JP2017133912A - 磁気センサ - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 226
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 108
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 100
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 117
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 101100176188 Onchocerca volvulus gmr-1 gene Proteins 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000914 Mn alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000575 Ir alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 239000002772 conduction electron Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019041 PtMn Inorganic materials 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co] Chemical compound [Fe].[Co] QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
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- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
Description
前記磁気抵抗効果素子は、固定磁性層と非磁性材料層とフリー磁性層および反強磁性層を有し、前記反強磁性層からフリー磁性層へ作用する交換結合磁界によって、前記フリー磁性層の磁化の向きが、前記固定磁性層の固定磁化の向きと同じ軸方向に設定されており、
前記フリー磁性層の磁化の向きと前記固定磁化の向きとの組み合わせが相違する前記磁気抵抗効果素子が直列に接続されて、第1の直列部と第2の直列部が構成され、前記第1の直列部と前記第2の直列部が並列に接続されて、各直列部の一方に電圧が与えられ他方が接地されており、
前記差動回路で前記第1の中点電位と前記第2の中点電位の差が検出されることを特徴とするものである。
前記第1の直列部と前記第2の直列部のそれぞれにおいて、前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第2の磁気抵抗効果素子とが直列に接続され、一方の直列部では前記第1の磁気抵抗効果素子が電源電圧側に位置し、他方の直列部では前記第2の磁気抵抗効果素子が電源電圧側に位置しているものとして構成できる。
前記第1の直列部と前記第2の直列部の一方では、前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第3の磁気抵抗効果素子とが直列に接続され、他方では、前記第2の磁気抵抗効果素子と前記第4の磁気抵抗効果素子とが直列に接続されており、
前記第2の磁気抵抗効果素子と前記第3の磁気抵抗効果素子が電源電圧側に位置し、または、前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第4の磁気抵抗効果素子が電源電圧側に位置しているものとして構成できる。
図2に本発明の第1の実施の形態の磁気センサ1が示されている。
を示している。
非磁性材料層22は、Cu(銅)などである。
第1の実施の形態の磁気センサ1の動作は以下の通りである。
図7に、本発明の第2の実施の形態の磁気センサ101が示されている。
図7に示すように、フルブリッジ回路102において、第1の直列部2aの中点5aの出力電位(Out1)と、第2の直列部2bの中点5bの出力電位(Out2)が差動増幅器6に与えられる。
2,102 フルブリッジ回路
2a 第1の直列部
2b 第2の直列部
6 差動増幅器
7 コンパレータ
9 処理回路
10a 第1の磁気抵抗効果素子
10b 第2の磁気抵抗効果素子
10c 第3の磁気抵抗効果素子
10d 第4の磁気抵抗効果素子
12 素子部
21 固定磁性層
22 非磁性材料層
23 フリー磁性層
24 反強磁性層
F フリー磁性層の磁化方向
P 固定磁化方向
Claims (8)
- 磁気抵抗効果素子を有するブリッジ回路と、前記ブリッジ回路からの出力を検知する差動回路とを有する磁気センサにおいて、
前記磁気抵抗効果素子は、固定磁性層と非磁性材料層とフリー磁性層および反強磁性層を有し、前記反強磁性層からフリー磁性層へ作用する交換結合磁界によって、前記フリー磁性層の磁化の向きが、前記固定磁性層の固定磁化の向きと同じ軸方向に設定されており、
前記フリー磁性層の磁化の向きと前記固定磁化の向きとの組み合わせが相違する前記磁気抵抗効果素子が直列に接続されて、第1の直列部と第2の直列部が構成され、前記第1の直列部と前記第2の直列部が並列に接続されて、各直列部の一方に電圧が与えられ他方が接地されており、
前記差動回路で前記第1の中点電位と前記第2の中点電位の差が検出されることを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子は、長手方向が前記軸方向に向けられたストライプ形状である請求項1記載の磁気センサ。
- 前記フリー磁性層の磁化の向きと前記固定磁化の向きとが同じ方向である第1の磁気抵抗効果素子と、前記フリー磁性層の磁化の向きと前記固定磁化の向きが同じ方向であり且つそれぞれが前記第1の磁気抵抗効果素子と逆に向けられた第2の磁気抵抗効果素子とが設けられ、
前記第1の直列部と前記第2の直列部のそれぞれにおいて、前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第2の磁気抵抗効果素子とが直列に接続され、一方の直列部では前記第1の磁気抵抗効果素子が電源電圧側に位置し、他方の直列部では前記第2の磁気抵抗効果素子が電源電圧側に位置している請求項1または2記載の磁気センサ。 - 前記軸方向に外部磁界が作用していないときに、前記差動回路からの出力が中間値であり、外部磁界が前記軸方向に沿う第1の方向と、これと逆方向の第2の方向に作用しているときとで、前記出力が前記中間値を挟んで互いに異なる極性に変化する請求項3記載の磁気センサ。
- 前記フリー磁性層の磁化の向きと前記固定磁化の向きとが同じ方向である第1の磁気抵抗効果素子と、前記フリー磁性層の磁化の向きと前記固定磁化の向きが同じ方向であり且つそれぞれが前記第1の磁気抵抗効果素子と逆に向けられた第2の磁気抵抗効果素子と、前記フリー磁性層の磁化の向きと前記固定磁化の向きが互いに逆方向である第3の磁気抵抗効果素子と、前記フリー磁性層の磁化の向きと前記固定磁化の向きが互いに逆方向であり且つそれぞれが前記第3の磁気抵抗効果素子と逆に向けられた第4の磁気抵抗効果素子と、が設けられ、
前記第1の直列部と前記第2の直列部の一方では、前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第3の磁気抵抗効果素子とが直列に接続され、他方では、前記第2の磁気抵抗効果素子と前記第4の磁気抵抗効果素子とが直列に接続されており、
前記第2の磁気抵抗効果素子と前記第3の磁気抵抗効果素子が電源電圧側に位置し、または、前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第4の磁気抵抗効果素子が電源電圧側に位置している請求項1または2記載の磁気センサ。 - 前記軸方向に外部磁界が作用していないときは、前記差動回路からの出力がハイレベルであり、外部磁界が前記軸方向に沿う第1の方向と、これと逆方向の第2の方向に作用しているときに、ローレベルに変化する請求項5記載の磁気センサ。
- 前記軸方向に外部磁界が作用していないときは、前記差動回路からの出力がローレベルであり、外部磁界が前記軸方向に沿う第1の方向と、これと逆方向の第2の方向に作用しているときにハイレベルに変化する請求項5記載の磁気センサ。
- 前記差動回路からの出力をしきい値と比較してスイッチ出力を得るコンパレータが設けられている請求項1ないし7のいずれかに記載の磁気センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016013234A JP6697144B2 (ja) | 2016-01-27 | 2016-01-27 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016013234A JP6697144B2 (ja) | 2016-01-27 | 2016-01-27 | 磁気センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017133912A true JP2017133912A (ja) | 2017-08-03 |
