JP2013038442A - エッジホイール構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円板状基板を支持・回転するエッジホイール14において、エッジホイール14の外周面に基板10の端部と係合する溝13を形成し、該溝13から内部に伸張する少なくとも一本の放射状チャネル18を備え、該放射状チャネル18に、真空源あるいは流体源と連通し、放射状チャネル18を吸引することにより、基板10とエッジホイール14との間の界面に存在する液体を除去し、又逆に放射状チャネル18に流体を供給することにより、基板10の端部を濡らすことも可能にする。
【選択図】図3
Description
Claims (15)
- 円板状基板の処理装置用のエッジホイール構造であって、
エッジホイールであって、前記基板の端部に係合するように外周部に溝が形成されたホイール体と、前記エッジホイールの軸に形成された貫通孔と、前記溝から前記ホイール体内部に伸張する放射状チャネルと、を備えるエッジホイールと、
前記貫通孔を貫通するシャフトと、を備え、
前記エッジホイールが前記シャフトを中心に回転する際に、前記放射状チャネルが、前記エッジホイールと前記シャフトのいずれかに形成された固定ポートに、少なくとも周期的に、流体の通過を可能にするように連通される、
エッジホイール構造。 - 前記シャフトが、前記ポートから伸張する軸方向チャネルと、前記軸方向チャネルから前記放射状チャネルに近接する前記シャフトの外周部まで伸張する、少なくとも一つの横方向チャネルと、を含む内部チャネルを備え、前記ポートは、前記シャフトの一端部の前記放射状チャネルに近接する位置に形成され、また、前記ポートが、前記一端部に、前記内部チャネルに流体の通過を可能にするように連通する流体ラインを接続するための手段を備える、請求項1記載のエッジホイール構造。
- 前記エッジホイールが、軸受により前記シャフトに取り付けられ、前記軸受は、前記エッジホイールと前記シャフトの間の界面からの流体の漏出を最小にするように、前記シャフトと前記エッジホイールとを密封する、請求項2記載のエッジホイール構造。
- さらに、前記基板が複数のエッジホイールの間に位置する場合に、前記基板に係合するように、選択的に前記エッジホイールを動かす可動アームを備える、請求項1記載のエッジホイール構造。
- 前記エッジホイールが、前記エッジホイールと前記カバーとの間に形成される環状空間とカバーとを備え、少なくとも一本の前記放射状チャネルが、前記溝から前記環状空間に伸張し、前記カバーと前記エッジホイールとが互いに回転可能なように、前記カバーが前記エッジホイールを密閉し、前記ポートが流体ラインを取り付ける手段を前記カバー上に備える、請求項1記載のエッジホイール構造。
- さらに、前記エッジホイールに固定される滑車を備える、請求項1記載のエッジホイール構造。
- エッジホイール乾燥機であって、
各エッジホイールが、基板の端部に係合するように形成された溝を備え、エッジホイールの少なくとも一つが、前記溝から内部に伸張する放射状チャネルを備える複数のエッジホイールと、
真空源と、を備え、
前記放射状チャネルが、前記真空源に、流体の通過が可能なように連通する、
エッジホイール乾燥機。 - 前記エッジホイールの一つあるいは複数が、力を入力することにより、前記一つあるいは複数のエッジホイールを回転させて、その結果、前記基板を回転する駆動手段を備える、請求項7記載のエッジホイール乾燥機。
- 前記エッジホイールの一つあるいは複数が、可動アームに取り付けられ、前記基板が複数のエッジホイールの間に位置する場合に、前記可動アームの作用により、前記一つあるいは複数のエッジホイールを前記基板の端部に係合する、請求項7記載のエッジホイール乾燥機。
- 円板状の基板を処理する方法であって、
各エッジホイールが、前記基板の端部を係合する溝をその周縁部に備え、各エッジホイールが、軸を中心に回転することにより前記基板を回転させ、一つあるいは複数のエッジホイールが駆動ホイールであるような、複数のエッジホイールで、前記基板を回転可能に支持し、
駆動ホイールによって回転力を与えることにより前記基板を回転させ、
前記エッジホイールの少なくとも一つに形成された放射状チャネルを介して、前記基板と前記エッジホイールの少なくとも一つの間の界面を減圧することにより、前記界面を乾燥する乾燥処理と、あるいは、前記エッジホイールの少なくとも一つに形成された放射状チャネルを介して、前記基板と前記エッジホイールの少なくとも一つの間の界面に流体を供給することにより、前記界面を湿らせる湿潤処理と、のいずれかを実施する、
処理方法。 - 前記エッジホイールの少なくとも一つがシャフトを中心に回転し、前記シャフトが、流体の通過を可能にするように前記放射状チャネルに連通する内部チャネルと、一端に形成されたポートと、を備え、前記乾燥処理が、前記シャフトに形成されたポートから減圧し、前記湿潤処理が、前記シャフトに形成されたポートに流体を供給する、請求項10記載の処理方法。
- 前記駆動ホイールが、環状空間と、環状空間を囲むカバーとを備え、前記カバーがポートを備え、また、前記カバーが、前記エッジホイールの一つに対して密封されることによって、前記一つのエッジホイールに対して回転し、前記環状空間が、流体の通過を可能にするように前記放射状チャネルと前記ポートに連通し、前記乾燥処理が、前記カバーに備えられたポートから減圧する、請求項10記載の処理方法。
- 前記駆動ホイールに回転力を与えることにより、前記基板を回転させる、請求項12記載の処理方法。
- 前記駆動ホイールが滑車を備え、前記滑車に接続する伸縮ベルトに回転を与えることにより、前記駆動ホイールに回転力を与える、請求項13記載の処理方法。
- 前記複数のエッジホイールの内、2つの固定エッジホイールに対して、前記基板の端部の位置決めを行い、前記複数のエッジホイールの内、2つの可動エッジホイールを前記基板の端部に係合させる、請求項10記載の処理方法。
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