構１２は、それぞれ、スキージ１３と、スキージ保持部材１４と、連結用ブラケット１５と、支持部材１７と、エアシリンダ１８とを含む。

スキージ１３は、半田２が供給されたスクリーン３上を摺動されて、スクリーン３に設けられたパターン孔４を介して基板１上に複数の半田２を印刷する。本明細書中では、各スキージ機構１１、１２が有するスキージ１３を特に区別する場合には、第１のスキージ機構１１のスキージ１３を第１のスキージ１３Ｌと呼び、第２のスキージ機構１２のスキージ１３を第２のスキージ１３Ｒと呼ぶ。第１のスキージ１３Ｌは、スクリーン印刷装置１００の正面側から見て左向きに摺動され、第２のスキージ１３Ｒは、右向きに摺動される。

スキージ１３は、スキージ保持部材１４によって保持されている。スキージ保持部材１４は、連結用ブラケット１５を介して支持部材１７に取り付けられている。連結用ブラケット１５及び支持部材１７は、ネジ１６によるネジ止めによって螺着されている。支持部材１７は、エアシリンダ１８の可動部に取り付けられており、エアシリンダ１８は、可動部の駆動により、支持部材１７、連結用ブラケット１５、スキージ保持部材１４及びスキージ１３を一体的に上下方向に移動させる。

図５を参照して、第１のスキージ１３Ｌ及び第２のスキージ１３Ｒは、スクリーン３上でそれぞれ異なる摺動方向（右向き方向及び左向き方向）に摺動され、それぞれ異なる基板１上に半田２を印刷する。第１のスキージ１３Ｌがスクリーン３上を摺動されて基板１上に半田２を印刷しているとき、第２のスキージ１３Ｒは、上方に位置しており、スクリーン３には当接しない状態とされる。一方、第２のスキージ１３Ｒがスクリーン３上を摺動されて基板１上に半田２を印刷しているとき、第１のスキージ１３Ｌは、上方に位置しており、スクリーン３には当接しない状態とされる。スクリーン３上を摺動されるスキージ１３は、交互に切り替えられる。

位置決め部２０は、スクリーン印刷の対象となる基板１をスクリーン３に対して位置決めする。この位置決め部２０は、基板１を搬送するコンベアや、基板１を吸着保持する吸着ステージ、吸着ステージを昇降させる昇降機構、吸着ステージをＸ軸、Ｙ軸、θ軸方向に移動させるテーブル機構など（いずれも図示せず）を含む。

位置決め部２０は、吸着ステージにより基板１を保持し、基板１を保持した状態の吸着ステージをテーブル機構によりＸ、Ｙ、θ軸方向に移動させて基板１の位置をスクリーン３に対して正確に位置合わせする。その後、位置決め部２０は、昇降機構により基板１を保持した状態の吸着ステージを上方に移動させて、基板１をスクリーン３の下側に当接させる。この状態で、第１のスキージ１３Ｌ及び第２のスキージ１３Ｒのうち、一方のスキージ１３がスクリーン３上を摺動される。これにより、スクリーン３に設けられたパターン孔４に応じた半田２が基板１上に印刷される。

基板１上に半田２が印刷されると、位置決め部２０は、昇降機構により吸着ステージを下方に移動させて、基板１をスクリーン３の下面から離す。その後、位置決め部２０は、コンベアにより基板１を搬送して、スクリーン印刷装置１００の下流側に配置された印刷検査装置２００に基板１を受け渡す。

支持ベース５０の下部側に設けられた案内レール５３、５４には、撮像部３０を支持するキャリッジ５６と、クリーニング部４０を支持するキャリッジ５７とがＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。

キャリッジ５６と、キャリッジ５６に支持された撮像部３０とは、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動により支持ベース５０に対してＹ軸方向に沿って移動される。撮像部３０は、キャリッジ５６に対してＸ軸方向に移動可能に取り付けられており、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動によりキャリッジ５６に対してＸ軸方向に沿って移動される。これにより、撮像部３０は、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に沿って移動可能とされる。

撮像部３０は、下側に向けて配置された第１の撮像部３１と、上側に向けて配置された第２の撮像部３２とを含む。下側に向けて配置された第１の撮像部３１は、基板１上に設けられたアライメントマークを撮像する。上側に向けて配置された第２の撮像部３２は、スクリーン３の下面側に設けられたアライメントマークを撮像する。第１の撮像部３１及び第２の撮像部３２により撮像されたアライメントマークの画像に基づいて、スクリーン３と基板１との位置合わせが行なわれる。

第１の撮像部３１及び第２の撮像部３２は、それぞれ、ＣＣＤセンサ（ＣＣＤ：Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳセンサ（ＣＭＯＳ：Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子と、結像レンズ等の光学系とを含む。

キャリッジ５７と、キャリッジ５７に支持されたクリーニング部４０とは、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動により支持ベース５０に対してＹ軸方向に沿って移動される。クリーニング部４０は、ローラ４１と、クリーニングテープを送り出す送り出しローラ４２と、クリーニングテープを巻き取る巻き取りローラ４３とを有する。

クリーニング部４０がＹ軸方向に沿って移動されると、それに連動して、ローラ４１、送り出しローラ４２及び巻き取りローラ４３が回転される。送り出しローラ４２から送り出されたクリーニングテープは、スクリーン３の下面に当接しながらローラ４１の周囲を回転し、巻き取りローラ４３によって巻き取られる。これにより、スクリーン３の下面がクリーニングされる。

図６は、スクリーン印刷装置１００の構成を示すブロック図である。図６に示すように、スクリーン印刷装置１００は、上記したスキージ部１０、位置決め部２０、撮像部３０、クリーニング部４０などの他に、制御部６０、記憶部６１、表示部６２、入力部６３及び通信部６４を有している。