JP6697144B2 JP6697144B2 (ja) | 2020-05-20 |
Family
ID=59504876
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016013234A Active JP6697144B2 (ja) | 2016-01-27 | 2016-01-27 | 磁気センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6697144B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111615636A (zh) * | 2018-01-17 | 2020-09-01 | 阿尔卑斯阿尔派株式会社 | 磁检测装置及其制造方法 |
CN111630402A (zh) * | 2018-01-17 | 2020-09-04 | 阿尔卑斯阿尔派株式会社 | 磁检测装置及其制造方法 |
JP2020191325A (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | アルプスアルパイン株式会社 | 磁気センサおよびその製造方法 |
JP7023428B1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-02-21 | 三菱電機株式会社 | 磁気センサ素子、磁気センサおよび磁気センサ装置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002246671A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-08-30 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子の製造方法 |
JP2003106866A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-09 | Alps Electric Co Ltd | 磁気センサ |
JP2005236134A (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-02 | Tdk Corp | 磁気検出素子およびその形成方法ならびに磁気センサ、電流計 |
JP2007218610A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Alps Electric Co Ltd | 磁気エンコーダ |
JP2007305594A (ja) * | 2007-06-07 | 2007-11-22 | Alps Electric Co Ltd | 磁気センサ |
WO2008075610A1 (ja) * | 2006-12-20 | 2008-06-26 | Alps Electric Co., Ltd. | 磁気検出装置 |
JP2010032390A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Alps Electric Co Ltd | 磁気スイッチ |
JP2010156543A (ja) * | 2007-04-18 | 2010-07-15 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2011103336A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Denso Corp | 磁気抵抗効果素子およびそれを用いたセンサ |
JP2011174810A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2012088151A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Yamaha Corp | ブリッジ回路 |
JP2013036862A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置とその製造方法 |
US20130057265A1 (en) * | 2007-03-09 | 2013-03-07 | Nve Corporation | Stressed magnetoresistive tamper detection devices |
-
2016
- 2016-01-27 JP JP2016013234A patent/JP6697144B2/ja active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002246671A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-08-30 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子の製造方法 |
JP2003106866A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-09 | Alps Electric Co Ltd | 磁気センサ |
JP2005236134A (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-02 | Tdk Corp | 磁気検出素子およびその形成方法ならびに磁気センサ、電流計 |
JP2007218610A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Alps Electric Co Ltd | 磁気エンコーダ |
WO2008075610A1 (ja) * | 2006-12-20 | 2008-06-26 | Alps Electric Co., Ltd. | 磁気検出装置 |
US20130057265A1 (en) * | 2007-03-09 | 2013-03-07 | Nve Corporation | Stressed magnetoresistive tamper detection devices |
JP2010156543A (ja) * | 2007-04-18 | 2010-07-15 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2007305594A (ja) * | 2007-06-07 | 2007-11-22 | Alps Electric Co Ltd | 磁気センサ |
JP2010032390A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Alps Electric Co Ltd | 磁気スイッチ |
JP2011103336A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Denso Corp | 磁気抵抗効果素子およびそれを用いたセンサ |
JP2011174810A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2012088151A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Yamaha Corp | ブリッジ回路 |
JP2013036862A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置とその製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111615636A (zh) * | 2018-01-17 | 2020-09-01 | 阿尔卑斯阿尔派株式会社 | 磁检测装置及其制造方法 |
CN111630402A (zh) * | 2018-01-17 | 2020-09-04 | 阿尔卑斯阿尔派株式会社 | 磁检测装置及其制造方法 |
CN111615636B (zh) * | 2018-01-17 | 2022-07-08 | 阿尔卑斯阿尔派株式会社 | 磁检测装置及其制造方法 |
JP2020191325A (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | アルプスアルパイン株式会社 | 磁気センサおよびその製造方法 |
JP7261656B2 (ja) | 2019-05-20 | 2023-04-20 | アルプスアルパイン株式会社 | 磁気センサおよびその製造方法 |
JP7023428B1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-02-21 | 三菱電機株式会社 | 磁気センサ素子、磁気センサおよび磁気センサ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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