JPH03195021A - 温純水引上方式に於ける乾燥装置 - Google Patents
温純水引上方式に於ける乾燥装置Info
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- JPH03195021A JPH03195021A JP33593889A JP33593889A JPH03195021A JP H03195021 A JPH03195021 A JP H03195021A JP 33593889 A JP33593889 A JP 33593889A JP 33593889 A JP33593889 A JP 33593889A JP H03195021 A JPH03195021 A JP H03195021A
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- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 2
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は温純水引上方式に於ける乾燥装置に係わり、昇
降治具の保持具と洗浄乾燥対象物との間の水滴を除去す
る手段に特徴を有する温純水引り方式に於ける乾燥装置
に関する。
降治具の保持具と洗浄乾燥対象物との間の水滴を除去す
る手段に特徴を有する温純水引り方式に於ける乾燥装置
に関する。
[徒来の技術]
間知の通り、レンズ、光ディスク、液晶パネル、太陽電
池等、その表面が比較的平滑であってシンプルな形状の
洗浄乾燥対象物を洗浄後、その表面を乾燥させるのにI
PAの茄気、フロン113の電気、またその自熱による
乾燥方法が用いられていた。
池等、その表面が比較的平滑であってシンプルな形状の
洗浄乾燥対象物を洗浄後、その表面を乾燥させるのにI
PAの茄気、フロン113の電気、またその自熱による
乾燥方法が用いられていた。
ところが、フロンによるオゾン層破壊の為使用禁1Fが
言われているのでフロン系の乾燥材を用いることができ
なくなってしまった。
言われているのでフロン系の乾燥材を用いることができ
なくなってしまった。
そして、洗浄乾燥対象物を昇降治具に於ける保持具ヒに
セットして温純水に浸漬後、温純水の表面張力を利用し
7て洗浄乾燥対象物を乾燥させる方法が用いられている
。
セットして温純水に浸漬後、温純水の表面張力を利用し
7て洗浄乾燥対象物を乾燥させる方法が用いられている
。
より詳しく説明すると、第3図に示すように、この場合
上記昇降治具3′に於ける保持具4′は斜面6、底面7
より成る台形状の受溝5が形成されているのみであった
。
上記昇降治具3′に於ける保持具4′は斜面6、底面7
より成る台形状の受溝5が形成されているのみであった
。
[発明が解決しようとする課題]
ト記従来技術によれば、保持具4′は洗浄乾燥対象物l
をセットすることができるという利点を有する。
をセットすることができるという利点を有する。
しかし、洗浄乾燥対象物1の表面Aと保持具4′の接触
部Cとの間に水滴Bが溜ってしまい、外部への露出面積
が小さく乾燥効率が悪くなる為、容易に乾燥せずにしみ
になってしまい易いという問題点があった。
部Cとの間に水滴Bが溜ってしまい、外部への露出面積
が小さく乾燥効率が悪くなる為、容易に乾燥せずにしみ
になってしまい易いという問題点があった。
[目的]
従って本発明の目的とする所は、洗浄乾燥対象物を保持
するのは勿論のこと、保持具の接触部に水滴が溜るのを
防上し、洗浄乾燥対象物全体を乾燥し、しみ等を発生さ
せない乾燥手段を提供するにある。
するのは勿論のこと、保持具の接触部に水滴が溜るのを
防上し、洗浄乾燥対象物全体を乾燥し、しみ等を発生さ
せない乾燥手段を提供するにある。
[課題を解決する為の手段〕
ト記目的を達成する為に本発明は次の技術的手段を有す
