JP6159986B2 - 圧電素子 - Google Patents
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Description
図1(a)、(b)は、圧電素子100を示す側断面図および平断面図である。圧電素子100は、圧電セラミックス層101と一層おきに外部電極103a、103bに接続された内部電極102a、102bとが交互に積層されて構成されている。
上記のように構成された圧電素子100の製造方法を説明する。まず、積層したグリーンシートを焼成する。まず、セラミックス粉体と樹脂系組成物とを所定量秤量し混合する。セラミックス粉体としてはPZT系の圧電セラミックスを用いることが好ましい。材料は、主変位部105用と応力緩和部106用に分ける。樹脂系組成物は、具体的には、バインダ、分散剤、消泡剤、可塑剤または湿潤剤等である。
101 圧電セラミックス層
102a、102b 内部電極
103 活性部
103a 外部電極
104 不活性部
105 主変位部
106 応力緩和部
Claims (3)
- 圧電セラミックス層と一層おきに外部電極に接続された内部電極とが交互に積層されてなる圧電素子であって、
内部電極が対向し、前記内部電極への電圧の印加により変位する活性部と、
積層方向の両端に形成され、前記内部電極が対向していない不活性部と、を備え、
前記活性部は、積層方向の中央に形成された主変位部と、積層方向の両端において前記主変位部より低電圧印加時の変位が小さい材料で形成された応力緩和部と、を有し、
前記活性部における前記圧電セラミックス層の厚さはそれぞれ同じであることを特徴とする圧電素子。 - 前記主変位部は、前記活性部全体の40%以上60%以下の体積を占めることを特徴とする請求項1記載の圧電素子。
- 前記主変位部は、前記応力緩和部の圧電セラミックス層の材料に対して、静特性が大きく、かつ最大駆動電圧印加時のd33が概略一致する材料で圧電セラミックス層が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電素子。
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