制御部６０は、例えば、ＣＰU（Central Processing Unit）等により構成され、スクリーン印刷装置１００の各部を統括的に制御する。記憶部６１は、制御部６０の作業用の領域として用いられる不揮発性のメモリと、制御部６０の処理に必要な各種のプログラムが記憶された不揮発性のメモリとを含む。上記各種のプログラムは、光ディスク、半導体メモリ等の可搬性の記録媒体から読み取られても構わない。

表示部６２は、例えば、液晶ディスプレイ等により構成される。入力部６３は、キーボード、マウス、タッチパネル等により構成され、ユーザからの指示を入力する。通信部６４は、印刷検査装置２００や、実装装置等の他の装置へ情報を送信したり、印刷検査装置２００や、実装装置等の他の装置から情報を受信したりする。

［印刷検査装置２００の構成］
次に、印刷検査装置２００の構成について説明する。図７は、印刷検査装置２００の構成を示す図である。

この印刷検査装置２００は、半田２を３次元測定することによって半田２の印刷状態を検査する。本実施形態では、半田２を３次元測定する方式の一例として、位相シフト法が用いられる場合について説明する。なお、半田２を３次元測定する方式は、位相シフト法に限られず、レーザ光走査法、レーザ光切断法、合焦法等の他の方法が用いられても構わない。

図７に示すように、印刷検査装置２００は、ステージ７０と、ステージ移動機構７１と、測定部８０と、制御部９０と、記憶部９１と、表示部９２と、入力部９３と、通信部９４とを備えている。

ステージ７０は、スクリーン印刷装置１００によって半田２が印刷された基板１を載置する。ステージ移動機構７１は、制御部９０に電気的に接続されており、制御部９０からの駆動信号に応じて、ステージ７０をＸＹＺ方向に移動させる。

測定部８０は、基板１上に正弦波状の縞を投影する投影部８１と、縞が投影された基板１を撮像する撮像部８７と、基板１に対して光を照射する照明部８８とを有し、基板１上に印刷された半田２の測定を行なう。

投影部８１は、光源８２と、光源８２からの光を集光する集光レンズ８３と、集光レンズ８３により集光された光を回折する回折格子８４と、回折格子８４により回折された光を基板１に投影する投影レンズ８５とを有する。

回折格子８４は、複数のスリットを有しており、光源８２からの光を回折させて、正弦波状に輝度が変化する縞を基板１に投影させる。回折格子８４には、スリットが形成された方向と直交する方向に回折格子８４を移動させる格子移動機構８６が設けられている。この格子移動機構８６は、制御部９０の制御に応じて、回折格子８４を移動させ、基板１に投影される縞の位相をシフトさせる。

照明部８８は、基板１に対して光を照射する。この照明部８８は、例えば、環状の２つの照明を含む。

撮像部８７は、ＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサ等の撮像素子と、基板１からの光を撮像素子の撮像面に結像させる結像レンズ等の光学系とを含む。

制御部９０は、例えば、ＣＰＵにより構成され、記憶部９１に記憶された各種のプログラムに基づき、印刷検査装置２００を統括的に制御する。記憶部９１は、印刷検査装置２００の処理に必要な各種のプログラムが記憶される不揮発性のメモリと、制御部９０の作業領域として用いられる揮発性のメモリとを有する。上記各種のプログラムは、光ディスク、半導体メモリ等の可搬性の記録媒体から読み取られても構わない。

表示部９２は、例えば、液晶ディスプレイ等により構成され、制御部９０の制御に応じて、半田２の検査データ等を表示する。入力部９３は、キーボード、マウス、タッチパネル等により構成され、ユーザからの指示を入力する。通信部９４は、スクリーン印刷装置１００や、実装装置等の他の装置へ情報を送信したり、スクリーン印刷装置１００や、実装装置等の他の装置から情報を受信したりする。

（３次元測定方法）
次に、半田２の３次元測定方法について説明する。

制御部９０は、スクリーン印刷装置１００から受け渡された基板１をステージ７０上に載置させる。次に、制御部９０は、ステージ移動機構７１によりステージ７０を移動させて基板１を所定の位置に位置決めする。次に、制御部９０は、投影部８１を制御して、正弦波状に輝度が変化する縞を基板１上に投影させ、縞が投影された基板１を撮像部８７により撮像する。

制御部９０は、撮像部８７により縞が投影された基板１を撮像すると、次に、格子移動機構８６を制御して、基板１上に投影される縞の位相をπ／２［rad］シフトさせる。そして、制御部９０は、再び、撮像部８７により縞が投影された基板１を撮像する。制御部９０は、縞の位相をπ／２［rad］シフトさせて撮像部８７により撮像する動作を、この後に２回繰り返す。これにより、縞の位相が、０、π／２、π、３π／２である合計で４枚の画像が取得される。

制御部９０は、取得された４枚の画像から各画素の輝度値を抽出し、基板１上の各座標（ｘ、ｙ）での位相φ（ｘ、ｙ）を求める。位相φ（ｘ、ｙ）を求めることができれば、位相φ（ｘ、ｙ）に基づいて三角測量の原理により、基板１上の各座標での高さを得ることができる。制御部９０は、この基板１上での各座標の高さに基づいて、半田２の位置、高さ、面積、体積等を求めることができる。

このような方法により、制御部９０は、４枚の画像（測定部８０によって得られた半田２の測定データ）に基づいて、半田２の検査データ（半田２の位置、高さ、面積、体積）を得ることができる。

（スキージ１３の摺動方向の判定方法）
制御部９０は、上記処理のほかに、４枚の画像（測定部８０によって得られた半田２の測定データ）に基づいてスキージ１３の摺動方向を判定する処理を実行したり、スキージ１３の摺動方向別に、検査データの統計処理を実行したりする。以降では、これについて説明する。

