JP2001244521A - 移動物体検出装置 - Google Patents

移動物体検出装置

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JP2001244521A
JP2001244521A JP2000055925A JP2000055925A JP2001244521A JP 2001244521 A JP2001244521 A JP 2001244521A JP 2000055925 A JP2000055925 A JP 2000055925A JP 2000055925 A JP2000055925 A JP 2000055925A JP 2001244521 A JP2001244521 A JP 2001244521A
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semiconductor
magnetic
semiconductor magnetoresistive
electrode
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Shinichi Ota
新一 太田
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Nippon Seiki Co Ltd
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Nippon Seiki Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノイズの影響を受けにくく、またコストアッ
プを招かずに磁気検出部を小型化することが可能な移動
物体検出装置を提供する。 【解決手段】 一端に引き出された一対の素子電極(電
極部)32を有する第1,第2,第3,第4の半導体磁
気抵抗素子28a,29a,28b,29bを永久磁石
8上に一列に順次配設する。第1の磁気検出素子28
は、第1の半導体磁気抵抗素子28aの素子電極(電極
部)32と、第2の半導体磁気抵抗素子29aを隔てて
配設される第3の半導体磁気変換素子28bの素子電極
32との配設方向を同一し、第1の半導体磁気抵抗素子
28aと第3の半導体磁気抵抗素子28bとで対をな
す。第2の磁気検出素子29は、第2の半導体磁気抵抗
素子29aの素子電極32と、第3の半導体磁気抵抗素
子28bを隔てて配設される第4の半導体磁気変換素子
29bの素子電極32との配設方向を、第1の磁気検出
素子28における素子電極32の配設方向と異なる方向
で同一し、第2の半導体磁気抵抗素子29aと第4の半
導体磁気抵抗素子29bとで対をなす。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体磁気抵抗素
子を用いて被検出体の移動を検出する移動物体検出装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】物体の回転や位置の変位を検出する移動
物体検出装置として、磁気変換作用を用いる半導体磁気
抵抗素子が使用されている。前記半導体磁気抵抗素子
は、検出出力の大きいインジユウムアンチモン(InSb)
を半導体磁気抵抗膜としたものが多く用いられ、磁性体
材料からなる被検出体、例えば歯車の正点及び逆転を検
出する移動物体検出装置としての回転検出装置に採用さ
れている。
【0003】この回転検出装置Aは、図7に示すよう
に、シリコン等の高抵抗材料からなる長方形形状の半導
体基板1に半導体磁気抵抗膜2を形成し、半導体基板1
の長手方向に対する両端にそれぞれ引き出し形成された
一対の素子電極(電極部)3を有する第1〜第4の半導
体磁気抵抗素子4,5,6,7を、永久磁石8上におい
て直線的に順次配設し、それぞれ隣り合う各半導体磁気
抵抗素子同士、即ち第1,第2の半導体磁気抵抗素子
4,5と、第3,第4の半導体磁気抵抗素子6,7とを
直列接続して第1,第2の磁気検出素子9,10を構成
し、前記各磁気検出素子9,10に駆動電圧Vinを印加
するとともに、前記各磁気検出素子9,10の中点をそ
れぞれ取り出し、この各中点電位Vout1,Vout2を検
出することによって、被検出体の回転(正点及び逆転)
を検出するものである。尚、各半導体磁気抵抗素子4,
5,6,7間の接続や、各磁気検出素子9,10の電源
供給及び信号出力における結線は、各半導体磁気抵抗素
