JP2012256870A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012256870A5
JP2012256870A5 JP2012107269A JP2012107269A JP2012256870A5 JP 2012256870 A5 JP2012256870 A5 JP 2012256870A5 JP 2012107269 A JP2012107269 A JP 2012107269A JP 2012107269 A JP2012107269 A JP 2012107269A JP 2012256870 A5 JP2012256870 A5 JP 2012256870A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gate electrode
oxide semiconductor
semiconductor film
region
gate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012107269A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6076617B2 (ja
JP2012256870A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012107269A priority Critical patent/JP6076617B2/ja
Priority claimed from JP2012107269A external-priority patent/JP6076617B2/ja
Publication of JP2012256870A publication Critical patent/JP2012256870A/ja
Publication of JP2012256870A5 publication Critical patent/JP2012256870A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6076617B2 publication Critical patent/JP6076617B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (3)

  1. 同一面上の第1のゲート電極及び第2のゲート電極と
    前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、
    前記ゲート絶縁膜上の酸化物半導体膜と、
    前記酸化物半導体膜上のソース電極及びドレイン電極と、を有するトランジスタを有し、
    前記酸化物半導体膜は、インジウムと、錫と、亜鉛とを有し、
    前記酸化物半導体膜は、前記第1のゲート電極と重畳する第1領域と、前記第2のゲート電極と重畳する第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間において、前記第1のゲート電極と重畳せず且つ前記第2のゲート電極と重畳しない第3領域とを有し、
    前記ソース電極は、前記ゲート絶縁膜及び前記酸化物半導体膜を介して、前記第1のゲート電極の一部と重畳し、
    前記ドレイン電極は、前記ゲート絶縁膜及び前記酸化物半導体膜を介して、前記第2のゲート電極の一部と重畳することを特徴とする表示装置。
  2. 請求項1において、
    前記第3領域のチャネル長方向における長さは、1μm以上20μm以下であることを特徴とする表示装置。
  3. 請求項1又は請求項2において、
    画素及び駆動回路を有し、
    前記トランジスタは前記画素及び前記駆動回路に設けられることを特徴とする表示装置。
JP2012107269A 2011-05-13 2012-05-09 表示装置 Active JP6076617B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012107269A JP6076617B2 (ja) 2011-05-13 2012-05-09 表示装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011108758 2011-05-13
JP2011108758 2011-05-13
JP2012107269A JP6076617B2 (ja) 2011-05-13 2012-05-09 表示装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012256870A JP2012256870A (ja) 2012-12-27
JP2012256870A5 true JP2012256870A5 (ja) 2015-06-18
JP6076617B2 JP6076617B2 (ja) 2017-02-08

Family

ID=47528103

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012107269A Active JP6076617B2 (ja) 2011-05-13 2012-05-09 表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6076617B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9269915B2 (en) * 2013-09-18 2016-02-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5064747B2 (ja) * 2005-09-29 2012-10-31 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置、電気泳動表示装置、表示モジュール、電子機器、及び半導体装置の作製方法
TWI518800B (zh) * 2008-08-08 2016-01-21 半導體能源研究所股份有限公司 半導體裝置的製造方法
TWI485781B (zh) * 2009-03-13 2015-05-21 Semiconductor Energy Lab 半導體裝置及該半導體裝置的製造方法
JP5406295B2 (ja) * 2009-06-18 2014-02-05 シャープ株式会社 半導体装置
KR20140054465A (ko) * 2010-09-15 2014-05-08 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 및 표시 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2019194700A5 (ja)
JP2013042121A5 (ja)
JP2012256063A5 (ja) 表示装置
JP2011118377A5 (ja) 半導体装置
JP2015130487A5 (ja)
JP2013084941A5 (ja) 半導体装置
JP2010123939A5 (ja)
JP2014038323A5 (ja) 半導体装置、液晶表示装置
JP2010123938A5 (ja) 半導体装置
JP2014063179A5 (ja)
JP2013016831A5 (ja)
JP2016139159A5 (ja)
JP2015179822A5 (ja) 半導体装置
JP2013175716A5 (ja) 半導体装置
JP2013038402A5 (ja)
JP2012160717A5 (ja) トランジスタ
JP2012134520A5 (ja) 表示装置
JP2013190804A5 (ja)
JP2014241404A5 (ja)
JP2015156480A5 (ja) トランジスタ
JP2016034040A5 (ja) 表示装置
JP2011090293A5 (ja)
JP2010206190A5 (ja) 半導体装置
JP2010258423A5 (ja) 半導体装置
JP2014220492A5 (ja)