ここでは、まず、スキージ１３の摺動方向の判定方法について説明する。図８は、スキージ１３の摺動方向の判定方法を説明するための図である。図８（Ａ）に示すように、摺動方向が左向きである第１のスキージ１３Ｌによって、半田２が基板１上に印刷された場合について考える。この場合、図８（Ａ）に示すように、半田２は、右側の高さが最も低く、右側から左側に向けて徐々に高さが高くなり、左側の高さが最も高くなる。このため、摺動方向が左向きの第１のスキージ１３Ｌによって印刷された半田２は、体積重心の位置が面積重心の位置よりも左側にずれる。

一方、図８（Ｂ）に示すように、摺動方向が右向きである第２のスキージ１３Ｒによって、半田２が基板１上に印刷された場合について考える。この場合、図８（Ｂ）に示すように、半田２は、左側の高さが最も低く、左側から右側に向けて徐々に高さが高くなり、右側の高さが最も高くなる。このため、摺動方向が右向きの第２のスキージ１３Ｒによって印刷された半田２は、体積重心の位置が面積重心の位置よりも右側にずれる。

本技術では、この関係が利用されて、基板１上に半田２を印刷したスキージ１３の摺動方向が判定される。

制御部９０がスキージ１３の摺動方向を判定するときの処理を具体的に説明する。

まず、制御部９０は、測定部８０によって取得された測定データ（４枚の画像）に基づいて算出された半田２の検査データに基づき、半田２の面積重心の位置と、半田２の体積重心の位置とを算出する。この場合、制御部９０は、半田２の検査データ（半田２の位置、高さ、面積、体積）のうち、半田２の面積データに基づいて、半田２の面積重心の位置を求め、半田２の体積データに基づいて、体積重心の位置を求める。

そして、制御部９０は、体積重心の位置及び面積重心の位置に基づいて、その半田２を印刷したスキージ１３の摺動方向を判定する。このとき、制御部９０は、面積重心の位置と、体積重心の位置との差を算出し、体積重心の位置が、面積重心の位置の右側及び左側のうちどちらにずれているかを判定することにより、スキージ１３の摺動方向を判定することができる。すなわち、制御部９０は、体積重心の位置が面積重心よりも左側にずれている場合には（図８（Ａ）参照）、スキージ１３の摺動方向は、左向きであると判定することができる。一方、制御部９０は、体積重心の位置が面積重心よりも右側にずれている場合には（図８（Ｂ）参照）、スキージ１３の摺動方向は、右向きであると判定することができる。

なお、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示すように、スキージ１３の摺動方向による半田２の特徴の差は、面積重心に対する体積重心の位置以外にも、半田２の高さの傾きに現れる。制御部９０は、この半田２の高さの傾きに基づいて、スキージ１３の摺動方向を判定しても構わない。この場合、制御部９０は、半田２の高さに基づいて、半田２の傾きを算出し、傾きが左上がりである場合には、スキージ１３の摺動方向が左向きである判定し、傾きが右上がりである場合には、スキージ１３の摺動方向が右向きであると判定する。

基板１上には、複数の半田２が形成されている。スキージ１３の摺動方向を判定するとき、制御部９０は、複数の半田２のうちの１つの半田２の測定により、スキージ１３の摺動方向を判定してもよいし、２つ以上の半田２の測定により、スキージ１３の摺動方向を判定してもよい。

本発明者らは、パターン孔４のサイズが０．５×０．５ｍｍ〜２．０×２．０ｍｍ程度であるスクリーン３を用意し、このスクリーン３を使用して、基板１上に半田２を印刷した。そして、本発明者らは、基板１上に印刷された半田２（０．５×０．５ｍｍ〜２．０×２．０ｍｍ程度）について、印刷検査装置２００によりスキージ１３の摺動方向を判定した。

このとき、１つの半田２の測定によってスキージ１３の摺動方向が判定されたが、スキージ１３の摺動方向に基づく半田２の特徴の差は、スキージ１３の摺動方向別に顕著に現れるために、誤判定が発生することはほとんどなかった。つまり、半田２の数は、１つであっても、スキージ１３の摺動方向を正確に判定することができる。従って、典型的には、複数の半田２のうちの１つの半田２の測定により、スキージ１３の摺動方向を判定する処理を実行するのが効率的である。

一方、例えば、スクリーン３上のパターン孔４のサイズがさらに小さいなどの理由で、スキージ１３の摺動方向に基づく半田２の特徴の差が小さくなる場合が考えられる。このような場合には、基板１上に形成された複数の半田２のうち、２以上の半田２の測定によって、スキージ１３の摺動方向が判定されてもよい。これにより、スキージ１３の摺動方向判定の精度を向上させることができる。

（スキージ１３の摺動方向別に検査データを統計する統計方法、及びスキージ１３の摺動方向別に統計された検査データの活用方法）
次に、スキージ１３の摺動方向別に検査データを統計する統計方法、及びスキージ１３の摺動方向別に統計された検査データ（スキージ１３の摺動方向別の統計データ）の活用方法について説明する。

図９及び図１０は、スキージ１３の摺動方向が考慮されずに統計された半田２の検査データ（比較例）と、スキージ１３の摺動方向が考慮されて統計された半田２の検査データ（本実施形態）との比較図である。図９（Ａ）及び図１０（Ａ）には、スキージ１３の摺動方向が考慮されずに、第１のスキージ１３Ｌ及び第２のスキージ１３Ｒによって印刷された半田２の検査データが混合して統計された場合の一例が示されている。図９（Ｂ）、（Ｃ）、図１０（Ｂ）、（Ｃ）には、スキージ１３の摺動方向が考慮され、第１のスキージ１３Ｌによって印刷された半田２の検査データと、第２のスキージ１３Ｒによって印刷された半田２の検査データとが、別々に統計された場合の一例が示されている。

