JP6524467B2 - 圧電アクチュエータおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1、2は、それぞれ圧電アクチュエータ100の斜視図、断面図である。図1に示すように、圧電アクチュエータ100は、バイモルフ型の圧電アクチュエータであって、電圧の印加により屈曲運動する。圧電アクチュエータ100は、圧電アクチュエータ本体105、第1樹脂層140および第2樹脂層150を備えている。圧電アクチュエータ100は、編機用選針装置として繊維機械に使用できる。
圧電アクチュエータ100の製造方法の一例を説明する。まず、電極が両主面に設けられた素子本体を有する圧電素子を準備する。圧電セラミックス材料としてチタン酸ジルコン酸鉛系(PZT)の圧電材料を秤量し、溶剤およびバインダ等を加えてボールミル等で混合し、スラリーを作製する。そして、得られたスラリーを用いて、例えばドクターブレード法やカレンダロール法により、焼成後の収縮を考慮した所定の厚さのグリーンシートに成形する。
上記の製造方法により、長さ60mm、幅20mmの圧電アクチュエータの試料を作製した。圧電素子の厚さは180μm、振動板の厚さは100μmとした。圧電材料にはジルコン酸チタン酸鉛−マグネシウムニオブ酸鉛系を用い、振動板にはSUSを用いた。
105 圧電アクチュエータ本体
110 振動板
120、130 圧電素子
121、131 素子本体
122、123、132、133 外部電極
140 第1樹脂層
150 第2樹脂層
210、220、230 リード線
Claims (6)
- 電圧の印加により屈曲運動する圧電アクチュエータであって、
金属製の振動板、および前記振動板の主面上に設けられ、素子本体の両主面に電極が設けられた圧電素子を有する圧電アクチュエータ本体と、
前記圧電アクチュエータ本体を被覆し、ショアA硬度が100°以上である第1樹脂層と、
前記第1樹脂層を被覆し、ショアA硬度が80°以下である第2樹脂層と、を備えることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第2樹脂層は、アクリル系またはエポキシ系の硬化樹脂からなることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第2樹脂層は、アクリル系の紫外線硬化樹脂からなることを特徴とする請求項2記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第2樹脂層の厚さは、10μm〜50μmであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第2樹脂層の材料は、硬化後の伸び率が50%以上であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 電圧の印加により屈曲運動する圧電アクチュエータの製造方法であって、
電極を両主面に設けた素子本体を有する圧電素子を、金属製の振動板の主面上に接着して圧電アクチュエータ本体を作製する工程と、
前記圧電アクチュエータ本体の表面に、硬化時にショアA硬度100°以上となる第1樹脂を塗布する工程と、
前記第1樹脂の表面に硬化時にショアA硬度80°以下となる第2樹脂をスクリーン印刷する工程と、を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
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