JP2012507842A - 逆伝導半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図6
Description
第6の電気的絶縁層6は、エミッタ側面104に配置され、第4の層4およびベース層101をカバーし、第3の層3を部分的にカバーする。電気的導電性の第5の層5は、第6の層6に完全に埋め込まれている。第4の層4の中央部上に、第3または第6の層3、6は、配置されない。
第1の導電型(例えば、n型)の第1の層および第2の導電型(例えば、p型)の第2の層は、コレクタ側面上に交互に配置される。第1の層は、少なくとも1つの第1の領域および少なくとも1つの第1のパイロット領域を具備する。各第1の領域は、第1の領域境界によって囲まれ、第1の領域幅を有する。各第1のパイロット領域は、第1のパイロット領域境界によって囲まれ、第1のパイロット領域幅を有する。第2の層は、少なくとも1つの第2の領域および少なくとも1つの第2のパイロット領域を具備する。各第2の領域は、第2の領域境界によって囲まれ、第2の領域幅を有する。各第2のパイロット領域は、第2のパイロット領域境界によって囲まれ、第2のパイロット領域幅を有する。次の幾何学的な規則を満たさなければならない。
発明のRC−IGBT200では、ダイオードは、第1の電気コンタクト8(それは、ダイオードのアノード電極を形成する)、第4の層4(その一部は、アノード層を形成する)、ベース層101(その一部は、ダイオード用のベース層を形成する)、n型の第1の層1(その層は、カソード層を形成する)および第2の電気コンタクト9(それは、カソード電極を形成する)間に形成される。
別の好ましい実施形態では、第1のパイロット領域12および/または第2のパイロット領域22は、さらに正方形、長方形、十字型または円形の形を有する。図6は、四角形状を備えた、そのような第1のパイロット領域12および第2のパイロット領域22を示す。一方、図7は、円形の形を備えた、第1のパイロット領域12および第2のパイロット領域22を示す。図6および7では、各第1のパイロット領域12は、第1および第2の領域10、20に位置する介在物によって第2のパイロット領域22から分離される。
10 第1の領域、
11 第1の領域の幅、
12 第1のパイロット領域、
13 第1のパイロット領域幅、
15 第3の領域、
16 第3の領域の幅、
2 第2の層、
20 第2の領域、
21 第2の領域の幅、
22 第2のパイロット領域、
23 第2のパイロット領域幅、
24 領域内の任意の点とその境界上の点との間の最短距離の最大値、
25 第4の領域、
26 第4の領域の幅、
27 第5の領域、
28 第5の領域の幅、
3 第3の層、
4 第4の層、
41 第8の層、
5、5’ 第5の層、
6 第6の層、
61 第1の電気的絶縁層、
62 第2の電気的絶縁層、
7 第7の層、
8 第1の電気コンタクト、
9 第2の電気コンタクト、
100 ウェハ、
101 ベース層、
102 ベース層厚さ、
103 コレクタ側面、
104 エミッタ側面、
200、200’ RC−IGBT。
Claims (13)
- 共通のウェハ(100)上にフリーホイーリングダイオードおよび絶縁ゲートバイポーラトランジスタを具備する逆伝導半導体装置(200)であって、
完成した逆伝導半導体装置(200)に修正されていないドーピングを有している、そのウェハの一部(100)は、ベース層(101)を形成し、
前記絶縁ゲートバイポーラトランジスタは、コレクタ側面(103)およびエミッタ側面(104)を具備し、
前記コレクタ側面(103)は、前記ウェハ(100)の前記エミッタ側面(104)の反対側に配置され、
前記ベース層(101)は、最大厚さとして定義されるベース層厚さ(102)を有し、
前記ベース層(101)は、前記コレクタ側面(103)および前記エミッタ側面(104)の間にあり、
第1の導電型の第1の層(1)および第2の導電型の第2の層(2)は、前記コレクタ側面(103)上に交互に配置され、
前記第1の層(1)は、少なくとも1つの第1の領域(10)を具備し、
各第1の領域(10)は、第1の領域境界によって囲まれ、第1の領域幅(11)および少なくとも1つの第1のパイロット領域(12)を有し、
各第1のパイロット領域(12)は、第1のパイロット領域境界によって囲まれ、第1のパイロット領域幅(13)を有し、
前記第2の層(2)は、少なくとも1つの第2の領域(20)および少なくとも1つの第2のパイロット領域(22)を具備し、