子4,5,6,7の磁気検出面11側から配設される回
路基板によってなされる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】かかる回転検出装置A
は、第1〜第4の半導体磁気抵抗素子4,5,6,7に
おける素子電極3が半導体基板1における両端部に引き
出し形成され、各半導体磁気抵抗素子4,5,6,7の
配列方向において、それぞれ隣り合う第1,第2の半導
体磁気抵抗素子4,5と、第3,第4の半導体磁気抵抗
素子6,7とが対をなすように第1,第2の磁気検出素
子9,10を構成するため、第1の半導体磁気抵抗素子
4及び第2の半導体磁気抵抗素子5と、第3の半導体磁
気抵抗素子6及び第4の半導体磁気抵抗素子7との間に
各素子間の直列接続のための配線パターン12による引
き回しが必要となり、各半導体磁気抵抗素子4,5,
6,7間を狭くすることができず、回転検出装置Aにお
ける磁気検出部13の小型化を図ることが困難となり、
小型の被検出体(例えば、ギア)の回転検出に不利とな
るといった問題点を有している。
【0005】配線パターン12を各半導体磁気抵抗素子
4,5,6,7の磁気検出面12を通るように形成した
り、あるいは配線パターン12を回路基板上において立
体的に配設をすることも考えられるが、前者は、配線パ
ターン11から発せられる電磁波の影響、即ちノイズの
影響を受けやすくなり、また後者は、各素子間の接続,
電源供給及び信号出力を行う回路基板の構造が繁雑にな
り、回転検出装置Aのコストを高くしてしまうため、前
者,後者ともに得策ではない。
【0006】そこで、本願発明は前述した問題点に着目
し、ノイズの影響を受けにくく、また大きなコストアッ
プを招かずに磁気検出部を小型化することが可能な移動
物体検出装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、永久磁石と、前記永久磁石上に配設される
一対の半導体磁気抵抗素子からなる第1,第2の磁気検
出素子とを備え、磁性体材料からなる被検出体に前記第
1,第2の磁気検出素子を対向配置することで前記被検
出体の移動状態を検出する移動物体検出装置であって、
一端に引き出された一対の電極部を有する第1,第2,
第3,第4の半導体磁気抵抗素子を、前記永久磁石上に
おいて一列に並ぶように順次配設するとともに、前記第
1の半導体磁気抵抗素子の前記電極部と、前記第2の半
導体磁気抵抗素子を隔てて配設される前記第3の半導体
磁気変換素子の前記電極部との配設方向を同一とし、前
記第1の半導体磁気抵抗素子と前記第3の半導体磁気抵
抗素子とで対をなす前記第1の磁気検出素子と、前記第
2の半導体磁気抵抗素子の前記電極部と、前記第3の半
導体磁気抵抗素子を隔てて配設される前記第4の半導体
磁気変換素子の前記電極部との配設方向を、前記第1の
磁気検出素子における前記電極部の配設方向と異なる方
向で同一とし、前記第2の半導体磁気抵抗素子と前記第
4の半導体磁気抵抗素子とで対をなす前記第2の磁気検
出素子と、を備えてなるものである。
【0008】また、前記第1の磁気検出素子における前
記電極部の配設方向と、前記第2の磁気検出素子におけ
る前記電極部の配設方向とが反対向きの関係をなすもの
である。
【0009】また、前記各半導体磁気抵抗素子における
磁気検出面の配設位置を、前記各半導体磁気抵抗素子の
配列方向において揃えてなるものである。
【0010】また、前記各半導体磁気抵抗素子の前記電
極部と電気的に接続するフレキシブル回路基板を設け、
前記フレキシブル回路基板に備えられる配線パターンに
よって前記第1の磁気検出素子と前記第2の磁気検出素
子とを構成してなるものである。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づき説明するが、従来例と同一もしくは相当箇
所には同一符号を付してその詳細な説明は省く。尚、本
発明の実施の形態における移動物体検出装置として、車
両等に搭載される回転検出装置を挙げ説明する。
【0012】回転検出装置Aは、例えば図1に示すよう
に、ケース体20と、磁気ヘッド21と、硬質回路基板
22と、電気コード23とから構成されている。
【0013】ケース体20は、PBT(ポリブチレンテ
レフタレート)やPPS(ポリフェニレンサルファイ
ド)等の樹脂材料からなり、車両における被検出体とな
るミッションギア等の歯車24の凹凸を検出するための
検出面(底部)20aを有する筒状形状から構成され、
回転検出装置Aを構成する各部を収納する。