なお、図９及び図１０に示す統計データでは、横軸が半田２の体積（量）を示しており、縦軸が半田２の数を示している。破線で示す曲線は、半田２の体積の理想とされる分布を示している。また、ｘバーは、半田２の体積の平均値を示し、σは、標準偏差を示し、ＵＣＬ（Upper Control Limit）は、上方管理限界線を示し、ＬＣＬ（Lower Control Limit）は、下方管理限界線を示している。

図９（Ａ）、図１０（Ａ）（比較例）では、半田２の体積の分布が全体的に左側にシフトしていることと、体積がＬＣＬを下回る半田２が存在していることが分かる。このことから、基板１上に印刷された半田２の体積の不足による印刷不良が発生していることが分かる。また、図９（Ａ）では、半田２の体積のばらつき（標準偏差σ）が大きくなっていることも分かる。しかしながら、図９（Ａ）、図１０（Ａ）に示す比較例では、半田２についての検査データがスキージ１３の摺動方向別に統計されていないので、半田２の不足の原因の特定が困難である。

一方、図９（Ｂ）、（Ｃ）、図１０（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、本実施形態では、スキージ１３の摺動方向別に半田２の体積（検査データ）が統計されている。すなわち、スクリーン３上を左向きに摺動される第１のスキージ１３Ｌによって基板１上に印刷された半田２の体積（図９（Ｂ）、図１０（Ｂ））と、スクリーン３上を右向きに摺動される第２のスキージ１３Ｒによって基板１上に印刷された半田２の体積（図９（Ｃ）、図１０（Ｃ））とが別々に統計されている。

図９（Ｂ）、（Ｃ）、図１０（Ｂ）、（Ｃ）に示すようなスキージ１３の摺動方向別の統計処理を実行するために、印刷検査装置２００の制御部９０は、上記した判定方法によって判定されたスキージ１３の摺動方向別に、半田２の検査データの統計処理を実行している。半田２の検査データの統計処理は、複数の基板１についての半田２の検査データを蓄積することで実行される。ここで、基板１上には、複数の半田２が印刷されている。従って、典型的には、制御部９０は、基板１上に印刷されている全て半田２についての検査データを統計データに反映させる。

検査データは、上記３次元測定によって測定された半田２の位置、高さ、面積、体積等のデータを含む。図９（Ｂ）、（Ｃ）、図１０（Ｂ）、（Ｃ）では、これらの検査データのうち、半田２の体積がスキージ１３の摺動方向別に統計された場合の一例が示されている。制御部９０は、半田２の体積をスキージ１３の摺動方向別に統計し、図９（Ｂ）、（Ｃ）、図１０（Ｂ）、（Ｃ）に示すようなスキージ１３の摺動方向別の統計データを表示部９２の画面上に表示させる。

図９（Ｂ）を参照して、この図９（Ｂ）では、半田２の体積の分布が全体として左側にシフトしていることと、体積がＬＣＬを下回る半田２が存在することが分かる。従って、オペレータは、図９（Ｂ）に示す統計データ（表示部９２に表示されている）を視認することで、スクリーン３上を左向きに摺動される第１のスキージ１３Ｌによって印刷された半田２の体積が不足していると判断することができる。

一方、図９（Ｃ）では、半田２の体積の分布に異常はみられない。従って、オペレータは、図９（Ｃ）に示す統計データ（表示部９２に表示されている）を視認することで、スクリーン３上を右向きに摺動される第２のスキージ１３Ｒによって印刷された半田２の体積は、正常であると判断することができる。

これらの統計データから、まず、オペレータは、印刷不良の原因は、第２のスキージ１３Ｒに起因するものではなく、第１のスキージ１３Ｌに起因するものであると判断することができる（これは、比較例に係る図９（Ａ）では、判断ができない）。さらに、オペレータは、図９（Ｂ）に示すように、半田２の体積の分布が全体として左側にシフトしている場合、これに基づいて、印刷不良の原因の候補を具体的に特定することができる。一般的に、スキージ１３の印圧過剰である場合、図９（Ｂ）に示すように、半田２の体積の分布が全体として左側にシフトする場合が多い。従って、オペレータは、スキージ１３の印圧過剰が印刷不良（半田２の体積の不足）の原因の候補の一つであると判断することができる。

このような解析の基、オペレータは、第１のスキージ１３Ｌの印圧を弱めるように第１のスキージ１３Ｌの印圧調整を行なう。これにより、印刷不良の原因が適切に除去される。スキージ１３の印圧は、例えば、スキージ１３を上下方向に移動させるエアシリンダ１８の制御を変更することで調整することができる。

図１０（Ｂ）を参照して、この図１０（Ｂ）では、体積がＬＣＬを下回る半田２は存在しないものの、半田２の体積の分布が全体として左側にシフトしていることが分かる。従って、オペレータは、第１のスキージ１３Ｌに起因する半田２の体積の不足による印刷不良が発生していると判断することができ、この印刷不良の原因がスキージ１３の印圧過剰であると特定することができる。この場合、オペレータは、図９（Ｂ）の場合と同様に、第１のスキージ１３Ｌの印圧を弱めるように、第１のスキージ１３Ｌの印圧調整を行なえばよい。

図１０（Ｃ）では、半田２の体積のばらつきが大きいことと、半田２の体積の平均値が理想の平均値よりも左側にシフトしており半田２の体積が不足していることが分かる。これらのことから、まず、オペレータは、第２のスキージ１３Ｒに起因する印刷不良が発生していることとが分かる。さらに、オペレータは、図１０（Ｃ）に示すように、半田２の体積のばらつきが大きい場合には、これに基づいて、印刷不良の原因の候補を具体的に特定することができる。

