JP6381246B2 - 圧電素子およびその製造方法 - Google Patents
圧電素子およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6381246B2 JP6381246B2 JP2014061394A JP2014061394A JP6381246B2 JP 6381246 B2 JP6381246 B2 JP 6381246B2 JP 2014061394 A JP2014061394 A JP 2014061394A JP 2014061394 A JP2014061394 A JP 2014061394A JP 6381246 B2 JP6381246 B2 JP 6381246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- site
- piezoelectric element
- green sheet
- end region
- ratio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
図1(a)は、圧電素子100の側断面図である。図1(b)、(c)は、圧電素子100の平断面図である。図1(b)、(c)は、図1(a)における断面1b、1cによる断面図となっている。圧電素子100は、内部電極102a、102bと圧電セラミックス層101とが交互に積層されて形成されている。圧電素子100の対向する側面には、内部電極102a、102bが一層おきに露出している。
上記のように構成された圧電素子100の製造方法を説明する。まず、中央領域用の配合と、その配合に対してAサイト/Bサイト比が小さい端部領域用の配合を算出し、それぞれ秤量する。中央領域用の配合より端部領域用の配合の方が1%以上3%以下の割合で小さいことが好ましい。
上記の製造方法で圧電素子を作製した。得られた圧電素子をSUS金属ケースに封止し、温度120℃、DC150Vの条件で耐久性試験を行なった。各圧電素子は、中央領域用にAサイト/Bサイト比1.00の30μmシートを用い、端部領域用にAサイト/Bサイト比を振った30μmシートを積層し、1100℃で焼成した。図3は、各条件で耐久試験を行った結果を示すグラフである。
101 圧電セラミックス層
101a 中央領域
101b 端部領域
102a 内部電極
103 電極ペースト
103a 外部電極
104 保護層
111a 中央領域用のグリーンシート
111b 端部領域用のグリーンシート
112 電極ペースト
Claims (6)
- PZT系の圧電セラミックスおよびAgを含む電極材料が用いられた圧電素子であって、
電圧が印加される内部電極と、
前記内部電極と交互に積層された圧電セラミックス層と、を備え、
前記圧電セラミックス層は、中央領域のAサイト/Bサイト比に対して、前記内部電極に近い端部領域のAサイト/Bサイト比が、1%以上3%以下の割合で小さい組成で形成されていることを特徴とする圧電素子。 - 前記中央領域のAサイト/Bサイト比に対して、前記端部領域のAサイト/Bサイト比は、2%の割合で小さいことを特徴とする請求項1記載の圧電素子。
- 前記端部領域は、前記内部電極から20μmの範囲内であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電素子。
- PZT系の圧電セラミックスが用いられた圧電素子の製造方法であって、
所定の配合の圧電セラミックスを含む中央領域用のグリーンシートを作製する工程と、
前記所定の配合に対してAサイト/Bサイト比が小さい配合の圧電セラミックスを含む端部領域用のグリーンシートを作製する工程と、
前記端部領域用のグリーンシートにAgを含む電極ペーストを印刷する工程と、
前記各グリーンシートを積層、圧着し、成形体を作製する工程と、
前記成形体を焼成する工程と、を含み、
前記中央領域用のグリーンシートのAサイト/Bサイト比に対して、前記端部領域用のグリーンシートのAサイト/Bサイト比は、1%以上3%以下の割合で小さいことを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 前記中央領域用のグリーンシートのAサイト/Bサイト比に対して、前記端部領域用のグリーンシートのAサイト/Bサイト比は、2%の割合で小さいことを特徴とする請求項4記載の圧電素子の製造方法。
- 前記端部領域用のグリーンシートは、厚み25μm以上に作製することを特徴とする請求項4または請求項5記載の圧電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014061394A JP6381246B2 (ja) | 2014-03-25 | 2014-03-25 | 圧電素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014061394A JP6381246B2 (ja) | 2014-03-25 | 2014-03-25 | 圧電素子およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015185711A JP2015185711A (ja) | 2015-10-22 |
JP6381246B2 true JP6381246B2 (ja) | 2018-08-29 |
Family
ID=54351917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014061394A Active JP6381246B2 (ja) | 2014-03-25 | 2014-03-25 | 圧電素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6381246B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4593912B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2010-12-08 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびその製法、並びに噴射装置 |
WO2006038389A1 (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd | 圧電体磁器組成物及び圧電セラミック電子部品 |
KR101051527B1 (ko) * | 2007-02-07 | 2011-07-22 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 압전 자기 및 압전 소자 |
CN102132433B (zh) * | 2008-08-28 | 2013-11-06 | 京瓷株式会社 | 层叠型压电元件、喷射装置以及燃料喷射系统 |
-
2014
- 2014-03-25 JP JP2014061394A patent/JP6381246B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015185711A (ja) | 2015-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6470228B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP4843948B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP4930410B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
KR101620296B1 (ko) | 적층형 압전 세라믹 소자 | |
JP4635439B2 (ja) | 積層型圧電体素子及びその製造方法 | |
CN106340385B (zh) | 多层陶瓷电子组件 | |
JP2007019420A (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP6381246B2 (ja) | 圧電素子およびその製造方法 | |
JP5200331B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP4670260B2 (ja) | 積層型電子部品 | |
JP2007188963A (ja) | 導電ペースト及びそれを用いた積層型セラミック素子の製造方法 | |
JP2011009269A (ja) | 圧電材料、積層型圧電素子及びその製造方法、ユニット接合積層型圧電素子 | |
JP2009246105A (ja) | 積層コンデンサ | |
JP5890676B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
JP2014093516A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
JP5409703B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP2010199271A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 | |
JP6035773B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
JP6159986B2 (ja) | 圧電素子 | |
JP5103859B2 (ja) | 積層圧電セラミックス素子及びその製造方法 | |
KR20140077347A (ko) | 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법 | |
JP2010171360A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 | |
JP2010199272A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 | |
JP5855509B2 (ja) | 圧電/電歪膜型素子及び圧電/電歪膜型素子を製造する方法 | |
JP2009130151A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20160415 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180703 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180731 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6381246 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |