JP2005191464A - アライメント機構およびウェハ搬送ハンド - Google Patents
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Abstract
【課題】 ウェハが気流の負圧によって捕捉されているため、ウェハを回転させるのに十分な押圧力だけでウェハを押し付ける。このため、ウェハに損傷を与えずに、ウェハの回転方向の位置決めを行うことのできる
【解決手段】 エア吐出口12から吐出されるエアによる旋回流によってウェハWがウェハ搬送ハンド10に捕捉された後、スライダ13を矢示a1方向に移動させてウェハWの平面方向への移動を規制する。その際、回転ローラ14からウェハWには、ウェハWを回転させるのに必要な僅かな押圧力が加えるだけで済む。
【選択図】 図3
【解決手段】 エア吐出口12から吐出されるエアによる旋回流によってウェハWがウェハ搬送ハンド10に捕捉された後、スライダ13を矢示a1方向に移動させてウェハWの平面方向への移動を規制する。その際、回転ローラ14からウェハWには、ウェハWを回転させるのに必要な僅かな押圧力が加えるだけで済む。
【選択図】 図3
Description
本発明は、半導体製造工程においてウェハの回転方向の位置決め(アライメント)に用いて好適なアライメント機構およびウェハ搬送ハンドに関する。
一般に、半導体の製造工程においては、ウェハカセット内に階層状に収納された複数枚のウェハを、露光装置などの処理装置に搬送するウェハ搬送作業が必要となる。このウェハ搬送作業を行うのがウェハ搬送装置である。一方、ウェハは、基準位置に対して回転方向に位置決めした上で処理装置に搬入される。この位置決めを行うのがアライナ装置であり、一般には処理装置内に組み込まれている。ところで、ウェハの回転方向における位置決めは、ウェハWの結晶方向に合わせて予め形成されたノッチNを目印にして行われている(図8参照)。または、図9に示すウェハW´のように、オリエンテーションフラットO(以下、「オリフラ」という)が形成されているものもある。
ウェハの回転方向を位置決めする方法には、上述のように、ウェハ搬送装置によりウェハカセットから一枚ずつ取り出されたウェハを、処理装置に隣設されたアライナ装置により位置決めする方法が一般的であるが、この方法では、搬送工程の途中にアライナ装置が設置されているため、アライナ装置のためのスペースが必要となり、装置全体が大型化してしまう。さらに、ウェハの搬送時間とは別個にアライナ装置によるアライメント時間が必要となり、製造効率を悪化させるという問題があった。
これらの問題を解消したものとして、ウェハカセットから処理装置へウェハを搬送する間にウェハの位置決めを行うウェハ搬送装置がある(特許文献1、参照)。このウェハ搬送装置は、図10に示すように、周面に環状凹部が形成されたローラ状の可動爪51と固定爪52がウェハの外周側に位置するように設けられたウェハ搬送ハンド50を備えている。この可動爪51は、固定爪52との距離を変化させると共に、駆動源により回転駆動される。
このウェハ搬送ハンド50は、ウェハWの外周に位置した爪51,52のうち、可動爪51を移動させて爪51,52間を縮めることにより、ウェハWを挟み込む。この際、ウェハWは、爪51,52によってしっかりと把持されるため、その把持力は3N〜7.5N程度となっていた(非特許文献1、参照)。そして、ウェハ搬送ハンド50は、ウェハWをウェハカセットから処理装置に搬送する間に、可動爪51により当該ウェハWを回転させて回転方向の位置決めを行っていた。このウェハ搬送ハンド50では、爪51,52間でウェハWを脱落しないように把持するため、比較的大きな力で把持しなければならず、極薄(例えば、200μm以下)のウェハWに過度な力が加わり、ウェハWが湾曲したり、欠損を来したりすることがあった。
また、ウェハ搬送ハンド50に設けられた可動爪51は、ウェハWを確実に把持するため外周に環状凹部を有する形状となっている。ウェハWは、このような可動爪51に強い力で把持された状態で回転させられるので、ウェハW外周と爪51,52との間に生じる摩擦が大きく、これにより摩耗粉が発生してしまう。この摩耗粉が付着したウェハWは不良の原因となり、製品の歩留まりを悪化させる要因となっていた。