一般的に、スキージ１３がスクリーン３上を摺動されるときの印圧が強くなったり弱くなったりして、スキージ１３の印圧がばらつく（不安定である）場合に、図１０（Ｃ）に示すように、半田２の体積のばらつきが大きくなる場合が多い。このようなスキージ１３の印圧のばらつきは、スキージ１３を上下方向に移動させるエアシリンダ１８の動作不良が原因である場合が多い。従って、このような場合には、オペレータは、エアシリンダ１８の動作不良が、印刷不良の原因の候補の一つであると判断することができる。

このような解析の基、オペレータは、エアシリンダ１８を新しいエアシリンダ１８に交換したり、エアシリンダ１８をサーボモータに交換したりすればよい。これにより、印刷不良の原因が適切に除去される。

図９（Ｂ）、図１０（Ｂ）では、半田２の体積の分布が全体として左側にシフトしており、半田２が不足している場合について説明した。一方、例えば、図９（Ｂ）、図１０（Ｂ）において、半田２の体積の分布が全体として右側にシフトしており、半田２の体積が過剰となっている場合も想定される。このような場合、オペレータは、第１のスキージ１３Ｌの印圧不足が印刷不良（半田２の体積の過剰）の原因の候補の一つであると判断することができる。この場合、オペレータは、エアシリンダ１８の制御を変更することで、第１のスキージ１３Ｌの印圧を強めるようにスキージ１３の印圧調整を行なう。これにより、印刷不良の原因が適切に除去される。

図１１及び図１２は、スキージ１３の摺動方向が考慮されずに統計された半田２の検査データ（比較例）と、スキージ１３の摺動方向が考慮されて統計された半田２の検査データ（本実施形態）との比較図である。図１１（Ａ）及び図１２（Ａ）には、スキージ１３の摺動方向が考慮されずに、第１のスキージ１３Ｌ及び第２のスキージ１３Ｒによって印刷された半田２の検査データが混合して統計された場合の一例が示されている。図１１（Ｂ）、（Ｃ）図１２（Ｂ）、（Ｃ）には、スキージ１３の摺動方向が考慮され、第１のスキージ１３Ｌによって印刷された半田２の検査データと、第２のスキージ１３Ｒによって印刷された半田２の検査データとが、別々に統計された場合の一例が示されている。

上述の図９及び図１０では、３次元測定による検査データのうち、半田２の体積がスキージ１３の摺動方向別に統計された場合の一例について説明した。一方、ここで説明する図１１及び図１２では、３次元測定による検査データのうち、半田２の位置（正規の半田２の位置に対する実際の半田２の位置）がスキージ１３の摺動方向別に統計された場合の一例が示されている。

図１１及び図１２に示す統計データでは、円の中心が半田２の理想の位置を示しており、一点差線で表された円が管理値を示している。また、図１１及び図１２において、プロットは、実際の半田２の位置（半田２の位置ずれ量）を表している。図中に示されている１つのプロットは、１枚の基板１上に印刷された全ての半田２の実際の位置の平均値に対応する。すなわち、１枚の基板１について、１つのプロットがプロットされる。

図１１（Ａ）、図１２（Ａ）（比較例）では、半田２の位置の分布が全体的に右側にシフトしていることと、位置が管理値（一点鎖線）を超える半田２が存在していることが分かる。このことから、基板１上に印刷された半田２の位置ずれによる印刷不良が発生していることが分かる。しかしながら、図９（Ａ）、図１０（Ａ）に示す比較例では、半田２についての位置データがスキージ１３の摺動方向別に統計されていないので、半田２の位置ずれの原因の特定が困難である。

一方、図１１（Ｂ）、（Ｃ）、図１２（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、本実施形態では、スキージ１３の摺動方向別に半田２の位置が統計されている。すなわち、スクリーン３上を左向きに摺動される第１のスキージ１３Ｌによって基板１上に印刷された半田２の位置（図１１（Ｂ）、図１２（Ｂ））と、スクリーン３上を右向きに摺動される第２のスキージ１３Ｒによって基板１上に印刷された半田２の位置と（図１１（Ｃ）、図１２（Ｃ））が別々に統計されている。

図１１（Ｂ）、（Ｃ）、図１２（Ｂ）、（Ｃ）に示すようなスキージ１３の摺動方向別の統計処理を実行するために、印刷検査装置２００の制御部９０は、上記した判定方法によって判定されたスキージ１３の摺動方向別に、半田２の位置の統計処理を実行している。そして、制御部９０は、図１１（Ｂ）、（Ｃ）、図１２（Ｂ）、（Ｃ）に示すようなスキージ１３の摺動方向別の半田２の位置データを表示部９２の画面上に表示させる。

図１１（Ｂ）を参照して、この図１１（Ｂ）では、半田２の位置の分布が全体として右側にシフトしていることと、位置が管理値を超える半田２が存在することが分かる。従って、オペレータは、図１１（Ｂ）に示す統計データ（表示部９２上に表示される）を視認することで、スクリーン３上を左向きに摺動される第１のスキージ１３Ｌによって印刷された半田２の位置が、右側にずれていると判断することができる。

一方、図１１（Ｃ）では、半田２の位置の分布が、許容範囲に収まっていることが分かる。従って、オペレータは、図１１（Ｃ）に示す統計データ（表示部９２上に表示される）を視認することで、スクリーン３上を右向きに摺動される第２のスキージ１３Ｒによって印刷された半田２の位置は、正常であると判断することができる。

オペレータは、図１１（Ｂ）に示すように、半田２の位置の分布が全体として右側にシフトしている場合、これに基づいて、印刷不良（印刷位置ずれ）の原因の候補を具体的に特定することができる。例えば、第１のスキージ１３Ｌによって印刷が行なわれるときに、基板１の位置決めが不正確であり、基板１の位置がスクリーン３に対して左側にシフトしている場合、図１２（Ｂ）に示すように、半田２の位置の分布が全体として右側にシフトする場合が多い。従って、オペレータは、基板１の位置決めの不正確さが印刷不良（半田２の位置ずれ）の原因の候補の一つであると判断することができる。

