JP2013006746A - プレス成形用ガラス素材およびその製造方法、ならびに光学素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学ガラスからなる芯部と、該芯部を被覆する表面層と、を有するプレス成形用ガラス素材。前記表面層は、プレス成形時に成形型成形面と接触する最表層および該最表層と隣接する中間層を含み、前記最表層は、三液法によって測定される表面自由エネルギーが75mJ/m2以下であって膜厚15nm未満の珪素酸化物膜であり、前記中間層は、化学量論組成に基づく珪素酸化物との結合半径差が0.10Å超の膜材からなる膜であり、ただし前記結合半径差が0.10超Åかつ0.40Å以下の場合、その膜厚は5nm以下である。
【選択図】なし
Description
上記先願に記載のプレス成形用ガラス素材ではプレス成形によりガラスを大きく変形すべき場合に所望の形状のガラス成形体を得ることが困難な理由の1つとして、ガラスの変形に膜が追従できずに膜切れ(クラック)が起こり、膜による融着抑制効果を得ることができなくなることが挙げられる。
そこで膜切れを起こさないように膜厚を厚くすることが考えられるが、本発明者らの検討の結果、上記珪素酸化物膜は膜厚を15nm以上に厚くしても所望形状のガラス成形体を得ることは困難であることが判明した。これは、上記珪素酸化物膜は膜厚が15nm以上になると量子サイズ効果を消失し膜が伸び難くなる結果、変形抵抗(剪断抵抗)が大きくなり膜を追従させつつガラスを変形させること困難になるからであると、本発明者らは推察している。他方、上記変形抵抗に打ち勝つ大きなプレス圧を加えてガラスを変形させようとすると膜切れが発生してしまう。
以上の点を鑑みて本発明者らは、上記先願に記載の珪素酸化物膜に、その膜厚を変えることなくプレス成形時のガラスの大きな変形に追従し得る伸び易さを付与するための手段を見出すために相当数の試行錯誤を重ねた。その結果、芯部のガラスと前記珪素酸化物膜との間に、該珪素酸化物膜に隣接する層として所定の膜材からなる中間層を設けることで、ガラスの大きな変形に追従するに足る伸び易さを有する複層膜によって芯部ガラスを被覆することができることを新たに見出し、本発明を完成するに至った。
[1]光学ガラスからなる芯部と、該芯部を被覆する表面層と、を有するプレス成形用ガラス素材であって、
前記表面層は、プレス成形時に成形型成形面と接触する最表層および該最表層と隣接する中間層を含み、
前記最表層は、三液法によって測定される表面自由エネルギーが75mJ/m2以下であって膜厚15nm未満の珪素酸化物膜であり、
前記中間層は、化学量論組成に基づく珪素酸化物との結合半径差が0.10Å超の膜材からなる膜であり、ただし前記結合半径差が0.10超Åかつ0.40Å以下の場合、その膜厚は5nm以下であることを特徴とするプレス成形用ガラス素材。
[2]前記中間層は、ジルコニア、ビスマス、イットリウム、ランタノイド、亜鉛、またはチタンの酸化物膜であり、ただし中間層が亜鉛酸化物膜およびチタン酸化物膜である場合、その膜厚は5nm以下である、[1]に記載のプレス成形用ガラス素材。
[3]前記最表層の三液法により測定される水素結合エネルギーは39.0mJ/m2以下である[1]または[2]に記載のプレス成形用ガラス素材。
[4]プレス成形によって得るガラス成形体に対して、下記式(A):
外径の変化率(%)=|1−(ガラス成形体の外径/プレス成形用ガラス素材の外径)|×100 …(A)
により算出される外径変化率が40%以上となる形状を有する[1]〜[3]のいずれかに記載のプレス成形用ガラス素材。
[5]プレス成形により、光学機能部と、該光学機能部を取り囲む鍔部とを含むガラス成形体を得るために使用される[1]〜[4]のいずれかに記載のプレス成形用ガラス素材。
[6]前記光学ガラスは、W、Ti、Bi、およびNbからなる群から選ばれる少なくとも一種の易還元成分を含む[1]〜[5]のいずれかに記載のプレス成形用ガラス素材。
[7][1]〜[6]のいずれかに記載のプレス成形用ガラス素材の製造方法であって、
前記最表層を、酸素含有率が5体積%以上20体積%未満の酸素と不活性ガスとの混合ガス雰囲気下でSiO2からなる成膜材料を用いて成膜処理を行うことにより形成することを特徴とする、前記製造方法。