一方、アライナ装置においても、ウェハを径方向外側から掴んだ上で当該ウェハを回転させて位置決めを行うなど、比較的強い力で機械的に把持して位置決めを行う構成であったため、前述したウェハ搬送ハンドと同様に、ウェハWの湾曲、欠損あるいは摩耗粉の発生という問題があった。
特開2003−218183号公報
「株式会社近藤製作所 シリコンウエハ・液晶ガラス搬送用ハンドカタログ」(松葉型ウエハハンドWHA−200AS,WHA−300AS)
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、ウェハに損傷を与えずに、ウェハの回転方向の位置決めを行うことのできるアライメント機構を提供することを目的とする。また、本発明は、ウェハに損傷を与えることなく、その回転方向の位置決めを搬送中に完了することができるウェハ搬送ハンドを提供することを目的とする。
前述した課題を解決するために、本発明が提供するアライメント機構は、気流によりウェハを非接触状態で捕捉するウェハ捕捉手段と、前記ウェハ補足手段によって非接触状態で捕捉されたウェハを回転させるウェハ回転手段と、前記ウェハ回転手段によって回転されるウェハに対し、その外周側の形状を検出し、この検出結果に基づいて前記ウェハの回転方向の位置決めを行うウェハ位置決め手段とを備えたことを特徴とする。
前記ウェハ回転手段は、前記ウェハの側面に接触して回転する回転ローラを有することが好ましい。
前記回転ローラを前記ウェハの側面に押圧状態で接触させるとともに、前記回転ローラを前記側面から離間させる移動手段と、前記回転ローラが押圧状態で接触することによる前記ウェハの移動を前記ウェハの側面に接することにより規制する停止部とを備えることが好ましい。
前記移動手段は流体圧により前記回転ローラを押圧することにより、前記押圧状態を作ることが好ましい。
前記回転ローラを前記ウェハの側面に押圧状態で接触させるとともに、前記回転ローラを前記側面から離間させる移動手段と、前記回転ローラが押圧状態で接触することによる前記ウェハの移動を前記ウェハの側面に接することにより規制する停止部とを備えることが好ましい。
前記移動手段は流体圧により前記回転ローラを押圧することにより、前記押圧状態を作ることが好ましい。
前述した課題を解決するために、他の発明が提供するウェハ搬送ハンドは、前記アライメント機構を備えたことを特徴とする。
本発明によるアライメント機構は、負圧によって非接触状態で捕捉されたウェハを、ウェハ回転手段によって回転させることによって回転方向の位置決めが行われる。このウェハ回転手段は、ハンド本体から浮いた状態で捕捉されたウェハを回転させるのに必要な押圧力だけで押し付けられるため、ウェハには、余分な力が加わることなく、ウェハの欠損を防止でき、延いてはウェハの保護を図ることができる。
また、本発明によるウェハ搬送ハンドは、前記アライメント機構による効果に加えて、ウェハを搬送する間にウェハの回転方向の位置決めを行うことができるため、搬送時間にアライメント時間が含まれ、時間の浪費をなくすことができる。
以下、本発明における実施形態について図面を参照して説明する。
<実施形態>
本発明の実施形態に係るウェハ搬送装置100について、図1乃至7に基づいて説明する。
本実施形態では、便宜上、円板状のウェハの軸線に直交する方向に移動して位置合わせすることを、「平面方向の位置決め」といい、ウェハを回転させて基準位置(ノッチN)に合わせることを、「回転方向の位置決め」という。
<実施形態>
本発明の実施形態に係るウェハ搬送装置100について、図1乃至7に基づいて説明する。
本実施形態では、便宜上、円板状のウェハの軸線に直交する方向に移動して位置合わせすることを、「平面方向の位置決め」といい、ウェハを回転させて基準位置(ノッチN)に合わせることを、「回転方向の位置決め」という。
(1)ウェハ搬送装置100の構成
図1はウェハ搬送装置100の全体構成である。
