JP2012256870A5 - - Google Patents
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- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims 1
Claims (3)
- 同一面上の第1のゲート電極及び第2のゲート電極と、
前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上の酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜上のソース電極及びドレイン電極と、を有するトランジスタを有し、
前記酸化物半導体膜は、インジウムと、錫と、亜鉛とを有し、
前記酸化物半導体膜は、前記第1のゲート電極と重畳する第1領域と、前記第2のゲート電極と重畳する第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間において、前記第1のゲート電極と重畳せず且つ前記第2のゲート電極と重畳しない第3領域とを有し、
前記ソース電極は、前記ゲート絶縁膜及び前記酸化物半導体膜を介して、前記第1のゲート電極の一部と重畳し、
前記ドレイン電極は、前記ゲート絶縁膜及び前記酸化物半導体膜を介して、前記第2のゲート電極の一部と重畳することを特徴とする表示装置。 - 請求項1において、
前記第3領域のチャネル長方向における長さは、1μm以上20μm以下であることを特徴とする表示装置。 - 請求項1又は請求項2において、
画素及び駆動回路を有し、
前記トランジスタは、前記画素及び前記駆動回路に設けられることを特徴とする表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012107269A JP6076617B2 (ja) | 2011-05-13 | 2012-05-09 | 表示装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011108758 | 2011-05-13 | ||
JP2011108758 | 2011-05-13 | ||
JP2012107269A JP6076617B2 (ja) | 2011-05-13 | 2012-05-09 | 表示装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012256870A JP2012256870A (ja) | 2012-12-27 |
JP2012256870A5 true JP2012256870A5 (ja) | 2015-06-18 |
JP6076617B2 JP6076617B2 (ja) | 2017-02-08 |
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ID=47528103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012107269A Active JP6076617B2 (ja) | 2011-05-13 | 2012-05-09 | 表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6076617B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9269915B2 (en) * | 2013-09-18 | 2016-02-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5064747B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2012-10-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、電気泳動表示装置、表示モジュール、電子機器、及び半導体装置の作製方法 |
TWI518800B (zh) * | 2008-08-08 | 2016-01-21 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置的製造方法 |
TWI485781B (zh) * | 2009-03-13 | 2015-05-21 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置及該半導體裝置的製造方法 |
JP5406295B2 (ja) * | 2009-06-18 | 2014-02-05 | シャープ株式会社 | 半導体装置 |
KR20140054465A (ko) * | 2010-09-15 | 2014-05-08 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 표시 장치 |
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