[8]前記中間層を、酸素含有雰囲気中における成膜処理により形成することを更に含む、[7]に記載の製造方法。
[9]前記成膜処理をスパッタ法により行う[7]または[8]に記載の製造方法。
[10]光学素子の製造方法であって、
[1]〜[6]のいずれかに記載のプレス成形用ガラス素材を加熱し、プレス成形型を用いてプレス成形によりガラス成形体を得て、該ガラス成形体そのものとして、または該ガラス成形体を後加工に付して前記光学素子を得る、前記製造方法。
[11]前記プレス成形において、下記式(A):
外径の変化率(%)=|1−(ガラス成形体の外径/プレス成形用ガラス素材の外径)|×100 …(A)
により算出される外径変化率は40%以上である[10]に記載の光学素子の製造方法。
[12]前記プレス成形により、光学機能部と、該光学機能部を取り囲む鍔部とを含むガラス成形体を得る[10]または[11]に記載の製造方法。
本発明のプレス成形用ガラス素材は、光学ガラスからなる芯部と、該芯部を被覆する表面層と、を有する。ここで前記表面層は、プレス成形時に成形型成形面と接触する最表層および該最表層と隣接する中間層を含み、前記最表層は、三液法によって測定される表面自由エネルギーが75mJ/m2以下であって膜厚15nm未満の珪素酸化物膜であり、前記中間層は、化学量論組成に基づく珪素酸化物との結合半径差が0.10Å超の膜材からなる膜であり、ただし前記結合半径差が0.10超Åかつ0.40Å以下の場合、その膜厚は5nm以下である。
更に本発明のプレス成形用ガラス素材は、プレス成形により芯部の光学ガラスを大きく変形すべき場合にも芯部の変形に表面層が追従することができる。表面層の追従が不十分であると、変形不足や変形不良、または表面層のクラック発生による融着発生によって所望形状のガラス成形体を得ることが困難となるのに対し、本発明のプレス成形用ガラス素材によれば、所望の変形量と融着防止を両立し、所望形状のガラス成形体を得ることが可能となる。
以下、上記複層膜について、更に詳細に説明する。
γ=γa+γb+γc …(1)
なお本発明者らの検討によれば、従来の成膜方法で形成される珪素酸化物膜と比べて酸素を多く含有させることで、珪素酸化物膜の三液法による表面自由エネルギーを低下させることができる。即ち、化学量論組成に対して酸素過剰になると、化学量論組成の珪素酸化物膜(SiO2膜)と比べて三液法による表面自由エネルギーは低下する。そして三液法による表面自由エネルギーが75mJ/m2以下である珪素酸化物膜により、プレス成形時の成形型とプレス成形用ガラス素材との融着を抑制できるのであるが、この表面自由エネルギーの低下は、主に水素結合エネルギーが低下することによるものであることも、本発明者らの検討の結果、明らかとなった。具体的には本発明のプレス成形用ガラス素材の最表層を構成する珪素酸化物膜は、三液法により測定される水素結合エネルギーが39.0mJ/m2以下、例えば30.0mJ/m2以上39.0mJ/m2以下であることができる。
(1)化学量論組成の結合半径差が0.10Å以下の膜材は中間層膜材として使用不可;
(2)化学量論組成の結合半径差が0.10Å超かつ0.40Å以下(好ましくは0.20Å以上0.40Å以下)の膜材は膜厚が5nm以下であれば中間層膜材として使用可能。;
(3)化学量論組成の結合半径差が0.40Å超(好ましくは0.50Å以上0.90Å以下)の膜材は膜厚問わず中間層膜材として使用可能。
ここで上記(2)において膜厚が5nm以下に規定される理由は、5nm超ではガラスの大きな変形に追従し得るほどの伸び易さを示す表面層を形成できないからであるが、この点について本発明者らは、上記(2)のように結合半径差が比較的小さい場合、複層化した膜同士の剪断抵抗の周期的変動差が小さくなり、結果として複層化による表面層全体の剪断抵抗の低減効果が低くなることが要因であると推察している。ここで膜厚を薄くすれば、中間層内部の相互の束縛エネルギーを低下させる、言い換えれば量子サイズ効果を増大させることができるため、表面層全体の剪断抵抗を低減させることが可能となることが、上記(2)の関係を満たす膜材からなる中間層については、膜厚を5nm以下とすべき理由であると考えている。
