JP2013118229A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 筐体内で被搬送物を搬送する搬送装置であって、
   前記筐体内部において第１方向へ気流を発生させる第１送風部と、
   前記第１送風部により発生された気流の下流側に設けられ、前記筐体内部と連通し、前記筐体内部の気体を前記筐体外へ排気する排気口と、
   筐体内に配置された第１駆動機構により支持され、前記第１送風部よりも下流側かつ前記排気口よりも上流側の前記筐体内を移動する移動部と、
   前記移動部に設けられ、前記被搬送物を載置するエンドエフェクタと、
   前記移動部に設けられ、前記第１方向へ気流を発生させる第２送風部と、
   を備え、
   前記第２送風部は、
   両端が開口された筒状の本体部と、
   前記本体部の内側に沿って形成され前記第１方向へ気体を噴出する噴出部と、
   を有し、
   前記本体部の中心軸が前記第１方向に向くように、かつ、前記第１方向からみて前記本体部の開口の内側に前記エンドエフェクタが位置するように、前記移動部に設けられている搬送装置。
2. 前記第２送風部は、前記第１方向に伸縮可能な第２駆動機構によって前記移動部に支持されている請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させる場合と、前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させた状態で移動させる場合とで、前記第２送風部と前記エンドエフェクタとの相対位置を変更するように前記第２駆動機構の動作を制御する制御部を備える請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記制御部は、前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させて移動させる場合には、前記第２送風部の内部に前記エンドエフェクタが収容される位置まで前記第２送風部を移動させるように前記第２駆動機構の動作を制御する請求項３に記載の搬送装置。
5. 前記第２送風部の下流側の前記筐体内壁に、前記排気口を囲むように設けられた筒状の第２ダクト部材を備える請求項１〜４の何れか一項に記載の搬送装置。
6. 前記第２ダクト部材は、前記第１方向からみた前記移動部の移動経路に沿って設けられている請求項５に記載の搬送装置。
7. 前記第２送風部は、前記第１送風部により発生させる気流よりも速い気流を発生させる請求項１〜６の何れか一項に記載の搬送装置。
8. 前記排気口の上流側にガスを吸着するフィルタを備える請求項１〜７の何れか一項に記載の搬送装置。
9. 前記筐体内部は、前記被搬送物を処理室へ搬入出するために設けられたロードロック、及び前記被搬送物を収容する収容ボックスと連通されている請求項１〜８の何れか一項に記載の搬送装置。
10. 前記第１駆動機構は、前記移動部を前記第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向のそれぞれに沿ってスライド移動させる請求項１〜９の何れか一項に記載の搬送装置。
11. 前記第１駆動機構は、
    前記第２方向沿って延びる第１レールと、
    前記第１レールに配置された門型フレームと、
    前記門型フレームを前記第１レールに沿ってスライド移動させる第１スライド駆動機構と、
    前記門型フレームに形成され、前記第１方向へ延びる第２レールと、
    前記第２レールに配置された前記移動部を前記第２レールに沿ってスライド移動させる第２スライド駆動機構と、
    を備える請求項１０に記載の搬送装置。
12. 筐体内で基板を搬送する搬送装置と、
    前記搬送装置により搬送された基板を処理する処理室と、を備える基板処理システムであって、
    前記搬送装置は、
    前記筐体内部において第１方向へ気流を発生させる第１送風部と、
    前記第１送風部により発生された気流の下流側に設けられ、前記筐体内部と連通し、前記筐体内部の気体を前記筐体外へ排気する排気口と、
    筐体内に配置された第１駆動機構により支持され、前記第１送風部よりも下流側かつ前記排気口よりも上流側の前記筐体内を移動する移動部と、
    前記移動部に設けられ、前記基板を載置するエンドエフェクタと、
    前記移動部に設けられ、前記第１方向へ気流を発生させる第２送風部と、
    を備え、
    前記第２送風部は、
    両端が開口された筒状の本体部と、
    前記本体部の内側に沿って形成され前記第１方向へ気体を噴出する噴出部と、
    を有し、
    前記本体部の中心軸が前記第１方向に向くように、かつ、前記第１方向からみて前記本体部の開口の内側に前記エンドエフェクタが位置するように、前記移動部に設けられている基板処理システム。