【0014】磁気ヘッド21は、永久磁石8と、磁石ホ
ルダー25と、後述する磁気検出素子と、フレキシブル
回路基板26とから構成されている。
【0015】磁気ヘッド21は、樹脂材料から構成され
る磁石ホルダー25が有する凹部25aに、円柱状の永
久磁石8の一部分が突出する状態にて永久磁石8を配設
し、突出した永久磁石8上の平坦部となる載置面8a
に、磁気検出素子(後述する)を配置し、この磁気検出
素子の磁気検出面に形成される素子電極とフレキシブル
回路基板26とを電気的に接合することによって構成さ
れる。
【0016】硬質回路基板22は、ガラス繊維入り樹脂
等の硬質材料から構成される。硬質回路基板22は、表
裏面に所定の配線パターンを有し、この配線パターンの
所定位置に設けられる各ランドに、磁気検出素子からの
出力を増幅したり、あるいは外来ノイズを吸収するため
の複数の電子部品27が実装されるとともに、フレキシ
ブル回路基板26が接続固定される。また、硬質回路基
板22の歯車24側には、磁石ホルダー25が配設され
るものであるが、磁石ホルダー25は、磁気検出素子の
磁気検出面がケース体20の検出面20aに沿うように
硬質回路基板22に配設される。
【0017】電気コード23は、磁気検出素子に硬質回
路基板22及びフレキシブル回路基板26を介し電源を
供給したり、硬質回路基板22及びフレキシブル回路基
板26を介して伝達される前記磁気検出素子からの出力
信号を外部に出力するためのものである。
【0018】次に、図2〜図5を用いて、磁気ヘッド2
1における磁気検出素子について詳述する。
【0019】磁気ヘッド21の磁気検出素子としては、
永久磁石8上に第1,第2の磁気検出素子28,29を
備える構成である。第1,第2の磁気検出素子28,2
9は、高抵抗材料であるシリコン(Si)からなる半導体
基板30の表面側に、インジウム(In)とアンチモン
(Sb)とを含む半導体磁気抵抗膜31を所定形状にて形
成し、半導体磁気抵抗膜31上に、例えばクロム(Cr)
と銅(Cu)との2層構造の金属薄膜からなる電気信号の
取り出し用の素子電極(外部に引き出すための電極部)
32及び抵抗値調整用の短絡電極33を形成し、素子電
極32の一部分が外部に露出するように半導体基板30
上をポリイミド等の絶縁材料からなる保護膜34によっ
て覆ってなる第1,第2,第3,第4の半導体磁気抵抗
素子28a,29a,28b,29bによって構成さ
れ、永久磁石8上において直線的に一列に並ぶよう順次
配設される。尚、前述した各半導体磁気抵抗素子28
a,29a,28b,29bは、大きさ及び形状は全て
同等である。また、各半導体磁気抵抗素子28a,29
a,28b,29bは、素子電極13が半導体基板11
の長手方向に対して一端側にそれぞれ引き出し形成され
た2端子構造をなし、各半導体磁気抵抗素子28a,2
9a,28b,29bの半導体磁気抵抗膜21の形成面
側が磁気検出面35となる。
【0020】各磁気検出素子28,29を構成する各半
導体磁気抵抗素子28a,28b,29a,29bは、
半導体基板11の長手方向が互いに対向する状態で、か
つ各半導体磁気抵抗素子28a,29a,28b,29
bの配設位置が、配列方向(横方向)において揃えられ
る状態にて永久磁石8の載置面8a上に配設される。
【0021】第1の磁気検出素子28は、第1の半導体
磁気抵抗素子28aの素子極部32と、第2の半導体磁
気抵抗素子29aを隔てて配設される第3の半導体磁気
変換素子28bの素子電極32との配設方向を同一とす
るとともに、第1の半導体磁気抵抗素子28aと第3の
半導体磁気抵抗素子28bとで対をなすように各半導体
磁気抵抗素子28a,28bが直列接続される。
【0022】第2の磁気検出素子29は、第2の半導体
磁気抵抗素子29aの素子極部32と、第3の半導体磁
気抵抗素子28bを隔てて配設される第4の半導体磁気
変換素子29bの素子電極32との配設方向を同一とす
るとともに、第1の磁気検出素子28における素子電極
32の配設方向と異なる方向、即ち第1の磁気検出素子
28における素子電極32の配設方向に対し逆向きと
し、第2の半導体磁気抵抗素子29aと第4の半導体磁
気抵抗素子29bとで対をなすように各半導体磁気抵抗
素子29a,29bが直列接続される。
【0023】従って、第1,第2の磁気検出素子28,
29を構成する各半導体磁気抵抗素子28a,28b,
29a,29bは、各磁気検出素子28,29の各素子
電極32の向きを、各半導体磁気抵抗素子28a,28