図示の如く、ウェハ搬送装置100は、ロボットのアーム(いずれも図示せず)先端に設けられたウェハ搬送ハンド10および制御部101を具備している。制御部101は、CPU、ROM(Read Only Memory)およびRAM(Random Access Memory)(いずれも図示せず)を具備しており、CPUはROMから読出した制御プログラムを実行することにより、後述する種々の処理を行う。RAMは、CPUが各種制御プログラムを実行する際のワークエリアとして用いられる。
図1はウェハ搬送装置100の全体構成である。
図示の如く、ウェハ搬送装置100は、ロボットのアーム(いずれも図示せず)先端に設けられたウェハ搬送ハンド10および制御部101を具備している。制御部101は、CPU、ROM(Read Only Memory)およびRAM(Random Access Memory)(いずれも図示せず)を具備しており、CPUはROMから読出した制御プログラムを実行することにより、後述する種々の処理を行う。RAMは、CPUが各種制御プログラムを実行する際のワークエリアとして用いられる。
(2)ウェハ搬送ハンド10の構成
図2および図3はウェハ搬送ハンド10の外観図を示した図である。
図示の如く、ウェハ搬送ハンド10は、先端が二股に分かれたフォーク状の板体で形成されたハンド本体11と、このハンド本体11に設けられたエア吐出口12,12,…、スライダ13、回転ローラ14,14、スライダ移動部15、掛止部16,16、ウェハ検出センサ17、位置検出センサ18等を具備して構成されている。このウェハ搬送ハンド10は、アームの動作に従って、ウェハカセット200に収納されている複数のウェハWを1枚ずつ抜き出して保持するものである。
図2および図3はウェハ搬送ハンド10の外観図を示した図である。
図示の如く、ウェハ搬送ハンド10は、先端が二股に分かれたフォーク状の板体で形成されたハンド本体11と、このハンド本体11に設けられたエア吐出口12,12,…、スライダ13、回転ローラ14,14、スライダ移動部15、掛止部16,16、ウェハ検出センサ17、位置検出センサ18等を具備して構成されている。このウェハ搬送ハンド10は、アームの動作に従って、ウェハカセット200に収納されている複数のウェハWを1枚ずつ抜き出して保持するものである。
ここで、各エア吐出口12は、図3に示すように、ハンド本体11の二股の起端側から先端側に掛けて略等間隔に3個ずつ形成されている。これらのエア吐出口12は、図示しない管路を介して供給される所定圧のエアを外部に向けて吐出する口となるものである。ウェハWに向けて吐出されたエアは、旋回流となって外周側が正圧、中心部が負圧となる。ウェハWは、ベルヌーイ効果の如く、発生した正圧および負圧により、ウェハ搬送ハンド10のハンド本体11から所定寸法を離間して非接触状態で捕捉される。この場合、ウェハWは、ハンド本体11に対して所定寸法を離間した状態で捕捉されるものの、ハンド本体11にほぼ平行する平面方向へのウェハWの移動は規制されていない。
次に、スライダ13は、図3に示すように、スライダ移動部15に供給されるエアによって矢示a1,a2方向に移動可能となる。スライダ移動部15は、シリンダ15Aと、シリンダ15A内を2つの部屋に画成して摺動しつつ移動するピストン15Bと、ピストン15Bに設けられたロッド15Cとを具備したエアシリンダによって構成されている。このスライダ移動部15は、シリンダ15A内のいずれかの部屋にエアを供給することにより、ピストン15Bをシリンダ15Aの軸方向に移動させ、これに伴いロッド15Cの先端に取り付けられたスライダ13を移動させるようになっている。
スライダ13には一対の回転ローラ14が設けられ、図3中の矢示bのように、これらの回転ローラ14は回転モータ14Aにより時計回りあるいは反時計回りに回転する。回転モータ14Aは制御部101からの信号によって駆動制御されるものである。回転ローラ14は、例えばゴム、樹脂等の半導体を汚染させない弾性材料(例えば、パーフロロエラストマ等)によって円筒状に形成されており、ウェハWに対しては静止状態では点接触となる(図7参照)。なお、ウェハWの端面は、一般的な製造規格として面取りされることになっている。
