JP2013036862A - 磁気検出装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一の短絡層41と第二の短絡層42とを、それぞれ第一の磁気抵抗効果素子層11と第一の抵抗素子層21とにのみ導通させ且つ一体に積層させて短絡することで、第一の磁気抵抗効果素子層11と第一の抵抗素子層21との電気抵抗を調整する。
【選択図】図1
Description
を備える磁気検出装置の製造方法であって、
(a)前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層とを形成する工程と、
(b)前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との電気抵抗を測定し、工程ばらつきなどによって生じる前記両素子層の電気抵抗の差と前記両素子層のいずれの電気抵抗が高いかを判定する工程と、
(c)前記第二の短絡層を前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との電気抵抗が大きい一方のみに導通し且つ第二所定範囲に載置すると共に前記第一の短絡層を前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との電気抵抗が小さい他方のみに導通し且つ第一所定範囲に載置することで、前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層とのそれぞれの電気抵抗を調整する工程とを含むことを特徴とする。
<第一の実施形態>
<第二の実施形態>
第一の出力(OUT1)=R12×Vdd/(R11+R12)
第二の出力(OUT2)=R14×Vdd/(R13+R14)
である。そして、第一の磁気抵抗効果素子層101と第四の磁気抵抗効果素子層104とは、また、第二の磁気抵抗効果素子層102と第三の磁気抵抗効果素子層103とは、それぞれ同じにように形成されるので、基本的にR11=R14、R12=R13である。
第一の出力(OUT1)−第二の出力(OUT2)
=R12×Vdd/(R11+R12)−R14×Vdd/(R13+R14)
=(R12−R11)×Vdd/(R11+R12)
=(R13−R14)×Vdd/(R13+R14)
となる。
2、201 基板
3、305 差動増幅器
11、101 第一の磁気抵抗効果素子層
102 第二の磁気抵抗効果素子層
103 第三の磁気抵抗効果素子層
14、104 第四の磁気抵抗効果素子層
21 第一の抵抗素子層
22 第二の抵抗素子層
23 第一の固定抵抗素子層
24 第二の固定抵抗素子層
31、301 電力供給層
32、302 接地層
33、303 第一の出力導電層
34、304 第二の出力導電層
41、401 第一の短絡層
42、402 第二の短絡層
43、403 第三の短絡層
44、404 第四の短絡層
51、501 反強磁性層
52 第一の固定磁性層
53、503 非磁性導電層
54、504 自由磁性層
55、505 保護層
56 パッシベーション層
57 第2の固定磁性層
60 素子部
61 素子連設体
63 外側永久磁石層
64 接続部
507 第一の強磁性層
508 反平行結合層
509 第二の強磁性層
601 第一の迂回電流路
602 第二の迂回電流路
603 第三の迂回電流路
604 突出領域
701、702 磁気抵抗効果素子層
703、704 抵抗素子層
705、706 出力導電層
707、708 接続層
Claims (13)
- 外部磁界で電気抵抗が変化する第一の磁気抵抗効果素子層と、
前記第一の磁気抵抗効果素子層に直列に接続される第一の抵抗素子層と、
短絡経路を形成し電気抵抗を調整する導電性の第一の短絡層と、
短絡経路を形成し電気抵抗を調整する導電性の第二の短絡層と、
を有し、
前記第一の短絡層が前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層とのいずれかの一方のみに導通され且つ第一所定範囲に載置され、
前記第二の短絡層が前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層とのいずれかの他方のみに導通され且つ第二所定範囲に載置され、
前記第一の短絡層によって規定される第一の短絡長さと前記第二の短絡層によって規定される第二の短絡長さとの差が、前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との電気抵抗の差を調整することを特徴とする磁気検出装置。 - 前記第一の短絡長さと前記第二の短絡長さとの差が、前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との長さの差を規定することを特徴とする請求項1に記載の磁気検出装置。
- 前記第一の抵抗素子層が、外部磁界で電気抵抗が変化しない第一の固定抵抗素子層であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の磁気検出装置。
