JP2014072329A - 圧電素子の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 6
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 15
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 8
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 4
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 208000013201 Stress fracture Diseases 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
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Abstract
【解決手段】圧電セラミックス層101と一層おきに外部電極103a、103bに接続された内部電極102a、102bとが交互に積層された圧電素子100の製造方法であって、圧電セラミックスのグリーンシートに、電極ペーストを塗布する工程と、電極ペーストが塗布されたグリーンシートを積層し積層成形体に成形する工程と、積層成形体を脱脂し、電極ペーストに含まれる電極材料の固相線から液相線の温度範囲で焼成する工程と、を含む。これにより、活性層104の不活性層近傍の領域104bに電極拡散の勾配が生じ、変位量にも勾配が生じるため、活性層104と不活性層105との境界に生じる応力を緩和することができる。
【選択図】図1
Description
図1は、圧電素子100を示す正断面図である。図1に示すように、圧電素子100は、積層型の圧電素子であり、圧電セラミックス層101と内部電極102a、102bとが交互に積層されている。圧電セラミックス層101は、PZT等の圧電セラミックスで形成されており、予め分極されている。内部電極102a、102bは、Ag、Pd、Pt、Au、Cu、Ni等やこれらの合金で形成されており、一層おきに外部電極103a、103bに接続されている。ただし、焼成温度を考慮すると、上記の材料のうち、Ag−Pdが好ましく、特に60:40から95:5までのいずれかの比で構成されたAg−Pdが好ましい。また、70:30から90:10までのいずれかの比で構成されたAg−Pdであればさらに好ましい。圧電素子100は、外部電極103a、103bを介して内部電極102a、102bへ電圧を印加することで伸縮する。
上記の圧電素子100の製造方法を説明する。まず、予め秤量、混合し、仮焼、粉砕等を経て所望の圧電セラミックスの粉末を準備する。圧電セラミック粉末は、PZTで形成されていることが好ましい。その圧電セラミックスの粉末に有機媒体を混合してスラリーを作製し、ドクターブレード等で圧電セラミックスのグリーンシートを製造する。
101 圧電セラミックス層
102a、102b 内部電極
103a、103b 外部電極
104 活性層
104a 中央領域
104b 不活性層近傍の領域
105 不活性層
Claims (3)
- 圧電セラミックス層と一層おきに外部電極に接続された内部電極とが交互に積層された圧電素子の製造方法であって、
圧電セラミックスのグリーンシートに、電極ペーストを塗布する工程と、
前記電極ペーストが塗布されたグリーンシートを積層し積層成形体に成形する工程と、
前記積層成形体を脱脂し、前記電極ペーストに含まれる電極材料の固相線から液相線の温度範囲で焼成する工程と、を含むことを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 前記電セラミックスは、PZTで形成されており、
前記電極材料は、60:40から95:5までのいずれかの比で構成されたAg−Pdであることを特徴とする請求項1記載の圧電素子の製造方法。 - 前記グリーンシートの厚みは、60μm以上であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012216585A JP2014072329A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 圧電素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012216585A JP2014072329A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 圧電素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014072329A true JP2014072329A (ja) | 2014-04-21 |
Family
ID=50747288
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012216585A Pending JP2014072329A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 圧電素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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2012
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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