各第2の領域(20)は、第2の領域境界によって囲まれ、第2の領域幅(21)を有し、
各第2のパイロット領域(22)は、第2のパイロット領域境界によって囲まれ、第2のパイロット領域幅(23)を有し、
各領域または層幅は、前記領域または層内の任意の点と前記領域または層境界上の点との間の最短距離の最大値の2倍として定義され、
前記第2の層(2)は、全体の基板上に同じ構造を持たず、
各第1の領域幅(11)は、前記ベース層厚さ(102)より小さく、
各第2の領域幅(21)は、前記ベース層厚さ(102)と等しい、または、前記ベース層厚さ(102)より大きく、
各第1のパイロット領域幅(13)は、前記ベース層厚さ(102)の1倍と等しい、または、前記ベース層厚さ(102)の1倍より大きく、
各第2のパイロット領域幅(23)は、前記ベース層厚さ(102)の2倍より大きく、
各第2のパイロット領域幅(23)は、各第1のパイロット領域幅(13)より大きく、
前記少なくとも1つの第2のパイロット領域(22)のエリアの合計は、前記少なくとも1つの第1のパイロット領域(12)のエリアの合計より大きい、逆伝導半導体装置(200)。 - 前記少なくとも1つの第1および/または第2の領域(10、20)の前記幅(11、21)は、前記ウェハ(100)上で変化することを特徴とする、請求項1に記載の逆伝導半導体装置(200)。
- 前記少なくとも1つの第1および/または第2の領域(10、20)の前記幅(11、21)は、前記ウェハ(100)上で一定であることを特徴とする、請求項1に記載の逆伝導半導体装置(200)。
- 前記少なくとも1つの前記第1および第2領域(10、20)は、前記ウェハ(100)上でストライプとして配置されることを特徴とする、請求項1〜3のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(200)。
- 各第1の領域(10)は、第2の領域(20)によって完全に囲まれることを特徴とする、請求項1〜3のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(200)。
- 前記少なくとも1つの第1の領域(10)は、正方形、長方形または円形の形を有することを特徴とする、請求項5に記載の逆伝導半導体装置(200)。
- 各第1のパイロット領域(12)は、少なくとも1つの第1および/または第2の領域(10、20)によって、任意の第2のパイロット領域(22)から分離されることを特徴とする、請求項1〜6のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(200)。
- 少なくとも1つの第1のパイロット領域(12)は、第2のパイロット領域(22)に接続されていることを特徴とする、請求項1〜6のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(200)。
- 前記少なくとも1つの第2のパイロット領域および/または前記少なくとも1つの第1のパイロット領域(12と22)は、長方形、正方形、十字型または円形の形を有することを特徴とする、請求項1〜8のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(200)。
- ウェハエリアに対する前記少なくとも1つの第2の領域および前記少なくとも1つの第2のパイロット領域(20、22)のエリアの合計は、70%から90%までの間にあることを特徴とする、請求項1〜9のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(200)。
- ウェハエリアに対する前記少なくとも1つの第1の領域(10)および前記少なくとも1つの第1のパイロット領域(12)のエリアの合計は、10%から30%までの間にあることを特徴とする、請求項1〜10のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(200)。
- ウェハエリアに対する前記少なくとも1つの第2のパイロット領域(22)のエリアの合計は、10%から30%の間にあることを特徴とする、請求項1から11のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(200)。
- 請求項1〜12のうちのいずれかによる逆伝導半導体装置(10)を備えたコンバータ。
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