このような解析の基、オペレータは、第１のスキージ１３Ｌによって基板１上に半田２を印刷するときの基板１の位置を右側に修正する調整を行なう。この修正は、第１のスキージ１３Ｌによって半田２が印刷されるときのオフセット値を調整することで実行される。

ここで、第１のスキージ１３Ｌによって基板１上に半田２が印刷されるときのスクリーン３に対する基板１の位置と、第２のスキージ１３Ｒによって基板１上に半田２が印刷されるときのスクリーン３に対する基板１の位置とは異なっている。これは、右向きに摺動される第１のスキージ１３Ｌによって基板１上に印刷される半田２の位置は右側に少しずれ、左向きに摺動される第２のスキージ１３Ｒによって基板１上に印刷される半田２の位置は左側に少しずれるためである。この半田２のずれ量を考慮して、第１のスキージ１３Ｌによって半田２が印刷される場合と、第１のスキージ１３Ｌによって半田２が印刷される場合とで、それぞれ、センターからのオフセット値が設定されている。上記スクリーン３に対する基板１の位置の修正は、このオフセット値を修正することで調整することができる。

図１２（Ｂ）を参照して、この図１２（Ｂ）では、半田２の位置の分布が全体として右側にシフトしていることとが分かる。同様に、図１２（Ｃ）も半田２の位置の分布が全体として右側にシフトしていることが分かる。オペレータは、図１２（Ｂ）、（Ｃ）に示す統計データ（表示部９２上に表示される）を視認することで、第１のスキージ１３Ｌと、第２のスキージ１３Ｒとの両方で、半田２の位置ずれが発生していることと判断することができる。また、オペレータは、図１２（Ｂ）、（Ｃ）に示す統計データから、第１のスキージ１３Ｌによって印刷された半田２の位置の分布と、第１のスキージ１３Ｌによって印刷された半田２の位置の分布との間に有意的な差が無いと判断することができる。

第１のスキージ１３Ｌ及び第２のスキージ１３Ｒの両方で半田２の位置ずれが発生していて、かつ、これらのスキージ１３によって印刷された半田２の分布に差がないような場合、オペレータは、以下の３つの候補を印刷不良の原因として特定することができる。

（１）スクリーン印刷装置１００の固定部６によるスクリーン３の固定に問題があったり、スクリーン３にテンションを付与する枠体５に問題があったりするなどの理由により、半田印刷時にスクリーン３が動いてしまう。（２）スクリーン印刷装置１００の基板吸着ステージの吸着力が弱く、基板１の位置決め時や半田２印刷時などに、基板１の位置がずれてしまう。（２）スクリーン印刷装置１００の撮像部３０に問題が生じていて、スクリーン３と基板１との位置合わせが不正確となっている。

例えば、オペレータは、これら３つの候補について、発生率が高い候補から順番に印刷不良原因を調査して、印刷不良原因を特定する。そして、オペレータは、特定された印刷不良原因を除去すればよい。例えば、固定部６のスクリーンクランプ８がスクリーン３を挟み込む力が弱く、半田印刷時にスクリーン３が動いてしまっているような場合を想定する。この場合、オペレータは、スクリーンクランプ８よりスクリーン３を強固に固定したり、スクリーンクランプ８が壊れている場合には、スクリーンクランプ８を交換したりする。スクリーン３にテンションを付与する枠体５に異常がある場合には、その枠体５を新たな枠体５に交換する。基板吸着ステージの吸着力が弱い場合には、オペレータは、基板吸着のためのエアコンプレッサなどの機構を調整することで、吸着ステージの吸着力を上げる。撮像部３０に異常がある場合には、オペレータは、撮像部３０を修理したり、新たな撮像部３０に交換したりする。

以上の説明では、スキージ１３の摺動方向別に統計された検査データが表示部９２上に表示され、オペレータがこの検査データを視認して、印刷不良が発生しているかを判断したり、印刷不良の原因の候補を判断したりする場合について説明した。一方、印刷不良が発生したかを判断するステップや、印刷不良原因の候補を特定するステップを自動化することも可能である。以降では、このときの制御部９０の処理について説明する。

図１３は、印刷検査装置２００の制御部９０の処理を示すフローチャートである。なお、ここでの説明では、図９を参照しつつ、制御部９０の処理を具体的に説明する。

まず、印刷検査装置２００の制御部９０は、スキージ１３の摺動方向別に、半田２の検査データの統計処理を実行する（ステップ１０１）。次に、制御部９０は、半田２の検査データに基づいて、印刷不良が発生したかを判定する（ステップ１０２）。例えば、制御部９０は、図９に示すような半田の統計データ（スキージの摺動方向別の統計データである必要はない）に基づいて、半田２の印刷不良が発生したかを判定する。

例えば、図９に示す例では、制御部９０は、体積の平均値（ｘバー）が中央値（ｃ ｘバー）からどの程度ずれているかを判定したり、体積がＬＣＬ、ＵＣＬの値から外れる半田２が存在するかを判定したりする。制御部９０は、これらの判定結果に応じて、半田２の印刷不良が発生したかを判定する。

印刷不良が検知された場合（ステップ１０２のＹＥＳ）、制御部９０は、次のステップ１０３へ進む。ステップ１０３では、制御部９０は、スキージ１３の摺動方向別の統計データに基づいて、印刷不良の原因と推定される１以上の候補を特定する。

例えば、図９（Ｂ）、図９（Ｃ）に示す例では、これらの統計データから、まず、制御部９０は、印刷不良の原因は、第２のスキージ１３Ｒに起因するものではなく、第１のスキージ１３Ｌに起因するものであると判断する。さらに、制御部９０は、図９（Ｂ）に示すように半田２の体積の分布が全体として左側にシフトしている場合、第１のスキージ１３Ｌの印圧過剰が印刷不良の原因の候補の一つであると判断する。なお、印刷不良の原因と推定される候補が複数ある場合（例えば、図１２の説明箇所参照）、制御部９０は、複数の候補を特定する。