以上説明した化学量論組成の結合半径は、膜中の原子間の結合様式に応じて、例えば共有結合半径、イオン結合半径、ファンデルワールス半径、または金属結合半径である。これら結合半径は、いずれも文献公知の値であり、また各種計算ソフトにより、または化学便覧等に記載の文献値により、容易に算出することができる。
これに対し本発明のプレス成形用ガラス素材の表面層は酸化物膜から構成されるものであり、これらは上記高屈折率付与成分(易還元成分でもある)との反応性に乏しい。したがって、上記高屈折率付与成分を含む光学ガラスのプレス成形においても、高屈折率付与成分と膜材との反応に起因する各種不良の発生を回避することができる。
以上の理由から、本発明のプレス成形用ガラス素材の芯部を構成する光学ガラスは、W、Ti、Bi、およびNbからなる群から選ばれる少なくとも一種の易還元成分を含むものであることが好ましい。特に、上記易還元成分の含有量が合計で5モル%以上(例えば、10〜65モル%、より好ましくは、15〜55モル%)であるときに、本発明の適用が有効である。上記易還元成分を含む光学ガラスの中でも、特に、炭素系薄膜と反応しやすく、炭素系薄膜では成形型との融着防止が困難なガラスとしては、リン酸系光学ガラスおよびホウ酸系ガラスが挙げられる。したがって本発明はこれらガラスを芯部とするプレス成形用ガラス素材であることが、特に好ましい。そのようなリン酸系光学ガラスとしては、特開2011−1259号公報に記載の、モル%表示で、P2O5;10〜45%、Nb2O5;3〜35%、Li2O;0〜35%、TiO2;0〜25%、WO3;0〜20%、Bi2O3;0〜40%、B2O3;0〜20%、BaO;0〜25%、ZnO;0〜25%、Na2O;0〜50%、K2O;0〜20%、Al2O3;0〜15%、SiO2;0〜15%(但し、WO3、TiO2、Bi2O3およびNb2O5の合計量が10%以上、65%未満)、F;全酸素量に対して0〜10%、を含む光学ガラスを挙げることができる。当該ガラスの詳細については、特開2011−1259号公報段落[0031]〜[0051]を参照できる。また、ホウ酸系光学ガラスとしては、特開2009−40647号公報段落[0012]〜[0134]に記載のホウ酸ビスマス系光学ガラス、例えば、カチオン%表示でBi3+ 30〜70%、B3+ 5〜50%、Si4+ 0.5〜50%、Al3+ 1〜20%、Ca2+ 0.5〜20%、Mg2+ 0〜15%、Sr2+ 0〜10%を含み、Ca2+、Mg2+およびSr2+の合計含有量が1〜20%、カチオン比でAl3+/(Ca2++Mg2++Sr2+)が0.2〜20であるホウ酸ビスマス系光学ガラスを挙げることができる。
外径の変化率(%)=|1−(ガラス成形体の外径/プレス成形用ガラス素材の外径)|×100 …(A)
により算出される外径変化率が40%以上となる大きな変形量でのプレス成形を良好に行い、所望形状のガラス成形体を得ることができる。例えば、プレス成形前のガラス素材の外径寸法が10.0mmで、プレス後のガラス成形体の外径寸法が15.0mmとした場合、式(A)から、外径の変化率は50%となる。
上記外径変形率の上限値は、特に限定されるものではないが、例えば60%以下、更には55%以下または50%以下であることができる。
中心肉厚の変化率(%)=|1−(ガラス成形体の中心肉厚/プレス成形用ガラス素材の中心肉厚)|×100 …(B)
により算出される中心肉厚変化率として、1%以上であることが好ましく、5%以上であることが好ましい。これは中心肉厚の変化率が1%未満になると、ガラスプリフォームの主表面と成形型の成形面との間にガス溜まりが生じて、ガラス成形体の面精度が低下する場合があるからである。なお、前記の光学機能部の周囲に鍔部を有する形状の光学素子を得るためのプレス成形では、通常、50%以下、更には30%以下または20%以下である。
図2に示したガラス成形体は、外周部を芯取り加工(研削加工)することにより、図3に示すガラス光学素子とすることができる。芯取り加工により研削された外周端面は、表面層も除去されている。
本発明のプレス成形用ガラス素材は、芯部1となるガラスを所定の体積および所定の形状に予備成形したものを用いて作製することができる。この予備成形は、例えば、ブロック状の光学ガラスから切り出したものを、研削や研磨によって所定体積、所定形状に予備成形することにより行うことができる。
