JP2012243389A - スイッチ装置、伝送路切り替え装置、製造方法、および試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スイッチ装置は、第1接点122が設けられた基体110と、第2接点134を移動させて第1接点122と接触または離間させるアクチュエータと、を備え、アクチュエータは、支持層150と、支持層150上に形成され、第1駆動電圧に応じて伸縮する第1圧電膜136と、第1圧電膜136上に絶縁材料で形成され、第1圧電膜136の端部の少なくとも一部において支持層150と接して端部を覆う第1保護膜152と、を有する。
【選択図】図2
Description
特許文献1 特開2001−191300
Claims (15)
- 第1接点が設けられた基体と、
第2接点を移動させて前記第1接点と接触または離間させるアクチュエータと、
を備え、
前記アクチュエータは、
支持層と、
前記支持層上に形成され、第1駆動電圧に応じて伸縮する第1圧電膜と、
前記第1圧電膜上に絶縁材料で形成され、前記第1圧電膜の端部の少なくとも一部において前記支持層と接して当該端部を覆う第1保護膜と、
を有するスイッチ装置。 - 前記アクチュエータは、前記支持層の前記第1圧電膜が形成される面とは異なる面上に、前記支持層を介して前記第1圧電膜に対向して設けられる第2圧電膜を更に有し、
前記第2圧電膜上に絶縁材料で形成され、前記第2圧電膜の端部の少なくとも一部において前記支持層と接して当該端部を覆う第2保護膜と、
を有する請求項1に記載のスイッチ装置。 - 前記第2圧電膜は、第2駆動電圧に応じて伸縮する請求項2に記載のスイッチ装置。
- 前記支持層は、前記第1圧電膜および前記第2圧電膜が設けられていない突出部を、前記アクチュエータの可動端部となる端部に有し、
前記第2接点は、前記突出部に設けられる請求項2または3に記載のスイッチ装置。 - 前記第1圧電膜および前記第2圧電膜は、前記アクチュエータの厚さ方向の中心面の両側に設けられ、前記アクチュエータの厚さ方向の中心面からの距離および厚さが略同一である請求項2から4のいずれか1項に記載のスイッチ装置。
- 前記アクチュエータは、厚さ方向の中心面に対し略対称に積層された複数の膜を有する請求項5に記載のスイッチ装置。
- 前記第1圧電膜および前記第2圧電膜は、PZT膜である請求項2から6のいずれか1項に記載のスイッチ装置。
- 前記支持層は、絶縁材料で形成される請求項1から7のいずれか1項に記載のスイッチ装置。
- 前記絶縁材料は、SiO2またはSiNである請求項1から8のいずれか1項に記載のスイッチ装置。
- 前記アクチュエータの固定端を前記基体に固定し、半導体材料で形成される台座部を更に備える請求項1から9のいずれか1項に記載のスイッチ装置。
- 半導体基板の一方の面上に、剛性を有する支持層と、前記支持層上に形成される第1圧電膜と、前記第1圧電膜上に絶縁材料で形成され、前記第1圧電膜の端部の少なくとも一部において前記支持層と接して当該端部を覆う保護膜と、を有するアクチュエータを形成するアクチュエータ形成段階と、
前記支持層上に接点を形成する接点形成段階と、
前記半導体基板の他方の面から、前記保護膜または前記支持層をエッチングストップ層として、前記半導体基板の一部がエッチングされて除去されるエッチング段階と、
を備えるスイッチ装置の製造方法。 - 前記アクチュエータ形成段階は、
前記半導体基板の一方の面上に、前記支持層を形成する支持層形成段階と、
前記第1圧電膜を形成する第1圧電膜形成段階と、
前記第1圧電膜を加工して、前記第1圧電膜の表面積を前記支持層の表面積よりも小さくする加工段階と、
前記保護膜を形成する保護膜形成段階と、
を有する請求項11に記載の製造方法。 - 入力端と複数の出力端のそれぞれの間に各々接続された複数の請求項1から10のいずれか1項に記載のスイッチ装置を備える伝送路切り替え装置。
- 被試験デバイスをループバック試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスとの間で電気信号を授受して前記被試験デバイスを試験する試験部と、
前記試験部および前記被試験デバイスの間に設けられ、前記試験部からの信号を前記被試験デバイスに供給するか、前記被試験デバイスからの信号を前記被試験デバイスにループバックさせるかを切り換える請求項13に記載の伝送路切り替え装置と、
を備える試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスとの間で電気信号を授受して前記被試験デバイスを試験する試験部と、
前記試験部および前記被試験デバイスの間に設けられ、前記試験部および前記被試験デバイスの間を電気的に接続または切断する請求項1から10のいずれか1項に記載のスイッチ装置と、
を備える試験装置。
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