各掛止部16は、ハンド本体11の先端部に立設される棒状体からなり、回転ローラ14との間に位置するウェハWの平面方向への移動を規制するものである。この場合、ウェハWは、エア吐出口12から吐出される旋回流によって非接触状態で既に捕捉されているから、回転ローラ14がウェハWに与える力はウェハWの脱落を防止するほどの力は要せず、極めて微力なものでよい。本実施形態の場合は、回転ローラ14はウェハWを回転させる機能を持つが、この回転付与に要する力を考慮しても極めて微弱な力ですむ。例えば、1.2N程度でよい。なお、掛止部16をハンド本体11に立設された軸部に遊嵌された回転自在なローラとして構成してもよい。
ウェハ検出センサ17は、光学式センサ(例えば、反射型のフォトインタラプタ)であり、ハンド本体11の起端部に設けられている。このウェハ検出センサ17は、ウェハWがウェハ搬送ハンド10に捕捉されたことを検出するものである。
位置検出センサ18は、光学式センサ(例えば、透過型のフォトインタラプタ)であり、スライダ13の端部に設けられている。この位置検出センサ18は、投光側と受光側との間にウェハWの端が挟み込まれるようになっており、透過光の有無により位置検出を行うものである。制御部101では、位置検出センサ18からの光量の変化に対応した信号に基づき、ウェハWに形成されたノッチの位置を認識する。
(3)エアによる動作
次に、本実施形態に用いられる空圧回路の概略を、図4を参照しつつ説明する。
エアポンプ30で発生したエアは、2系路に分かれて供給される。一方の系路は、減圧弁(レギュレータ)31、電磁切換弁32およびエア吐出口12からなり、他方の系路は、減圧弁35、電磁切換弁36およびスライダ移動部15からなる。
次に、本実施形態に用いられる空圧回路の概略を、図4を参照しつつ説明する。
エアポンプ30で発生したエアは、2系路に分かれて供給される。一方の系路は、減圧弁(レギュレータ)31、電磁切換弁32およびエア吐出口12からなり、他方の系路は、減圧弁35、電磁切換弁36およびスライダ移動部15からなる。
一方の経路は、ウェハWを非接触状態で捕捉するためのものであり、制御部101からエア吐出の指令が電磁切換弁32に発せされると、電磁切換弁32が位置(イ)から位置(ロ)に切換わり、減圧弁31から所定の圧力に設定されたエアがエア吐出口12に供給される。また、ウェハWを解放する場合は、制御部101からエア吐出停止の指令が電磁切換弁32に発せられ、電磁切換弁32が位置(ロ)から位置(イ)に切換わり、エア吐出口12へのエアの供給が停止される。
他方の経路は、スライダ13を矢示a1方向に移動させるためのものであり、制御部101からエア吐出の指令が電磁切換弁36に発せられると、電磁切換弁36が位置(イ)から位置(ロ)に切換わり、減圧弁35で所定の圧力に設定されたエアがシリンダ15Aの一方の部屋に供給される。これにより、ピストン15Bおよびロッド15Cが外側に押し出され、スライダ13が矢示a1方向に移動する。一方、スライダ13を停止させるために、制御部101からエア吐出停止の指令が電磁切換弁36に発せられると、電磁切換弁36は位置(ロ)から位置(イ)に切換わり、シリンダ15Aの一方の部屋へのエア供給が停止される。これにより、ピストン15Bおよびロッド15Cが外側に押し出されるのが中止され、この位置でスライダ13が停止する。また、スライダ13を矢示a2方向に移動させる場合は、制御部101からエア吐出の指令が電磁切換弁36に発せられ、電磁切換弁36は位置(イ)から位置(ハ)に切換わり、減圧弁35で所定の圧力に設定されたエアがシリンダ15Aの他方の部屋に供給される。これにより、ピストン15Bおよびロッド15Cが内側に戻され、スライダ13が矢示a2方向に移動する。
このように、スライダ移動部15は、ロッド15Cの往きと帰りの両方が空気圧の力によって動作する復動型シリンダによって構成されている。
このように、スライダ移動部15は、ロッド15Cの往きと帰りの両方が空気圧の力によって動作する復動型シリンダによって構成されている。
(4)ウェハの搬送処理動作
図5および図6を参照しつつ、本実施形態によるウェハ搬送装置の動作を説明する。図5は制御部101によって動作制御される内容を示すフローチャート、図6はウェハ搬送ハンド10によるウェハWの保持段階を示す動作説明図である。
