JP2013089689A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013089689A5
JP2013089689A5 JP2011227104A JP2011227104A JP2013089689A5 JP 2013089689 A5 JP2013089689 A5 JP 2013089689A5 JP 2011227104 A JP2011227104 A JP 2011227104A JP 2011227104 A JP2011227104 A JP 2011227104A JP 2013089689 A5 JP2013089689 A5 JP 2013089689A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transport block
pressure
substrate
unit
filter unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011227104A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013089689A (ja
JP5673480B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2011227104A priority Critical patent/JP5673480B2/ja
Priority claimed from JP2011227104A external-priority patent/JP5673480B2/ja
Priority to PCT/JP2012/076330 priority patent/WO2013054849A1/ja
Publication of JP2013089689A publication Critical patent/JP2013089689A/ja
Publication of JP2013089689A5 publication Critical patent/JP2013089689A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5673480B2 publication Critical patent/JP5673480B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

JP2011227104A 2011-10-14 2011-10-14 基板処理装置 Active JP5673480B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011227104A JP5673480B2 (ja) 2011-10-14 2011-10-14 基板処理装置
PCT/JP2012/076330 WO2013054849A1 (ja) 2011-10-14 2012-10-11 基板処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011227104A JP5673480B2 (ja) 2011-10-14 2011-10-14 基板処理装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013089689A JP2013089689A (ja) 2013-05-13
JP2013089689A5 true JP2013089689A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2013-11-28
JP5673480B2 JP5673480B2 (ja) 2015-02-18

Family

ID=48081900

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011227104A Active JP5673480B2 (ja) 2011-10-14 2011-10-14 基板処理装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5673480B2 (enrdf_load_stackoverflow)
WO (1) WO2013054849A1 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102096948B1 (ko) * 2013-07-04 2020-04-06 세메스 주식회사 기판 처리 설비
JP6503281B2 (ja) 2015-11-13 2019-04-17 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
KR102467054B1 (ko) * 2015-12-14 2022-11-15 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 방법
JP6815912B2 (ja) * 2017-03-23 2021-01-20 株式会社荏原製作所 洗浄装置及び基板処理装置
JP6895341B2 (ja) * 2017-08-10 2021-06-30 株式会社荏原製作所 基板処理装置
JP7037049B2 (ja) * 2018-03-15 2022-03-16 シンフォニアテクノロジー株式会社 Ｅｆｅｍ
JP6655206B2 (ja) * 2019-03-25 2020-02-26 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
CN112748639B (zh) * 2019-10-31 2024-09-17 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 气流分区调控的ffu整流板和调整胶形的涂胶工艺
JP7370277B2 (ja) 2020-02-26 2023-10-27 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
JP7464471B2 (ja) * 2020-07-10 2024-04-09 株式会社日立ハイテク 基板搬送装置
JP7555210B2 (ja) * 2020-07-29 2024-09-24 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
CN115598928A (zh) * 2022-10-31 2023-01-13 宁波润华全芯微电子设备有限公司（Cn） 一种匀胶显影单元的排风系统及其控制方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3042576B2 (ja) * 1992-12-21 2000-05-15 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP3421521B2 (ja) * 1996-11-11 2003-06-30 東京エレクトロン株式会社 処理装置
JP2000082731A (ja) * 1998-09-04 2000-03-21 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd クリーンルーム設備
JP3771430B2 (ja) * 2000-08-17 2006-04-26 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置および基板処理システム
JP4073251B2 (ja) * 2002-05-21 2008-04-09 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
KR100483428B1 (ko) * 2003-01-24 2005-04-14 삼성전자주식회사 기판 가공 장치
JP5007053B2 (ja) * 2006-02-23 2012-08-22 株式会社日立ハイテクノロジーズ 試料搬送システム、試料搬送方法、プログラムおよび記録媒体
JP5006122B2 (ja) * 2007-06-29 2012-08-22 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ 基板処理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013089689A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP5673480B2 (ja) 基板処理装置
JP6613864B2 (ja) ミニエンバイロメント装置
KR101944356B1 (ko) 금속 스트립의 주변으로부터 배기 공기의 배출 장치
JP5427833B2 (ja) クリーンルームの逆流防止装置
TWI713779B (zh) 容器收納設備
CN105826168B (zh) 基板处理装置
CN110307610A (zh) 一种洁净厂房
CN110467001B (zh) 一种粉体无尘化输送用转运泵
CN1867805A (zh) 用于对处理过的物品进行干燥的装置和方法
JP2012116647A (ja) 局所クリーン化搬送装置
JP2006190366A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP5582021B2 (ja) 物品搬送装置
CN105652790B (zh) 一种微环境控制系统
JP2008297046A (ja) 気流制御方法および保管倉庫設備
JP4715383B2 (ja) 搬送台車
CN104025278A (zh) 装载闭锁装置和具备它的真空处理装置
JP6462444B2 (ja) ウェーハ搬送装置
CN109637955B (zh) 目标物暂存系统
TWI844442B (zh) 基板處理裝置及基板處理方法
JP7341921B2 (ja) 空調装置及びエージング方法
JP2009147163A (ja) 搬送台車
CN107535592A (zh) 谷物干燥机的运行管理系统
JP2009012927A (ja) クリーン搬送装置における空調システム
CN209905890U (zh) 取料装置