b,29a,29bの配列方向に対して略直交する方向
で、かつ互いが反対向きの関係をなすように永久磁石8
上に配設される。
【0024】第1,第2の磁気検出素子28,29にお
ける電気的な接続(直列接続)は、図1に示すフレキシ
ブル回路基板26によってなされるものである。フレキ
シブル回路基板26には、第1,第2の磁気検出素子2
8,29を電気的に構成するための配線パターン36が
設けられ、フレキシブル回路基板26による電気的な接
続によって、対をなす半導体半導体磁気抵抗素子(28
a,28b),(29a,29b)における各磁気検出
面35から構成される磁気検出部37が得られる。
【0025】配線パターン36は、第1の半導体磁気抵
抗素子28aの一方側の素子電極32に駆動電圧Vinを
接続し、第1の半導体磁気抵抗素子28aの他方側の素
子電極32と第2の半導体磁気抵抗素子28bの一方側
の素子電極32とを接続するとともに、その中点をVou
t1として取り出し、第3の半導体磁気抵抗素子28b
の他方側の素子電極32にグランドレベルを接続して第
1の磁気検出素子28を構成する。
【0026】また、配線パターン36は、第2の半導体
磁気抵抗素子29aの一方側の素子電極32に駆動電圧
Vinを接続し、第2の半導体磁気抵抗素子29aの他方
側の素子電極32と第4の半導体磁気抵抗素子29bの
一方側の素子電極32とを接続するとともに、その中点
をVout2として取り出し、第4の半導体磁気抵抗素子
29bの他方側の素子電極32にグランドレベルを接続
して第2の磁気検出素子28を構成する。
【0027】また、フレキシブル回路基板26は、各半
導体磁気抵抗素子28a,29a,28b,29bの周
囲を囲む状態にて配線パターン36がレイアウトされさ
れるとともに、各端子Vin,GND,Vout1,Vout2
は、フレキシブル回路基板26の一端側に引き出し形成
されている。
【0028】図5は、配線パターン36によって構成さ
れる第1,第2の磁気検出素子28,29の回路構成を
示している。
【0029】かかる回転検出装置Aは、半導体基板11
の一端に引き出された一対の素子電極32を有する第1
半導体磁気抵抗素子28a〜第4の半導体磁気抵抗素子
29bの4つの半導体磁気抵抗素子を永久磁石8の載置
面8aに一列に配設するとともに、第1の半導体磁気抵
抗素子28aの素子電極32と、第2の半導体磁気抵抗
素子29aを隔てて配設される第3の半導体磁気変換素
子28bの素子電極32との配設方向を同一とし、第1
の半導体磁気抵抗素子28aと第3の半導体磁気抵抗素
子28bとで対をなす第1の磁気検出素子28を構成
し、また、第2の半導体磁気抵抗素子29aの素子電極
32と、第3の半導体磁気抵抗素子28bを隔てて配設
される第4の半導体磁気変換素子29bの素子電極32
との配設方向を同一とするとともに、第1の磁気検出素
子28における素子電極32の配設方向に対し反対向き
とし、第2の半導体磁気抵抗素子29aと第4の半導体
磁気抵抗素子29bとで対をなす第2の磁気検出素子2
9を構成するものである。
【0030】従って、各磁気検出素子28,29を構成
するための配線パターン36を、従来のように各半導体
磁気抵抗素子間に設けず、各半導体磁気抵抗素子28
a,29a,28b,29bの周囲に設けることで第
1,第2の磁気検出素子28,29を構成することがで
きるため、各半導体磁気抵抗素子間を狭めることが可能
となり、磁気ヘッド21における磁気検出部37の小型
化を図ることが可能となる。
【0031】また、配線パターン36を、各半導体磁気
抵抗素子28a,29a,28b,29bの磁気検出面
35側に位置するように設けたり、またフレキシブル回
路基板26において立体的に配設しなくとも良いことか
ら、ノイズの影響を受けにくく、かつ大きなコストアッ
プを招かずに回転検出装置Aを得ることが可能となる。
【0032】また、回転検出装置Aは、各半導体磁気抵
抗素子28a,28b,29a,29bの素子電極32
と電気的に接続するフレキシブル回路基板26を設け、
このフレキシブル回路基板26に備えられる配線パター
ン36によって第1の磁気検出素子28と第2の磁気検
出素子29とを構成することから、磁気検出部37にお
ける結線を簡素化し、かつ硬質回路基板22と各磁気検
出素子28,29との電気的接続を容易に行うことがで
きる。
【0033】次に図6を用いて、本発明の他の実施の形
態について説明する。尚、従来例及び前述した実施の形