る。
る。
即ち実施例に対応する添付図面中の符号を用いてこれを
説明すると本発明は、レンズ、光ディスク 液晶パネル
、太陽電池等、その表面が比較的平滑であってシンプル
な形状の洗浄乾燥対象物1を洗浄後、これらを乾燥させ
るべく昇降治具3に於ける保持具4 、I−、にセーノ
トして温純水2に浸漬後、ゆっくりとほぼ垂直に上方へ
引上げ、温純水2の表面張力を利用してこれら洗浄乾燥
対象物lを乾燥させる手段に於いて、と記洗浄乾燥対費
物lの表面Aと接触し、それらを保持する昇降治具3に
於ける保持具4の接触部Cに、当該接触部Cと洗浄乾燥
対象物1の表面Aとの間の部分に溜る水滴Bを除去する
為の水滴除去手段を設けたことを特徴とする温純水引上
方式に於ける乾燥装置である。
説明すると本発明は、レンズ、光ディスク 液晶パネル
、太陽電池等、その表面が比較的平滑であってシンプル
な形状の洗浄乾燥対象物1を洗浄後、これらを乾燥させ
るべく昇降治具3に於ける保持具4 、I−、にセーノ
トして温純水2に浸漬後、ゆっくりとほぼ垂直に上方へ
引上げ、温純水2の表面張力を利用してこれら洗浄乾燥
対象物lを乾燥させる手段に於いて、と記洗浄乾燥対費
物lの表面Aと接触し、それらを保持する昇降治具3に
於ける保持具4の接触部Cに、当該接触部Cと洗浄乾燥
対象物1の表面Aとの間の部分に溜る水滴Bを除去する
為の水滴除去手段を設けたことを特徴とする温純水引上
方式に於ける乾燥装置である。
[作用]
ヒ記構改に基づくと、洗浄乾燥対象物1は昇降治具3に
於ける保持具4−ヒにセットされ、温純水2に浸漬され
る○は勿論、昇降治具3をゆっくりとほぼ垂直に上方へ
引上げることにより、洗浄乾燥対象物1表面の水分は温
純水2となり温純水2中に拡散されるものである。
於ける保持具4−ヒにセットされ、温純水2に浸漬され
る○は勿論、昇降治具3をゆっくりとほぼ垂直に上方へ
引上げることにより、洗浄乾燥対象物1表面の水分は温
純水2となり温純水2中に拡散されるものである。
また、温純水である為、張力が弱くなるものであると共
に、洗浄乾燥対象物1表面が熱くなるものである。
に、洗浄乾燥対象物1表面が熱くなるものである。
そして、水滴除去手段を設けることにより、洗浄乾燥対
象物1の表面Aと保持具4の接触部Cとの聞の部分に溜
る水滴Bが除去されるものである。
象物1の表面Aと保持具4の接触部Cとの聞の部分に溜
る水滴Bが除去されるものである。
し実施例]
次の添付図面に従い本発明の好適な実施例を詳述する。
第1図は混純水引−F方式に於ける乾燥装置の正面図を
示しており、昇降治具3は四角のパイプ状に形成され1
円形である光ディスク1を保持する為に下部は湾曲して
おり、一方が取手となるように垂直に上方に伸びている
。そして、光ディスク1をより確実に保持し、接触面積
をできるだけ小さくする為に三〜所に保持具4が配設さ
れている。
示しており、昇降治具3は四角のパイプ状に形成され1
円形である光ディスク1を保持する為に下部は湾曲して
おり、一方が取手となるように垂直に上方に伸びている
。そして、光ディスク1をより確実に保持し、接触面積
をできるだけ小さくする為に三〜所に保持具4が配設さ
れている。
第4図は第1実施例の保持具41であり、第1図のY−
Y’線に沿った断面図を示しており、保持具41は耐熱
、耐薬品性であるセラミック酸であり、斜面6と底面7
より成る台形状の受溝5が形成されており、光ディスク
lの表面Aとの接触部Cの近くの内部にニクロム線で形
成された電気抵抗加熱ヒーター8が埋設されており、昇
降治具31と接着材等で密着されている。そして、昇降
治具31の内部には上記電気抵抗加熱ヒーター8を接続
する端子台9が配設され、昇降治具31の側面には端子
台9を取り替え、調節等するため開口部が形成されてお
り、側面の外部にはパツキンlOにより開閉自在に固定
された蓋11が配設されている。