図5および図6を参照しつつ、本実施形態によるウェハ搬送装置の動作を説明する。図5は制御部101によって動作制御される内容を示すフローチャート、図6はウェハ搬送ハンド10によるウェハWの保持段階を示す動作説明図である。
まず、搬送処理に先立ち、エアポンプ30を駆動して各系路にエアを供給する。ロボットはアームを動かし、ウェハカセット200に配置されるウェハWを搬送するために、ウェハ搬送ハンド10をウェハカセット200に挿入する。この際、ウェハ搬送ハンド10とウェハWとの関係は、図6(a)のようになる。
そこで、制御部101は、電磁切換弁32を位置(イ)から位置(ロ)に切換える信号を電磁切換弁32に出力し、この電磁切換弁32の動作により、エア吐出口12からエアを吐出する(ステップS1)。これにより、ウェハWに各エア吐出口12から吐出されるエアによって発生した旋回流により、ウェハ搬送ハンド10側に吸い寄せられ、所定寸法を離間した非接触状態でウェハWがウェハ搬送ハンド10に捕捉される(図6(b)参照)。
制御部101は、ウェハ検出センサ17からの信号に基づいて、ウェハWがウェハ搬送ハンド10に捕捉されたか否かを判定する(ステップS2)。ウェハWが捕捉されたことを検出した場合には、制御部101は、電磁切換弁36を位置(イ)から位置(ロ)に切換える信号を電磁切換弁36に出力し、図6(b)に示すように、スライダ13を矢示a1方向に移動させる(ステップS3)。
その後、制御部101は、図6(c)に示すように、捕捉されたウェハWの平面方向への位置決めが完了したか否かを判定する(ステップS4)。この判定は、回転ローラ14がウェハWに接触したことを検知するセンサ(図示せず)からの信号による判定、あるいは予め決めた時間だけスライダ13を移動させる時間の判定等によって行う。
ウェハWの平面方向への位置決めが完了した場合には、制御部101は、電磁切換弁36を位置(ロ)から位置(イ)に切換える信号を電磁切換弁36に出力し、スライダ13の矢示a1方向への移動を停止する(ステップS5)。これにより、スライダ13と掛止部16との間には、ウェハWの平面方向への移動が規制された状態となり、ウェハWはウェハ搬送ハンド10に保持されたことになる。この場合、回転ローラ14はウェハを把持していないため、ウェハWにはウェハWを回転させるのに十分な押圧力(例えば、1.2N)のみが加わることになる。
制御部101は、回転モータ14Aに駆動信号を送信して回転ローラ14を矢示b方向に回転させ(ステップS6)、ウェハWの回転方向における位置決め処理を行う(ステップS7)。この回転方向の位置決め処理については、投光がノッチNを透過したことを位置検出センサ18が検出したときに、回転ローラ14の回転を止めてウェハWを停止させる処理を行う。
詳細については、特開平11−284055号公報の段落番号0032および0033に記載されているので、ここでは省略する。この処理によってウェハの回転方向の位置決めが完了すると、ウェハWの回転を停止すべく、回転モータ14Aの駆動を停止する。これにより、ウェハWは基準位置に位置決めされる。
詳細については、特開平11−284055号公報の段落番号0032および0033に記載されているので、ここでは省略する。この処理によってウェハの回転方向の位置決めが完了すると、ウェハWの回転を停止すべく、回転モータ14Aの駆動を停止する。これにより、ウェハWは基準位置に位置決めされる。
その後、ロボットのアームがウェハ搬送ハンド10を処搬送先である理回路へ移動させると(ステップS8)、制御部101は、電磁切換弁32を位置(ロ)から位置(イ)に切換える信号を電磁切換弁32に出力する。これにより、エア吐出口12からのエア吐出が停止される。同時に、制御部101は、電磁切換弁36を位置(イ)から位置(ハ)に切換える信号を電磁切換弁36に出力し、この電磁切換弁36の動作により、スライダ13が矢示a2方向に移動する(ステップS9)。この結果、ウェハ搬送ハンド10に捕捉されたウェハWが解放され、回転方向に位置決めされたウェハWは処理装置へ載置される。以上のようにして、搬送中にウェハWの回転方向の位置決めが終了する。