本発明は、前記した本発明のプレス成形用ガラス素材の製造方法にも関する。本発明のプレス成形用ガラス素材の製造方法は、前記最表層を、酸素含有率が5体積%以上20体積%未満の酸素と不活性ガスとの混合ガス雰囲気下でSiO2からなる成膜材料を用いて成膜処理を行うことにより形成する。
本発明の光学素子の製造方法は、本発明のプレス成形用ガラス素材を加熱し、プレス成形型を用いてプレス成形によりガラス成形体を得て、該ガラス成形体そのものとして、または該ガラス成形体を後加工に付して前記光学素子を得るものである。上記プレス成形は、精密プレス成形法により行うことが、先に説明したように安価に高品質な光学素子を得るうえで好ましい。
プレス成形にあたっては、図4に示すように、上型4、下型5および胴型6を含む成形型7内にプレス成形用ガラス素材PFを供給し、プレスに適した温度域に昇温する。例えば、加熱温度は芯部1の光学ガラスの種類によって適宜設定されるが、プレス成形用ガラス素材PFと成形型7が、プレス成形用ガラス素材PFの粘度が105〜1010dPa・sになる温度域にあるときプレス成形を行うことが好ましい。プレス温度は、例えば芯部1を構成する光学ガラスが107.2dPa・s相当前後となる温度が好ましく、芯部1が107.2dPa・s相当となる温度が800℃以下、好ましくは750℃以下、更に好ましくは650℃以下であるようにすることが、ガラスの選択の指標となり得る。プレス成形は、プレスヘッド8を降下させ所定の荷重を印加することにより行うことができる。
[例1]
1.プレス成形用ガラス素材の作製
(1)芯部ガラスの予備成形
下記表2に記載した組成を有する光学ガラスを、熔融状態から受け型に滴下、冷却し、図1に示すような片側を凸面、反対側を凹面とした形状のガラス塊(ガラス素材の芯部)を予備成形した。芯部ガラスの外径寸法は8.8mm、中心肉厚は1.6mmであった。
次いで、以下の方法により、ガラス素材の芯部の表面に表4に示す各種膜厚のジルコニア酸化物膜を形成した。
すなわち、複数の芯部を保持するトレーと、これに対向するターゲット基材(ここではZr)を収容するチャンバー(スパッタ室)とを備えるスパッタ装置を用いて、スパッタ法によるジルコニア酸化物膜の成膜を実施した。まず、トレーに配置したガラス素材の芯部をチャンバー外で表面温度200℃程度に予備加熱してから、チャンバー内に搬送した。次いで、チャンバー内を真空排気しながら、ガラス芯部を加熱ヒーターで表面温度300℃程度に加熱した。チャンバー内の真空度が1×10-5Torr以下になるまで排気した後、10体積%の酸素を含む酸素とアルゴンの混合ガスをスパッタガスとして導入し、高周波出力を250Wとして、ターゲット基材をArイオンでスパッタリングし、ターゲットのZrを酸化物として芯部ガラスの表面に付着、堆積させた。しかる後、チャンバー内を冷却し、成膜後のガラス素材をトレーごと取り出した。膜厚はスパッタ時間により制御した。
次いで、以下の方法により、上記(2)で形成したジルコニア酸化物膜上に珪素酸化物膜を形成した
すなわち、芯部上に中間層が形成された複数の被成膜体を保持するトレーと、これに対向するターゲット基材(ここでは、純度99質量%以上の石英ガラス)を収容するチャンバー(スパッタ室)とを備えるスパッタ装置を用いて、スパッタ法による珪素酸化物の成膜を実施した。まず、トレーに配置した被成膜体を表面温度200℃程度に予備加熱してから、チャンバー内に搬送した。次いで、チャンバー内を真空排気しながら、被成形体を加熱ヒーターで表面温度300℃程度に加熱した。チャンバー内の真空度が1×10-5Torr以下になるまで排気した後、10体積%の酸素を含む酸素とアルゴンの混合ガスをスパッタガスとして導入し、高周波出力を250Wとして、ターゲット基材をArイオンでスパッタリングし、被成膜体の最表面のジルコニア酸化物膜表面に付着、堆積させた。しかる後、チャンバー内を冷却し、成膜後のガラス素材をトレーごと取り出した。
(1)表面自由エネルギーの測定
上記1.で作製したプレス成形用ガラス素材最表面、即ち最表層の珪素酸化物膜表面の三液法による表面自由エネルギーを、以下の方法で測定した。
始めに表1記載の超純水、グリセリンおよびジヨードメタンをそれぞれ作製したプレス成形用ガラス素材に滴下し、各接触角θ1、θ2、θ3を測定した。