制御部９０は、印刷不良の原因の１以上の候補を特定すると、次に、印刷不良原因の１以上の候補を表示部９２の画面上に表示させる（ステップ１０４）。図９（Ｂ）、図９（Ｃ）に示す例では、例えば、表示部９２の画面上に「第１のスキージ１３Ｌよって印刷された半田２の不足による印刷不良が発生しています。この印刷不良の原因としては、第１のスキージ１３Ｌの過剰印圧が考えられます。」と表示される。

例えば、印刷不良原因と推定される候補が複数ある場合には、制御部９０は、印刷不良原因である可能性が高い候補を上から順番に画面上に表示する処理を実行してもよい。また、制御部９０は、印刷不良の原因とともに、スキージ１３の摺動方向別の統計データを表示部９２の画面上に表示させてもよい。

オペレータは、表示部９２の画面上に表示される文字を見て、印刷不良原因を除去する。例えば、第１のスキージ１３Ｌの過剰印圧が印刷不良原因として挙げられている場合には、オペレータは、第１のスキージ１３Ｌの印圧を弱めるように、エアシリンダ１８の制御を変更する。

なお、ここでの説明では、印刷不良原因の除去がオペレータによって実行される場合について説明したが、印刷不良原因の除去を自動化することも可能である。この場合、例えば、印刷検査装置２００の制御部９０は、１以上の印刷不良の原因を特定した後、特定された１以上の候補を示す情報を通信部９４を介して、スクリーン印刷装置１００へ出力する。スクリーン印刷装置１００の制御部６０は、通信部６４を介して印刷不良の原因の候補を受信すると、印刷不良の原因を除去する処理を実行する。

例えば、印刷不良原因が第１のスキージ１３Ｌの過剰印圧であると判断された場合、印刷検査装置２００の制御部９０は、第１のスキージ１３Ｌの印圧過剰を示す情報を通信部９４を介して、スクリーン印刷装置１００に出力する。スクリーン印刷装置１００の制御部６０は、第１のスキージ１３Ｌの印圧過剰を示す情報を受信すると、第１のスキージ１３Ｌの印圧を弱めるように、エアシリンダ１８の制御を変更する。このように、スクリーン印刷装置１００によって、半田２の印刷不良原因を自動的に除去することができる。

以上説明したように、本実施形態に係る印刷検査装置２００では、スキージ１３の摺動方向別に、半田２の検査データの統計処理が実行されるので、オペレータ（又はコンピュータ）は、容易に印刷不良の原因を特定することができる。

＜各種変形例＞
以上の説明では、印刷検査装置２００が有する表示部９２の画面上に、スキージ１３の摺動方向別の統計データ、印刷不良の原因の候補などが表示される場合について説明した。一方、スキージ１３の摺動方向別の統計データ、印刷不良原因の候補は、スクリーン印刷装置１００が有する表示部６２の画面上に表示されても構わない。印刷不良は、スクリーン印刷装置１００側で生じているためである。

この場合、例えば、印刷検査装置２００の制御部９０は、スキージ１３の摺動方向別の統計データ、印刷不良原因の候補を通信部９４を介して、スクリーン印刷装置１００へ出力すればよい。スクリーン印刷装置１００の制御部６０は、スキージの摺動方向別の統計データ、印刷不良原因の候補を受信すると、それらのデータを表示部６２の画面上に表示させる。

図９、図１０では、半田２の検査データのうち、半田２の体積がスキージ１３の摺動方向別に統計される場合について説明した。また、図１１、図１２では、半田２の検査データのうち、半田２の位置がスキージ１３の摺動方向別に統計される場合について説明した。一方、半田２の検査データのうち、半田の高さや、面積がスキージ１３の摺動方向別に統計されても構わない。

以上の説明では、スキージ１３の数が２つである場合について説明したが、スキージ１３の数は、３つ以上であってもよく、スキージ１３の数は、特に限定されない。以上の説明では、スキージ１３の摺動方向が右向き、左向きである場合について説明したが、スキージ１３の摺動方向は、前向き、後ろ向きなどであっても構わない。