(5)実施形態の効果
このように、本実施形態によるウェハ搬送ハンド10では、ウェハWを気流によって非接触状態で捕捉した上でウェハWを回転させるので、回転ローラ14がウェアWを押す力は極めて僅かでよい。そして、この状態においてウェハWを回転させるので、ウェハの湾曲や欠損を防止することができる。一方、従来装置にあっては、ウェハWを脱落しないように把持するために、その把持力は必然的に強くなり、この状態でウェハWを回転させるために、摩耗の発生が著しかった。
このように、本実施形態によるウェハ搬送ハンド10では、ウェハWを気流によって非接触状態で捕捉した上でウェハWを回転させるので、回転ローラ14がウェアWを押す力は極めて僅かでよい。そして、この状態においてウェハWを回転させるので、ウェハの湾曲や欠損を防止することができる。一方、従来装置にあっては、ウェハWを脱落しないように把持するために、その把持力は必然的に強くなり、この状態でウェハWを回転させるために、摩耗の発生が著しかった。
また、本実施形態においては、ウェハWに加わる力が微弱なため、ウェハWと回転ローラ14、ウェハWと掛止部16との間の摩耗がほとんど発生せず、摩耗粉の発生を大幅に抑えることができる。よって、摩耗粉の発生による歩留まりの低下をおさえ、製造効率を向上させることができる。
さらに、図7に示すように、回転ローラ14は円筒状に形成されているため、測端面が面取りされたウェハWに対しては静止状態では点接触するようになる。したがって、回転ローラ14によりウェハWが回転した状態でも回転ローラ14とウェハWとは線接触となり、接触部位が著しく小さい。すなわち、両者は微弱な力で接し、かつ接触部位が著しく小さいという状況となり、両者間に発生する摩耗は著しく小さくなる。
また、本実施形態においては、回転ローラ14がウェハWを押圧する力を従来に比べて大幅に低減できるため、回転トルクを低減でき、回転ローラ14の回転速度を高めることが可能となり、ウェハWの回転方向への位置合わせの高速化を図ることができる。
さらに、回転トルクが小さくて済むので、回転ローラ14を駆動する回転モータ14Aの小型化、低消費電力化を図ることができる。
<変形例>
前記実施形態では、ウェハ搬送ハンド10下側でウェハWを捕捉する場合について述べたが、本発明によるウェハ搬送ハンド10は気流を用いてウェハを捕捉する構成となっている。このため、ウェハ搬送ハンド10の上側でウェハを捕捉することも、あるいはウェハWを垂直にした状態で捕捉することも可能となり、どの方向に向いたウェハでも搬送が可能となる。
前記実施形態では、ウェハ搬送ハンド10下側でウェハWを捕捉する場合について述べたが、本発明によるウェハ搬送ハンド10は気流を用いてウェハを捕捉する構成となっている。このため、ウェハ搬送ハンド10の上側でウェハを捕捉することも、あるいはウェハWを垂直にした状態で捕捉することも可能となり、どの方向に向いたウェハでも搬送が可能となる。
また、ハンド本体11の形状を、先端が二股状となったフォーク状としたものについて記載したが、ハンド本体の形状は長方形でもよく特に限定するものではない。さらに、エア吐出口12も6個形成した場合について述べたが、1個でもよく、数は任意である。また、回転モータ14Aを電気駆動としたが、エアモータによって構成してもよい。
前記実施形態では、ノッチNが形成されたウェハWについてウェハ搬送装置100を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図9に示すように、オリフラOが形成されたウェハW´に用いることも可能である。この際、図5に示す搬送処理(ステップS7)において、投光がオリフラOを透過してから遮蔽されるまでの間の回転量や時間を計測し、そこから逆算出してウェハW´を反転させ、計測した回転量や時間の中央位置で位置決めする等の処理を行えばよい。
前記実施形態では、スライダ13を動かすスライダ移動部15を複動型エアシリンダで構成した場合について記載したが、本発明はこれに限らず、往きは空気圧により、帰りはスプリングによる付勢圧により往復動させる単動型エアシリンダでよって構成してもよく、あるいは電動アクチュエータによって構成してもよいことは勿論である。