態と同一もしくは相当箇所には同一符号を付してその詳
細な説明は省く。
【0034】以下に説明する他の実施の形態において前
述した実施の形態と異なる点は、永久磁石8上に配設さ
れる各半導体磁気抵抗素子28a,29a,28b,2
9bの配置関係にある。
【0035】即ち、前述した実施の形態では、各半導体
磁気抵抗素子28a,29a,28b,29bの配置関
係が、各素子の配設位置が配列方向において揃えられる
状態であるのに対し、本発明の他の実施の形態では、各
半導体磁気抵抗素子28a,29a,28b,29bに
おける磁気検出面35の配設位置が配列方向において揃
えられる状態にて、各半導体磁気抵抗素子28a,29
a,28b,29bを永久磁石8上に配設するものであ
る。
【0036】このような配置関係にある各半導体磁気抵
抗素子28a,29a,28b,29bを備えた磁気ヘ
ッド21は、各半導体磁気抵抗素子28a,29a,2
8b,29b自体の配設位置を配列方向に単に揃えた場
合の磁気検出部37の幅W1に比べ、磁気検出部37の
幅W2を広く確保することが可能となることから(W1
<W2)、被検出体の移動に伴う磁束の変化を良好に検
出することが可能となる。また、回転検出装置Aを被検
出体となる歯車24に対向配置する際に、磁気検出部3
7の幅W2を広く確保することにより、回転検出装置A
における磁気ヘッド21の配設位置を厳密に設定しなく
歯車24の移動に伴う磁束の変化を検出することが可能
となり、回転検出装置Aにおける取り付け作業性を向上
させることが可能となる。
【0037】尚、前述した実施の形態では、回転検出装
置Aを例に挙げて説明した、例えば、2個一対の半導体
磁気抵抗素子を2組備え、左右に移動する被検出体の移
動状態を検出する移動物体検出装置であっても良く、本
発明は、前述した回転検出装置に限定されなるものでは
ない。
【0038】
【発明の効果】本発明は、永久磁石と、前記永久磁石上
に配設される一対の半導体磁気抵抗素子からなる第1,
第2の磁気検出素子とを備え、磁性体材料からなる被検
出体に前記第1,第2の磁気検出素子を対向配置するこ
とで前記被検出体の移動状態を検出する移動物体検出装
置であって、一端に引き出された一対の電極部を有する
第1,第2,第3,第4の半導体磁気抵抗素子を、前記
永久磁石上において一列に並ぶように順次配設するとと
もに、前記第1の半導体磁気抵抗素子の前記電極部と、
前記第2の半導体磁気抵抗素子を隔てて配設される前記
第3の半導体磁気変換素子の前記電極部との配設方向を
同一とし、前記第1の半導体磁気抵抗素子と前記第3の
半導体磁気抵抗素子とで対をなす前記第1の磁気検出素
子と、前記第2の半導体磁気抵抗素子の前記電極部と、
前記第3の半導体磁気抵抗素子を隔てて配設される前記
第4の半導体磁気変換素子の前記電極部との配設方向
を、前記第1の磁気検出素子における前記電極部の配設
方向と異なる方向で同一とし、前記第2の半導体磁気抵
抗素子と前記第4の半導体磁気抵抗素子とで対をなす前
記第2の磁気検出素子と、を備えたものであり、前記各
磁気検出素子を構成するための配線パターンを、前記各
半導体磁気抵抗素子の周囲に設けることができるため、
前記各半導体磁気抵抗素子間を狭めることが可能とな
り、移動物体検出装置の磁気ヘッドにおける磁気検出部
の小型化を図ることが可能となる。
【0039】また、前記配線パターンを周囲に設けるこ
とで、ノイズの影響を受けにくく、かつ大きなコストア
ップを招かずに移動物体検出装置を得ることが可能とな
る。
【0040】また、前記第1の磁気検出素子における前
記電極部の配設方向と、前記第2の磁気検出素子におけ
る前記電極部の配設方向とが反対向きの関係をなすもの
であることから、前記各半導体磁気抵抗素子の周囲に前
記配線パターンに配設することが可能となることから、
前記磁気検出部の小型化を図ることが可能であるととも
に、前記配線パターンのレイアウト構成を簡素化するこ
とができる。
【0041】また、前記各半導体磁気抵抗素子における
磁気検出面の配設位置を、前記各半導体磁気抵抗素子の
配列方向において揃えることから、前記磁気検出面によ
り構成される磁気検出部の幅を広く確保することが可能
となり、被検出体の移動に伴う磁束の変化を良好に検出
することが可能となる。
【0042】また、前記各半導体磁気抵抗素子の前記電
極部と電気的に接続するフレキシブル回路基板を設け、
前記フレキシブル回路基板に備えられる配線パターンに
よって前記第1の磁気検出素子と前記第2の磁気検出素