- 前記第一の抵抗素子層が、外部磁界に対して前記第一の磁気抵抗効果素子層と電気抵抗の増減を逆に変化させる第二の磁気抵抗効果素子層であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の磁気検出装置。
- 前記第一の短絡層が、前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層とのいずれか一方の長手方向の両端部から離れて設置されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の磁気検出装置。
- 前記第二の短絡層が、前記第一の磁気抵抗効果素子層または前記第一の抵抗素子層のいずれか他方の長手方向の両端部から離れて設置されることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の磁気検出装置。
- 前記第二の短絡長さが、前記第一の短絡長さと電気抵抗を調整する第一の調整短絡層が規定する第五の短絡長さとの和からなり、前記第二の短絡長さと前記第一の短絡長さとの差である前記第五の短絡長さが、前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との電気抵抗を調整すると共に、前記第一の短絡層と前記第一の調整短絡層とが連接されてなることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の磁気検出装置。
- 前記第一の磁気抵抗効果素子層及び前記第二の磁気抵抗効果素子層が、磁化方向が固定される第一の固定磁性層と、外部磁界によって磁化方向が変化する自由磁性層と、前記第一の固定磁性層と前記自由磁性層との間に位置する非磁性導電層とを有することを特徴とする請求項4に記載の磁気検出装置。
- 前記第一の磁気抵抗効果素子層が、第一の方向の磁界が与えられた際に電気抵抗が変化し、前記第一の方向と逆向きである第二の方向の磁界が与えられた際に電気抵抗が変化しないものであり、前記第二の磁気抵抗効果素子層が、前記第二の方向の磁界が与えられた際に電気抵抗が変化し、前記第二の方向と逆向きである前記第一の方向の磁界が与えられた際に電気抵抗が変化しないものであることを特徴とする請求項4から請求項8のいずれか一項に記載の磁気検出装置。
- 前記第一の固定抵抗素子層が、磁化方向が固定される第一の固定磁性層と、抵抗率の小さい非磁性導電層と、前記固定磁性層と前記非磁性導電層との間に位置する第2の固定磁性層とを有することを特徴とする請求項3に記載の磁気検出装置。
- 前記第一の磁気抵抗効果素子層に対向して配置される第二の抵抗素子層と
前記第二の抵抗素子層に直列に接続される第四の磁気抵抗効果素子層と
短絡経路を形成し電気抵抗を調整する導電性の第三の短絡層と、
短絡経路を形成し電気抵抗を調整する導電性の第四の短絡層と、
を有し、
前記第三の短絡層が前記第四の磁気抵抗効果素子層と前記第二の抵抗素子層とのいずれかの一方のみに導通され且つ載置され、
前記第四の短絡層が前記第四の磁気抵抗効果素子層と前記第二の抵抗素子層とのいずれかの他方のみに導通され且つ載置され、
前記第一の磁気抵抗効果素子層、前記第一の抵抗素子層、前記第二の抵抗素子層及び第四の磁気抵抗効果素子層でブリッジ回路を構成することを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の磁気検出装置。 - 外部磁界で電気抵抗が変化する第一の磁気抵抗効果素子層と、
前記第一の磁気抵抗効果素子層に直列に接続される第一の抵抗素子層と、
短絡経路を形成し電気抵抗を調整する導電性の第一の短絡層と、
短絡経路を形成し電気抵抗を調整する導電性の第二の短絡層と、
を備える磁気検出装置の製造方法であって、
(a)前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層とを形成する工程と、
(b)前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との電気抵抗を測定し、工程ばらつきなどによって生じる前記両素子層の電気抵抗の差と前記両素子層のいずれの電気抵抗が高いかを判定する工程と、
(c)前記第二の短絡層を前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との電気抵抗が大きい一方のみに導通し且つ第二所定範囲に載置すると共に前記第一の短絡層を前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層との電気抵抗が小さい他方のみに導通し且つ第一所定範囲に載置することで、前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記第一の抵抗素子層とのそれぞれの電気抵抗を調整する工程と、
を含むことを特徴とする磁気検出装置の製造方法。 - 前記(c)工程では、前記第一の磁気抵抗効果素子層と前記抵抗素子層との上にレジストを塗布し、前記第一の短絡層と前記第二の短絡層とのそれぞれの所定のパターンが形成されたレチクルを用いて、前記それぞれの所定のパターンを同時に露光することを特徴とする請求項11に記載の磁気検出装置の製造方法。
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