Y’線に沿った断面図を示しており、保持具41は耐熱
、耐薬品性であるセラミック酸であり、斜面6と底面7
より成る台形状の受溝5が形成されており、光ディスク
lの表面Aとの接触部Cの近くの内部にニクロム線で形
成された電気抵抗加熱ヒーター8が埋設されており、昇
降治具31と接着材等で密着されている。そして、昇降
治具31の内部には上記電気抵抗加熱ヒーター8を接続
する端子台9が配設され、昇降治具31の側面には端子
台9を取り替え、調節等するため開口部が形成されてお
り、側面の外部にはパツキンlOにより開閉自在に固定
された蓋11が配設されている。
また第5図は第2実施例の保持具42の断面図を示して
おり、保持具42は耐薬品性であるテフロン製マあり、
第1実施例と同じく台形状の受溝5が形成されており、
接触部Cの近くに水滴真空吸引口12が形成されており
、昇降治具32に向かって吸引接続通路13が形成され
ている。そして、昇降治具32の内部は図示せざる取手
の先端に配設された吸引ポンプにより真空吸引できるよ
うに吸引通路14となっている。
おり、保持具42は耐薬品性であるテフロン製マあり、
第1実施例と同じく台形状の受溝5が形成されており、
接触部Cの近くに水滴真空吸引口12が形成されており
、昇降治具32に向かって吸引接続通路13が形成され
ている。そして、昇降治具32の内部は図示せざる取手
の先端に配設された吸引ポンプにより真空吸引できるよ
うに吸引通路14となっている。
次に、光ディスク1の乾燥方法について説明する。
第1図に示すように、洗浄後の光ディスク1は昇降治具
3の保持具4上にセー、トされ、温度を60℃から70
℃ぐらいに設定された温純水2の中に垂直に投入される
。そして、昇降治具3を上下に揺動させ光ディスク1を
温純水2になじませた後、ゆっくりと垂直に引上げられ
る。
3の保持具4上にセー、トされ、温度を60℃から70
℃ぐらいに設定された温純水2の中に垂直に投入される
。そして、昇降治具3を上下に揺動させ光ディスク1を
温純水2になじませた後、ゆっくりと垂直に引上げられ
る。
そして、引上げられた後、第1実施例に於ける電気抵抗
加熱ヒーター線8が加熱され保持具41が80℃から
100℃ぐらいの温度になり、また第2実施例に於ける
吸引ポンプが作動され吸引通路14、吸引接続通路13
を介して水滴真空吸引口12より真空吸引される。
加熱ヒーター線8が加熱され保持具41が80℃から
100℃ぐらいの温度になり、また第2実施例に於ける
吸引ポンプが作動され吸引通路14、吸引接続通路13
を介して水滴真空吸引口12より真空吸引される。
上記の動作によって、光デイスク1表面についた洗浄の
為の水滴は温純水2に拡散され、また引トげの際に光デ
イスク1表面は温純水2となる為張力が弱くなり、付着
しにくくなり、更に光ディスク1自体が温純水2により
熱をもつ為たとえ表面に温純水2の水分が付着しても、
その自熱で水分は乾燥するものである。
為の水滴は温純水2に拡散され、また引トげの際に光デ
イスク1表面は温純水2となる為張力が弱くなり、付着
しにくくなり、更に光ディスク1自体が温純水2により
熱をもつ為たとえ表面に温純水2の水分が付着しても、
その自熱で水分は乾燥するものである。
そして引−ヒげ後、光ディスク1の表面Aと保持具4の
接触部Cとの間に溜った水滴Bは第1実施例では電気抵
抗加熱ヒーター線8の加熱により、また第2実施例では
水滴真空吸引口12より真空吸引することにより、除去
するものである。
接触部Cとの間に溜った水滴Bは第1実施例では電気抵
抗加熱ヒーター線8の加熱により、また第2実施例では
水滴真空吸引口12より真空吸引することにより、除去
するものである。
尚、本実施例では洗浄乾燥対象物1を光ディスクとした
が、それ以外にも様々なものが考えられ、昇降治具3.
保持具4もそれに応じて様々なものが考えられる。
が、それ以外にも様々なものが考えられ、昇降治具3.
