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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6468848B2 (ja) * 2015-01-13 2019-02-13 株式会社ディスコ 搬送装置
JP6430870B2 (ja) * 2015-03-20 2018-11-28 東京エレクトロン株式会社 クランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置
JP6553388B2 (ja) 2015-03-31 2019-07-31 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板搬送装置、基板処理装置および基板搬送方法
JP6564642B2 (ja) * 2015-07-23 2019-08-21 東京エレクトロン株式会社 基板搬送室、基板処理システム、及び基板搬送室内のガス置換方法
CN105292980B (zh) * 2015-10-30 2018-01-02 中汽昌兴（洛阳）机电设备工程有限公司 一种输送系统及其吊具、输送装置
US11373891B2 (en) * 2018-10-26 2022-06-28 Applied Materials, Inc. Front-ducted equipment front end modules, side storage pods, and methods of operating the same
JP7316104B2 (ja) * 2019-06-14 2023-07-27 株式会社日立ハイテク ウエハ搬送装置
JP7401219B2 (ja) 2019-07-31 2023-12-19 ニデックインスツルメンツ株式会社 産業用ロボット
JP7741818B2 (ja) * 2020-05-29 2025-09-18 エルピーイー ソシエタ ペル アチオニ オーバーヘッドスクリーンを有する基板を取り扱うためのツール、並びに関連する取り扱い方法及びエピタキシャル反応器
US11666951B2 (en) * 2020-07-10 2023-06-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Wafer handler cleaning tool
JP7555210B2 (ja) * 2020-07-29 2024-09-24 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
WO2025205177A1 (ja) * 2024-03-29 2025-10-02 東京エレクトロン株式会社 搬送装置及び排気方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2503732Y2 (ja) * 1994-04-22 1996-07-03 大日本スクリーン製造株式会社 半導体製造装置
JPH1131730A (ja) * 1997-07-14 1999-02-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
KR100742026B1 (ko) * 2000-12-08 2007-07-23 동경 엘렉트론 주식회사 반도체 처리 시스템 및 피처리체 반송 방법
JP2003007799A (ja) * 2001-06-21 2003-01-10 Tokyo Electron Ltd 処理システム
KR100483428B1 (ko) * 2003-01-24 2005-04-14 삼성전자주식회사 기판 가공 장치
KR100583730B1 (ko) * 2004-06-29 2006-05-26 삼성전자주식회사 기판 이송 시스템 및 상기 시스템의 프레임 내 압력을조절하는 방법
US20070233313A1 (en) * 2006-03-28 2007-10-04 Tokyo Electron Limited Transfer pick, transfer device, substrate processing apparatus and transfer pick cleaning method
JP4896899B2 (ja) * 2007-01-31 2012-03-14 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置およびパーティクル付着防止方法
JP4959457B2 (ja) * 2007-07-26 2012-06-20 東京エレクトロン株式会社 基板搬送モジュール及び基板処理システム
JP4359640B2 (ja) * 2007-09-25 2009-11-04 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置及びダウンフロー制御方法
US8757026B2 (en) * 2008-04-15 2014-06-24 Dynamic Micro Systems, Semiconductor Equipment Gmbh Clean transfer robot
JP5131094B2 (ja) * 2008-08-29 2013-01-30 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置及び熱処理方法並びに記憶媒体

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