本技術は、以下の構成をとることもできる。
（１） スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定する測定部と、
前記測定部によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する制御部と
を具備する印刷検査装置。
（２） 上記（１）に記載の印刷検査装置であって、
前記制御部は、前記半田の測定データに基づいて、前記半田の体積重心及び面積重心を算出し、前記半田の体積重心及び面積重心の位置に基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定する
印刷検査装置。
（３） 上記（１）に記載の印刷検査装置であって、
前記制御部は、前記半田の測定データに基づいて、前記半田の高さの傾きを算出し、前記半田の高さの傾きに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定する
印刷検査装置。
（４） 上記（１）乃至（３）のうち、いずれか１つに記載の印刷検査装置であって、
前記スキージは、前記基板上に複数の半田を印刷し、
前記測定部は、前記基板上に印刷された前記複数の半田のうち少なくとも２以上の半田を測定し、
前記制御部は、測定部によって得られた前記２以上の半田の測定データに基づいて、前記スキージの摺動方向を判定する
印刷検査装置。
（５） 上記（１）乃至（４）のうち、いずれか１つに記載の印刷検査装置であって、
前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データを表示する表示部をさらに具備する
印刷検査装置。
（６） 上記（１）乃至（５）のうち、いずれか１つに記載のスクリーン印刷装置であって、
前記スクリーン印刷装置と通信する通信部をさらに具備し、
前記制御部は、前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データを示す情報を前記通信部を介して前記スクリーン印刷装置へ出力する
印刷検査装置。
（７） 上記（１）乃至（６）のうち、いずれか１つに記載の印刷検査装置であって、
前記制御部は、前記検査データに基づいて、前記スクリーン印刷装置による前記半田の印刷不良を検知し、前記半田の印刷不良が検知された場合に、前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データに基づいて、印刷不良の原因と推定される１以上の候補を特定する
印刷検査装置。
（８） 上記（７）に記載の印刷検査装置であって、
前記制御部によって特定された前記印刷不良原因の１以上の候補を画面上に表示する表示部をさらに具備する
印刷検査装置。
（９） 上記（７）又は（８）に記載の印刷検査装置であって、
前記スクリーン印刷装置と通信する通信部をさらに具備し、
前記制御部は、特定された前記印刷不良原因の１以上の候補を示す情報を前記通信部を介して前記スクリーン印刷装置へ出力する
印刷検査装置。
（１０） 上記（９）に記載の印刷検査装置であって、
前記制御部は、印刷不良原因を前記スクリーン印刷装置により自動的に除去させるために、前記印刷不良原因の１以上の候補を示す情報を前記通信部を介して出力する
印刷検査装置。
（１１） スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置と、
前記スクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定する測定部と、前記測定部によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する制御部とを有する印刷検査装置と
を具備する印刷検査システム。
（１２） スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定し、
測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、
前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する
検査データの統計方法。
（１３） 印刷検査装置に、
スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定するステップと、
測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定するステップと、
前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行するステップと
を実行させるプログラム。
（１４） スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定し、
測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、
前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行し
前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データに基づいて、前記スクリーン印刷装置による前記半田の印刷不良原因を特定し、
特定された前記スクリーン印刷装置の印刷不良原因を除去し、
前記印刷不良原因が除去された前記スクリーン印刷装置によって前記基板上に半田を印刷し、
前記半田が印刷された基板上に電子部品を実装する
基板の製造方法。

１…基板
２…クリーム半田
３…スクリーン
１０…スキージ部
１１…第１のスキージ機構
１２…第２のスキージ機構
１３Ｌ…第１のスキージ
１３Ｒ…第２のスキージ
８０…測定部
８７…撮像部
９０…制御部
９２…表示部
９４…通信部
１００…スクリーン印刷装置
２００…印刷検査装置
３００…印刷検査システム

Claims (14)

1. スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定する測定部と、
   前記測定部によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する制御部と
   を具備する印刷検査装置。
2. 請求項１に記載の印刷検査装置であって、
   前記制御部は、前記半田の測定データに基づいて、前記半田の体積重心及び面積重心を算出し、前記半田の体積重心及び面積重心の位置に基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定する
   印刷検査装置。
3. 請求項１に記載の印刷検査装置であって、
   前記制御部は、前記半田の測定データに基づいて、前記半田の高さの傾きを算出し、前記半田の高さの傾きに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定する
   印刷検査装置。
4. 請求項１に記載の印刷検査装置であって、
   前記スキージは、前記基板上に複数の半田を印刷し、
   前記測定部は、前記基板上に印刷された前記複数の半田のうち少なくとも２以上の半田を測定し、
   前記制御部は、測定部によって得られた前記２以上の半田の測定データに基づいて、前記スキージの摺動方向を判定する
   印刷検査装置。
5. 請求項１に記載の印刷検査装置であって、
   前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データを表示する表示部をさらに具備する
   印刷検査装置。
6. 請求項１に記載のスクリーン印刷装置であって、
   前記スクリーン印刷装置と通信する通信部をさらに具備し、
   前記制御部は、前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データを示す情報を前記通信部を介して前記スクリーン印刷装置へ出力する
   印刷検査装置。
7. 請求項１に記載の印刷検査装置であって、
   前記制御部は、前記検査データに基づいて、前記スクリーン印刷装置による前記半田の印刷不良を検知し、前記半田の印刷不良が検知された場合に、前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データに基づいて、印刷不良の原因と推定される１以上の候補を特定する
   印刷検査装置。
8. 請求項７に記載の印刷検査装置であって、
   前記制御部によって特定された前記印刷不良原因の１以上の候補を画面上に表示する表示部をさらに具備する
   印刷検査装置。
9. 請求項７に記載の印刷検査装置であって、
   前記スクリーン印刷装置と通信する通信部をさらに具備し、
   前記制御部は、特定された前記印刷不良原因の１以上の候補を示す情報を前記通信部を介して前記スクリーン印刷装置へ出力する
   印刷検査装置。
10. 請求項９に記載の印刷検査装置であって、
    前記制御部は、印刷不良原因を前記スクリーン印刷装置により自動的に除去させるために、前記印刷不良原因の１以上の候補を示す情報を前記通信部を介して出力する
    印刷検査装置。
11. スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置と、
    前記スクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定する測定部と、前記測定部によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する制御部とを有する印刷検査装置と
    を具備する印刷検査システム。
12. スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定し、
    測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、
    前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行する
    検査データの統計方法。
13. 印刷検査装置に、
    スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定するステップと、
    測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定するステップと、
    前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行するステップと
    を実行させるプログラム。
14. スクリーン上でそれぞれ異なる摺動方向に摺動され、それぞれ異なる基板上に半田を印刷する複数のスキージを有するスクリーン印刷装置のスキージによって前記基板上に印刷された前記半田を測定し、
    測定によって得られた前記半田の測定データに基づいて、前記半田を印刷した前記スキージの摺動方向を判定し、
    前記スキージの摺動方向別に、前記半田の測定データに基づく前記半田の検査データの統計処理を実行し
    前記スキージの摺動方向別に統計された前記検査データに基づいて、前記スクリーン印刷装置による前記半田の印刷不良原因を特定し、
    特定された前記スクリーン印刷装置の印刷不良原因を除去し、
    前記印刷不良原因が除去された前記スクリーン印刷装置によって前記基板上に半田を印刷し、
    前記半田が印刷された基板上に電子部品を実装する
    基板の製造方法。

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