保持具4もそれに応じて様々なものが考えられる。
また、その洗浄乾燥対象物lに応じて保持具41と保持
具42を使い分けることができ、例えば第1図の保持具
4を左から保持具41、保持具42、保持具41と配設
することも考えられる。
具42を使い分けることができ、例えば第1図の保持具
4を左から保持具41、保持具42、保持具41と配設
することも考えられる。
以上のように、本実施例は洗浄乾燥対象物1表面の水滴
は温純水2中での拡散、また温純水の温度効果による張
力の低下、また引−ヒげ後の洗浄乾燥対象物lの自熱に
より、除去、乾燥されることができるものである・ また、従来問題であった洗浄乾燥対象物1の表面Aと保
持具4の接触部Cとの間に溜る水滴Bは、保持具41の
接触部C付近の内部に電気抵抗加熱ヒーター線8を埋設
し、保持具41全体を加熱することにより除去されるこ
とができるものである。
は温純水2中での拡散、また温純水の温度効果による張
力の低下、また引−ヒげ後の洗浄乾燥対象物lの自熱に
より、除去、乾燥されることができるものである・ また、従来問題であった洗浄乾燥対象物1の表面Aと保
持具4の接触部Cとの間に溜る水滴Bは、保持具41の
接触部C付近の内部に電気抵抗加熱ヒーター線8を埋設
し、保持具41全体を加熱することにより除去されるこ
とができるものである。
そして同じく、保持具42の接触部C付近に水滴真空吸
引口12を形成し、真空吸引することにより除去される
ことができるものである。
引口12を形成し、真空吸引することにより除去される
ことができるものである。
[発明の効果]
以上詳述した如く請求項第1項の発明によれば、洗浄乾
燥対象物は温純水によるのと共に、洗浄乾燥対象物の表
面と保持具の接触部との間に溜る水滴を除去する水滴除
去手段を設けることによって、洗浄乾燥対象物全体を乾
燥させることができ、しみ等の原因を作りにくくするこ
とができるという利点を有する。
燥対象物は温純水によるのと共に、洗浄乾燥対象物の表
面と保持具の接触部との間に溜る水滴を除去する水滴除
去手段を設けることによって、洗浄乾燥対象物全体を乾
燥させることができ、しみ等の原因を作りにくくするこ
とができるという利点を有する。
また、請求項第2項の発明によれば、保持具の内部に電
気抵抗加熱ヒーター線を埋設することによって、保持具
の斜面、底面全体を加熱することができ、水滴が底面に
溜ったとしても乾燥することができ、水滴が多く溜る箇
所に於いて乾燥効果をよりよくすることができるという
利点を有する。
気抵抗加熱ヒーター線を埋設することによって、保持具
の斜面、底面全体を加熱することができ、水滴が底面に
溜ったとしても乾燥することができ、水滴が多く溜る箇
所に於いて乾燥効果をよりよくすることができるという
利点を有する。
そして、請求項第3項の発明によれば、保持具の接触部
付近に水滴真空吸引口を形成することによって、水滴を
真空吸引することができ、水滴をより早く除去すること
ができるという利点を有する。
付近に水滴真空吸引口を形成することによって、水滴を
真空吸引することができ、水滴をより早く除去すること
ができるという利点を有する。
添付図面は本発明の実施例を示し、
第1図は乾燥装置の正面図、
第2図は第1図のx−x ′線に沿った断面図、第3図
から第5図までは第1図のY−Y’線に沿った断面図で
あり、 第3図は従来例 第4図は第1実施例、 第5図は第2実施例である。 図中 ■・・・・洗浄乾燥対象物、 2・・・・温純水、3
・・・・昇降治具、 4・・・・保持具、5・
・・・受溝、 6・・・・斜面、7・・・
・底面、 8・・・・電気抵抗加熱ヒーター線。 12・・・・水滴真空吸引口、 A・・・・洗浄乾燥対象物の表面、 B・・・・水滴、 C・・・・保持具の接触部、 である。
から第5図までは第1図のY−Y’線に沿った断面図で
あり、 第3図は従来例 第4図は第1実施例、 第5図は第2実施例である。 図中 ■・・・・洗浄乾燥対象物、 2・・・・温純水、3
・・・・昇降治具、 4・・・・保持具、5・
・・・受溝、 6・・・・斜面、7・・・
・底面、 8・・・・電気抵抗加熱ヒーター線。 12・・・・水滴真空吸引口、 A・・・・洗浄乾燥対象物の表面、 B・・・・水滴、 C・・・・保持具の接触部、 である。
Claims (3)
- (1)レンズ、光ディスク、液晶パネル、太陽電池等、
その表面が比較的平滑であってシンプルな形状の洗浄乾
燥対象物を洗浄後、これらを乾燥させるべく昇降治具に
於ける保持具上にセットして温純水に浸漬後、ゆっくり
とほぼ垂直に上方へ引上げ、温純水の表面張力を利用し
てこれら洗浄乾燥対象物を乾燥させる手段に於いて; 上記洗浄乾燥対象物1の表面Aと接触し、それらを保持
する昇降治具3に於ける保持具4の接触部Cに、当該接
触部Cと洗浄乾燥対象物1の表面Aとの間の部分に溜る
水滴Bを除去する為の水滴除去手段を設けたことを特徴
とする温純水引上方式に於ける乾燥装置。 - (2)上記保持具41はセラミック等耐熱耐薬品性の材
質から成り、洗浄乾燥対象物1の表面Aを受ける為の受
溝5が形成され、この受溝5の斜面6の接触部C近くに
電気抵抗加熱ヒーター線8が埋設されて、上記水滴除去
手段を構成していることを特徴とする請求項第1項記載
の温純水引上方式に於ける乾燥装置。 - (3)上記保持具42はテフロン等耐薬品性の材質から