子とを構成することから、前記磁気検出部における結線
を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の回転検出装置を示す要部
断面図。
【図2】同上実施の形態の磁気検出部を示す図。
【図3】同上実施の形態の半導体磁気抵抗素子を示す斜
視図。
【図4】同上実施の形態の半導体磁気抵抗素子を示す要
部断面図。
【図5】同上実施の形態の磁気検出部の回路構成を示す
図。
【図6】本発明における他の実施の形態の磁気検出部を
示す図。
【図7】従来の回転検出器の磁気検出部を示す図。
【符号の説明】
A 回転検出装置(移動物体検出装置) 20 ケース体 21 磁気ヘッド 22 硬質回路基板 23 電気コード 24 歯車(被検出体) 25 磁石ホルダー 26 フレキシブル回路基板 27 電子部品 28 第1の磁気検出素子 28a 第1の半導体磁気抵抗素子 28b 第3の半導体磁気抵抗素子 29 第2の磁気検出素子 29a 第2の半導体磁気抵抗素子 29b 第4の半導体磁気抵抗素子 30 半導体基板 31 半導体磁気抵抗素膜 32 素子電極(電極部) 33 短絡電極 34 保護膜 35 磁気検出面 36 配線パターン 37 磁気検出部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01D 5/245 G01D 5/245 Y H02K 29/08 H02K 29/08

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 永久磁石と、前記永久磁石上に配設され
    る一対の半導体磁気抵抗素子からなる第1,第2の磁気
    検出素子とを備え、磁性体材料からなる被検出体に前記
    第1,第2の磁気検出素子を対向配置することで前記被
    検出体の移動状態を検出する移動物体検出装置であっ
    て、 一端に引き出された一対の電極部を有する第1,第2,
    第3,第4の半導体磁気抵抗素子を、前記永久磁石上に
    おいて一列に並ぶように順次配設するとともに、 前記第1の半導体磁気抵抗素子の前記電極部と、前記第
    2の半導体磁気抵抗素子を隔てて配設される前記第3の
    半導体磁気変換素子の前記電極部との配設方向を同一と
    し、前記第1の半導体磁気抵抗素子と前記第3の半導体
    磁気抵抗素子とで対をなす前記第1の磁気検出素子と、 前記第2の半導体磁気抵抗素子の前記電極部と、前記第
    3の半導体磁気抵抗素子を隔てて配設される前記第4の
    半導体磁気変換素子の前記電極部との配設方向を、前記
    第1の磁気検出素子における前記電極部の配設方向と異
    なる方向で同一とし、前記第2の半導体磁気抵抗素子と
    前記第4の半導体磁気抵抗素子とで対をなす前記第2の
    磁気検出素子と、 を備えてなることを特徴とする移動物体検出装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の磁気検出素子における前記電
    極部の配設方向と、前記第2の磁気検出素子における前
    記電極部の配設方向とが反対向きの関係をなすことを特
    徴とする請求項1に記載の移動物体検出装置。
  3. 【請求項3】 前記各半導体磁気抵抗素子における磁気
    検出面の配設位置を、前記各半導体磁気抵抗素子の配列
    方向において揃えてなることを特徴とする請求項1もし
    くは請求項2に記載の移動物体検出装置。
  4. 【請求項4】 前記各半導体磁気抵抗素子の前記電極部
    と電気的に接続するフレキシブル回路基板を設け、前記
    フレキシブル回路基板に備えられる配線パターンによっ
    て前記第1の磁気検出素子と前記第2の磁気検出素子と
    を構成してなることを特徴とする請求項1から請求項3
    の何れかに記載の移動物体検出装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013036862A (ja) * 2011-08-09 2013-02-21 Alps Electric Co Ltd 磁気検出装置とその製造方法
WO2022107766A1 (ja) * 2020-11-23 2022-05-27 パナソニックIpマネジメント株式会社 磁気センサ

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