次に以下の逆行列式に、表1記載の各液体のパラメーターおよび測定した接触角を代入した。
最後に上記結果から作製したプレス成形用ガラス素材の表面自由エネルギーγSを以下の式によって算出した。
γS=γs a+γs b+γs c
ジルコニア酸化物膜の膜厚にかかわらず、測定される表面自由エネルギーは68.2mJ/m2、構成成分である非極性エネルギー、水素結合エネルギー、双極子エネルギーは、下記表3に示す値となった。
下記3.と同様の方法で最表層の同定および膜厚測定を行ったところ、最表層は珪素酸化物膜であること、その膜厚は5nmであることが確認された。
上記1.(2)で芯部ガラスの表面に形成された中間層の膜厚については、平板ガラスの一部にマスキングを施し、芯部ガラス上に中間層を形成する際と同一の条件で当該平板ガラス上に成膜した後、マスクを剥がして、成膜部とマスク部との高さの差を原子間力顕微鏡(AFM)で観察することにより測定された膜厚を、芯部ガラス上に形成された中間層の膜厚とした。中間層の同定は、上記成膜部において、電子顕微鏡(SEM)付属のX線光電子分光分析装置(XPS)、またはエネルギー分散型X線分光法(EDX)を用いて、表面の組成分析を行うことにより実施した。各例において、中間層は下記表4に示す材料から構成されていること、および下記表4に示す膜厚を有することが確認された。
次いで、上記各ガラス素材を図4に示すモールドプレス成形装置により窒素ガス雰囲気下でプレス成形した。すなわち、まず成形面にスパッタ法による炭素含有離型膜を形成したSiC製の上下型と、これらの上下型を同軸上に保持する胴型からなる成形型を用い、上下型で上記ガラス素材PFを挟持するように成形型内にガラス素材を供給した。そして、雰囲気に非酸化性のN2ガスが充満した成形装置のチャンバー内に成形型を投入し、成形型およびガラス素材PFをガラス素材PFの屈伏点Ts+40℃〜屈伏点Ts−10℃の範囲に加熱した。次いで、成形型を180〜260kg/cm2で加圧するとともに成形型を所定の冷却速度で冷却し、成形型の温度が460℃になった時点で加圧を終了した。次いで、成形型を急冷し、180℃以下になったところで成形型をチャンバー内から取り出し、成形型を分解して成形型内のガラス成形体を取り出した。
上記4.で使用した成形型を使用した場合、所望の変形量でプレス成形を行うことができれば、得られる成形体は図2に断面形状を示すように光学機能部の周囲に鍔部を有する形状であり、その外径寸法dは13.00mm、中心肉厚は1.40mmであり、プレス成形による外径の変化率は47.0%、中心肉厚の変化率が14.0%となる。
上記4.で得られた各ガラスレンズの形状を成形装置に組み込まれた肉厚測定装置により測定し中心肉厚が1.40mm以下であったものは良品、1.40mmを超えたものは不良品と判定し、また成形装置から取り出して外径測定した結果、外径寸法が13.00mm以上であったものは良品、13.00mmに満たなかったものは不良品と判定し、良品をOK、不良品をNGとして評価した。
中間層形成に使用するターゲットをBiとした点を除き、例1と同様の方法でプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材について、例1中の3.〜5.と同様の工程を実施した。
中間層形成に使用するターゲットをYとした点を除き、例1と同様の方法でプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材について、得られたプレス成形用ガラス素材に対して、例1中の3.〜5.と同様の工程を実施した。
中間層形成に使用するターゲットをLaとした点を除き、例1と同様の方法でプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材について、得られたプレス成形用ガラス素材について、例1中の3.〜5.と同様の工程を実施した。
中間層形成に使用するターゲットをZnとした点を除き、例1と同様の方法でプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材について、得られたプレス成形用ガラス素材に対して、例1中の3.〜5.と同様の工程を実施した。