成り、洗浄乾燥対象物1の表面Aを受ける為の受溝5が
形成され、この受溝5の斜面6の接触部C近くに開口す
る水滴真空吸引口13が形成されて、上記水滴除去手段
を構成していることを特徴とする請求項第1項記載の温
純水引上方式に於ける乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33593889A JPH0693449B2 (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 | 温純水引上方式に於ける乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33593889A JPH0693449B2 (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 | 温純水引上方式に於ける乾燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03195021A true JPH03195021A (ja) | 1991-08-26 |
JPH0693449B2 JPH0693449B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=18294025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33593889A Expired - Lifetime JPH0693449B2 (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 | 温純水引上方式に於ける乾燥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0693449B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004012873A1 (ja) * | 2002-08-06 | 2004-02-12 | Seiko Epson Corporation | レンズ保持治具 |
JP2010505272A (ja) * | 2006-09-29 | 2010-02-18 | ラム リサーチ コーポレーション | 基板処理メニスカスによって残される入口マークおよび/または出口マークを低減させるためのキャリア |
EP2386900A1 (en) * | 2009-01-09 | 2011-11-16 | Hoya Corporation | Lens holding jig and method of manufacturing lens base material using same |
JP2013038442A (ja) * | 2004-09-30 | 2013-02-21 | Lam Research Corporation | エッジホイール構造 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023074933A1 (ko) * | 2021-10-27 | 2023-05-04 | 주식회사 세정로봇 | 웨이퍼 진공 픽업장치 |
-
1989
- 1989-12-25 JP JP33593889A patent/JPH0693449B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004012873A1 (ja) * | 2002-08-06 | 2004-02-12 | Seiko Epson Corporation | レンズ保持治具 |
US7130135B2 (en) | 2002-08-06 | 2006-10-31 | Seiko Epson Corporation | Lens holding jig |
CN100352561C (zh) * | 2002-08-06 | 2007-12-05 | 精工爱普生株式会社 | 透镜保持夹具 |
JP2013038442A (ja) * | 2004-09-30 | 2013-02-21 | Lam Research Corporation | エッジホイール構造 |
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EP2386900A1 (en) * | 2009-01-09 | 2011-11-16 | Hoya Corporation | Lens holding jig and method of manufacturing lens base material using same |
EP2386900A4 (en) * | 2009-01-09 | 2012-08-15 | Hoya Corp | LENS HOLDER ASSEMBLY AND METHOD FOR MANUFACTURING LENS BASE MATERIAL USING THE SAME |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0693449B2 (ja) | 1994-11-16 |
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