前記実施形態においては、回転ローラによってウェハに回転力を与えたが、回転力を与える手段はこれに限らない。例えば、ウェハ表面にウェハが回転する方向に気体を吐出し、これによって回転を与えてもよい。一例として、半径に直交する方向に気体を吐出するノズルを、時計回り用と反時計回り用に2種用意すれば、回転方向の切換えができ、また、両者の吐出流量のバランスを調整することで回転速度を調整することもできる。回転を与えるノズルは、ウェハ表面に正転用を位置させ、ウェハ裏面に反転用を位置させるようにしてもよい。
また、回転を与える他の方法としては、次ぎの方法がある。まず、ウェハを保持するためのエア突出口を一つにしてウェアの中心部で保持すれば、エア突出口からウェハ表面に放出される旋回流によりウェハは回転することが知られている。この回転力を利用してウェハを回転させることもできる。この場合、正逆双方の回転を行うには、例えば、ウェハ裏面の中心部に旋回流を突出させるエア突出口を設けて上下双方からウェハを保持するようにし、上側のエア突出口が正転用、下側のエア突出口が反転用というよう使用すれば、回転方向の切換え、および回転速度の調整を行うことができる。さらに、ウェハ中心部において旋回流を突出するエア突出口の周囲に複数のエア突出口を設け、ウェハの回転方向の位置決めが終了した後は、中心部のエア突出口に代えて(あるいは中心部のエア突出口とともに)、周囲の複数のエア吐出口を用いてウェハを補足するように構成してもよい。
前記実施形態では、ウェハ搬送装置100を構成するロボットのアームにウェハ搬送ハンド10を取り付けた場合について述べたが、本実施形態による回転位置決め機構は、ウェハ搬送ハンドへの適用に限らず、アライナ装置にも適用できることは勿論である。
10…ウェハ搬送ハンド、
11…ハンド本体、
12…エア吐出口、
13…スライダ、
14…回路ローラ、
14A…回転モータ、
15…スライダ移動部、
16…掛止部、
17…ウェハ検出センサ、
18…位置検出センサ、
100…ウェハ搬送装置、
101…制御部。
W…ウェハ
11…ハンド本体、
12…エア吐出口、
13…スライダ、
14…回路ローラ、
14A…回転モータ、
15…スライダ移動部、
16…掛止部、
17…ウェハ検出センサ、
18…位置検出センサ、
100…ウェハ搬送装置、
101…制御部。
W…ウェハ
Claims (7)
- 気流によりウェハを非接触状態で捕捉するウェハ捕捉手段と、
前記ウェハ補足手段によって非接触状態で捕捉されたウェハを回転させるウェハ回転手段と、
前記ウェハ回転手段によって回転されるウェハに対し、その外周側の形状を検出し、この検出結果に基づいて前記ウェハの回転方向の位置決めを行うウェハ位置決め手段と
を備えたことを特徴とするアライメント機構。 - 請求項1記載のアライメント機構において、
前記ウェハ回転手段は、前記ウェハの側面に接触して回転する回転ローラを有することを特徴とするアライメント機構。 - 請求項2に記載のアライメント機構において、
前記回転ローラを前記ウェハの側面に押圧状態で接触させるとともに、前記回転ローラを前記側面から離間させる移動手段と、
前記回転ローラが押圧状態で接触することによる前記ウェハの移動を前記ウェハの側面に接することにより規制する停止部とを備えたことを特徴とするアライメント機構。 - 請求項3記載のアライメント機構において、
前記移動手段は流体圧により前記回転ローラを押圧することにより、前記押圧状態を作ることを特徴とするアライメント機構。 - 請求項2〜4のうちいずれかに記載のアライメント機構において、
前記回転ローラを円筒状に形成したことを特徴とするアライメント機構。 - 請求項1〜5のうちいずれかに記載のアライメント機構を備えたことを特徴とするウェハ搬送ハンド。
- 請求項6記載のウェハ搬送ハンドにおいて、
前記ウェハ補足手段が取り付けられた板状のハンド本体を有し、
前記ハンド本体は先端が分岐したフォーク状の板体で形成されたことを特徴とするウェハ搬送ハンド。
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