中間層形成に使用するターゲットをTiとした点を除き、例1と同様の方法でプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材について、得られたプレス成形用ガラス素材に対して、例1中の3.〜5.と同様の工程を実施した。
中間層形成に使用するターゲットをCrとした点を除き、例1と同様の方法でプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材について、得られたプレス成形用ガラス素材に対して、例1中の3.〜5.と同様の工程を実施した。
中間層形成に使用するターゲットをSiNとした点を除き、例1と同様の方法でプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材について、得られたプレス成形用ガラス素材に対して、例1中の3.〜5.と同様の工程を実施した。
中間層形成に使用するターゲットをSiCとした点を除き、例1と同様の方法でプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材について、得られたプレス成形用ガラス素材に対して、例1中の3.〜5.と同様の工程を実施した。
例1〜例4では、中間層膜厚にかかわらずプレス成形により形状不良のない良品を得ることができた。
一方、例5および例6では、中間層膜厚が5nm以下において良品を得ることができたが、例7〜9では中間層膜厚にかかわらず良品を得ることはできなかった。
最表層成膜時のスパッタガスとして100%アルゴンを使用した点を除き、例1〜例4と同様の工程を実施し、芯部ガラス上に中間層と最表層が形成されたプレス成形用ガラス素材を得た。
例10で得たプレス成形用ガラス素材について例1と同様の方法で最表層の評価を行ったところ、例1と同様に、最表層は珪素酸化物膜であること、その膜厚は5nmであることが確認された。また、表面自由エネルギーとその構成成分の値は、下記表6に示す通りであった。例11〜例13も同様の条件および方法で最表層を形成したため、形成された最表層の組成、表面性、および膜厚は例10と同様となる。また、例10〜例13では、中間層は例1〜例4と同様の条件および方法で形成したため、中間層の組成および膜厚は、例1〜例4と同様となる。
ガラス素材をモールドプレス成形装置により窒素ガス雰囲気下でプレス成形した。具体的には、まず成形面にスパッタ法による炭素含有離型膜を形成したSiC製の上下型と、これらの上下型を同軸上に保持する胴型からなる成形型を用い、上下型で上記ガラス素材を挟持するように成形型内にガラス素材を供給した。そして、雰囲気に非酸化性のN2ガスを充満させた成形装置のチャンバー内に成形型を投入し、成形型およびガラス素材をガラス素材の屈伏点Ts+40℃〜屈伏点Ts−10℃の範囲に加熱した。次いで、成形型を180〜260kg/cm2で加圧するとともに成形型を所定の冷却速度で冷却し、成形型の温度が460℃になった時点で加圧を終了した。次いで、成形型を急冷し、180℃以下になったところで成形型をチャンバー内から取り出し、成形型を分解して成形型内のガラス成形体を取り出した。成形体の外径寸法dは21.5mm、中心肉厚は2.65mmであり、プレス成形による外径の変化率は22.2%であり、中心肉厚の変化率は18.2%であった。
次いで、プレス成形体の外周部を研削加工により心取りを行い、φ18mmの凸メニスカス形状の非球面ガラスレンズを得た。
得られたガラスレンズの融着による不良の有無を上記と同様の方法で評価したところ、下記表8に示すように中間層の膜厚にかかわらず型との融着が発生した。
スパッタ時間を延長し最表層を形成した点を除き、例1と同様の工程を実施し、芯部ガラス上に中間層と最表層が形成されたプレス成形用ガラス素材を得た。
例1と同様の方法で最表層の評価を行ったところ、上記各例と同様に、最表層は珪素酸化物膜であること、その膜厚は15nmであることが確認された。また、表面自由エネルギーとその構成成分の値は、例1と同様の値であった。中間層は例1と同様の条件および方法で形成したため、中間層の組成および膜厚は、例1と同様となる。
例14で得たプレス成形用ガラス素材を用いて、例1と同様の方法で光学機能部の周囲に鍔部を有するガラスレンズを作製した。作製したガラスレンズの形状を例1と同様の方法で評価したところ、下記表9に示すように、中間層膜厚にかかわらずすべてのレンズにおいて評価結果はNGであった。
