JP2013128020A - 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電セラミックス層と一層おきに外部電極13aに接続された内部電極12aとが交互に積層されてなる積層型圧電アクチュエータであって、内部電極12aの外周部11a近傍の圧電セラミックスの密度が、内部電極12aの中央部近傍の圧電セラミックスの密度より小さい。これにより、圧電活性部と圧電不活性部との境界部付近を低密度化し、動作時にはその部分の変位量を小さくすることができ、その境界部付近に発生する応力を低減できる。また、低密度部分ではクラックが進行しにくいため、圧電アクチュエータの破壊を防止し、その長寿命化を実現できる。
【選択図】図1B
Description
図1Aは、積層型圧電アクチュエータ10を示す積層方向に沿った断面による断面図である。積層型圧電アクチュエータ10は、圧電セラミックス層11と内部電極12a、12bとが交互に積層されている。圧電セラミックス層11は、圧電セラミックス材料の焼結体で形成されている。内部電極12a、12bは、積層型圧電アクチュエータ10の対向する側面10a、10bに一層おきに露出するように形成されている。
次に、積層型圧電アクチュエータ10の製造方法の一例について説明する。まず、PNN−PZT系等の圧電セラミックスの粉末にバインダ等の有機物成分や溶媒を混合してスラリー化する。このようにして得られた混合物をドクターブレード法や押出成形法等の方法によって、シート状に成形する。続いて、得られた帯状のグリーンシートからパンチング等の方法によって所定形状のパンチングシートを得る。図2Aは、パンチングシート21の一例を示す平面図である。
10a、10b 側面
11 圧電セラミックス層
11a 外周部
12a、12b 内部電極
12c 圧電活性部
12d 圧電不活性部
13a、13b 外部電極
21 パンチングシート
22 電極パターン
23 添加物塗布パターン
Claims (4)
- 圧電セラミックス層と一層おきに外部電極に接続された内部電極とが交互に積層されてなる積層型圧電アクチュエータであって、
内部電極の外周部近傍の圧電セラミックスの密度が、前記内部電極の中央部近傍の圧電セラミックスの密度より小さいことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。 - 前記内部電極の外周部近傍の圧電セラミックス層は、ランタンおよびネオジウム等の希土類元素、カリウム、アルミニウム、ニオブ、ジルコニウムならびにマグネシウムから選ばれた1以上の成分を他の部分の圧電セラミックス層よりも多く含有することを特徴とする請求項1記載の積層型圧電アクチュエータ。
- 圧電セラミックス層と一層おきに外部電極に接続された内部電極とが交互に積層されてなる積層型圧電アクチュエータの製造方法であって、
圧電セラミックスの粉末をグリーンシートに成形する工程と、
前記成形されたグリーンシートに、電極ペーストを所定のパターンで塗布する工程と、
前記電極ペーストが塗布される所定のパターンの外周部に、前記圧電セラミックスの焼結体の密度を低下させる添加物を含有するドープペーストを塗布する工程と、
前記各ペーストが塗布されたグリーンシートを所定枚数積層し、一体化し、焼成する工程と、を有することを特徴とする積層型圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記添加物は、ランタンおよびネオジウム等の希土類元素、アルミニウム、ニオブ、カリウム、ジルコニウムならびにマグネシウムから選ばれた1または複数の成分からなる化合物であることを特徴とする請求項3記載の積層型圧電アクチュエータの製造方法。
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