JP2010533970A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 長方形状又は四角形状の損傷しやすいプレートである平面状の基板を搬送路に沿って搬送する非接触型搬送装置において、
   前記搬送路（３）の両側に所定の間隔をもって複数のベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）を配置し、
   搬送される前記基板（１）が前記搬送路（３）の両側おける前記ベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）をそれぞれ部分的に覆うよう構成し、
   前記基板（１）の搬送のために、前記搬送路（３）の両側における前記ベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）を、それぞれ左回り又は右回りに回転する気体流（５，６）を生成するよう構成し、
   前記搬送路（３）の両側に機械的な側方案内部材を設けた
   ことを特徴とする非接触型搬送装置。
2. 前記側方案内部材を、複数のレール又は複数の画成枠を備える構成としたことを特徴とする請求項１記載の非接触型搬送装置。
3. 右回り又は左回りに回転する気体流（５，６）を形成するために、前記搬送路（３）に沿った両側において、右回りに回転する気体流を発生させる前記ベルヌーイチャックと左回りに回転する気体流を発生させる前記ベルヌーイチャックを交互に配置したことを特徴とする請求項１又は２記載の非接触型搬送装置。
4. 前記各ベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）を、右回りと左回りのいずれかの気体流（５；６）に切換可能に形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の非接触型搬送装置。
5. 前記搬送路（３）の終端部における前記ベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）については、他の前記ベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）とは逆方向の気体流を生成するよう構成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の非接触型搬送装置。
6. 前記ベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）を鍋状に形成するとともに、該ベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）の内壁部（７）に、圧縮空気その他の気体を接線方向に供給するための少なくとも１つの気体流出部（８）を設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の非接触型搬送装置。
7. 上方へ向いたらせん状に回転する気体流（５，６）を発生させるために、前記気体流出部（８）を、開口部方向すなわち前記基板（１）方向へわずかに傾斜させて設けたことを特徴とする請求項６記載の非接触型搬送装置。
8. 前記搬送路（３）の両側それぞれにおける前記各ベルヌーイチャック（２ａ，２ｂ）の内壁部（７）に、他方の側と互いに対向し、かつ、同方向に向いた気体流出部（８）を設けたことを特徴とする請求項６又は７記載の非接触型搬送装置。
9. 前記内壁部（７）に、互いに逆方向に回転する気体流を発生させる一対の気体流出部（８）を設けたことを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の非接触型搬送装置。