最表層成膜時のスパッタガスとして、下記表9に示す割合で酸素を含む酸素とアルゴンとの混合ガスを使用した点を除き、例1と同様の工程を実施し、芯部ガラス上に中間層と最表層が形成されたプレス成形用ガラス素材を得た。
例1と同様の方法で最表層の表面自由エネルギーを測定した。得られた結果を、例1(スパッタガス中の酸素導入率10体積%)および例10(スパッタガスとして100%アルゴンガス)で得られた結果とともに、下記表10に示す。
酸素導入率5体積%、15体積%、20体積%の条件で作製したプレス成形用ガラス素材を用いて例1と同様の方法でプレス成形を行ったところ、酸素導入率5体積%、15体積%の条件で作製したプレス成形用ガラス素材を用いた場合には、例1等と同様に成形型との融着は見られなかったのに対し、酸素導入率20体積%の条件で作製したプレス成形用ガラス素材を用いた場合には、例10等と同様に成形型との融着が発生したことが確認された。
Claims (12)
- 光学ガラスからなる芯部と、該芯部を被覆する表面層と、を有するプレス成形用ガラス素材であって、
前記表面層は、プレス成形時に成形型成形面と接触する最表層および該最表層と隣接する中間層を含み、
前記最表層は、三液法によって測定される表面自由エネルギーが75mJ/m2以下であって膜厚15nm未満の珪素酸化物膜であり、
前記中間層は、化学量論組成に基づく珪素酸化物との結合半径差が0.10Å超の膜材からなる膜であり、ただし前記結合半径差が0.10超Åかつ0.40Å以下の場合、その膜厚は5nm以下であることを特徴とするプレス成形用ガラス素材。 - 前記中間層は、ジルコニア、ビスマス、イットリウム、ランタノイド、亜鉛、またはチタンの酸化物膜であり、ただし中間層が亜鉛酸化物膜およびチタン酸化物膜である場合、その膜厚は5nm以下である、請求項1に記載のプレス成形用ガラス素材。
- 前記最表層の三液法により測定される水素結合エネルギーは39.0mJ/m2以下である請求項1または2に記載のプレス成形用ガラス素材。
- プレス成形によって得るガラス成形体に対して、下記式(A):
外径の変化率(%)=|1−(ガラス成形体の外径/プレス成形用ガラス素材の外径)|×100 …(A)
により算出される外径変化率が40%以上となる形状を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載のプレス成形用ガラス素材。 - プレス成形により、光学機能部と、該光学機能部を取り囲む鍔部とを含むガラス成形体を得るために使用される請求項1〜4のいずれか1項に記載のプレス成形用ガラス素材。
- 前記光学ガラスは、W、Ti、Bi、およびNbからなる群から選ばれる少なくとも一種の易還元成分を含む請求項1〜5のいずれか1項に記載のプレス成形用ガラス素材。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のプレス成形用ガラス素材の製造方法であって、
前記最表層を、酸素含有率が5体積%以上20体積%未満の酸素と不活性ガスとの混合ガス雰囲気下でSiO2からなる成膜材料を用いて成膜処理を行うことにより形成することを特徴とする、前記製造方法。 - 前記中間層を、酸素含有雰囲気中における成膜処理により形成することを更に含む、請求項7に記載の製造方法。
- 前記成膜処理をスパッタ法により行う請求項7または8に記載の製造方法。
- 光学素子の製造方法であって、
請求項1〜6のいずれか1項に記載のプレス成形用ガラス素材を加熱し、プレス成形型を用いてプレス成形によりガラス成形体を得て、該ガラス成形体そのものとして、または該ガラス成形体を後加工に付して前記光学素子を得る、前記製造方法。 - 前記プレス成形において、下記式(A):
外径の変化率(%)=|1−(ガラス成形体の外径/プレス成形用ガラス素材の外径)|×100 …(A)
により算出される外径変化率は40%以上である請求項10に記載の光学素子の製造方法。 - 前記プレス成形により、光学機能部と、該光学機能部を取り囲む鍔部とを含むガラス成形体を得る請求項10または11に記載の製造方法。
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