JP5416166B2 - スイッチ装置および試験装置 - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2000−80540号公報
Claims (13)
- 第1接点が設けられた接点部と、
第2接点を有し、前記第2接点を移動させて前記第1接点と接触または離間させるアクチュエータと、
第1駆動電圧および第2駆動電圧を制御する制御部と、
を備え、
前記アクチュエータは、前記第1駆動電圧に応じて伸縮する第1圧電膜と、前記第1圧電膜上に設けられる支持層と、前記支持層上に設けられる第2駆動電圧に応じて伸縮する第2圧電膜とを有し、
前記制御部は、
前記第1接点および前記第2接点を接触させる場合に、前記第1圧電膜に第1の抗電界未満の絶対値の電界を印加する電圧から、前記第1圧電膜に第1の抗電界を超える電界を印加する電圧まで変化させて前記第1圧電膜を縮ませ、
前記第1接点および前記第2接点を接触状態から離間させる場合に、前記第1圧電膜に第2の抗電界未満の絶対値の電界を印加する電圧を出力して前記第1圧電膜を伸ばして前記アクチュエータの戻りを付勢し、
前記アクチュエータの初期位置、累積使用時間、または累積使用回数に応じて、前記第2駆動電圧を出力して前記第2圧電膜により前記アクチュエータの戻りを付勢するか否かを切り替える
スイッチ装置。 - 前記制御部は、前記第2駆動電圧を制御して、前記第2圧電膜に第1の抗電界未満の絶対値の電界を印加する電圧から、前記第2圧電膜に第1の抗電界を超える電界を印加する電圧まで変化させて前記第2圧電膜を縮ませ、前記第2圧電膜に第2の抗電界未満の絶対値の電界を印加する電圧を出力して前記第2圧電膜を伸ばす、
請求項1に記載のスイッチ装置。 - 前記制御部は、前記第1接点および前記第2接点を接触させる場合に、前記第1圧電膜を縮める前記第1駆動電圧を印加すると共に、前記第2圧電膜の前記第2の抗電界未満の絶対値の電界を与えて前記第2圧電膜を伸ばす第2駆動電圧を印加して前記アクチュエータの押込みを付勢する請求項2に記載のスイッチ装置。
- 前記第1圧電膜および前記第2圧電膜は、前記アクチュエータの厚さ方向の中心面の両側に設けられる請求項1から3のいずれか1項に記載のスイッチ装置。
- 前記第1圧電膜および前記第2圧電膜は、前記アクチュエータの厚さ方向の中心面からの距離および厚さが略同一である請求項4に記載のスイッチ装置。
- 前記アクチュエータは、厚さ方向の中心面に対し略対称に積層された複数の膜を有する請求項5に記載のスイッチ装置。
- 前記第1圧電膜および前記第2圧電膜は、PZT膜である請求項1から6のいずれか1項に記載のスイッチ装置。
- 前記支持層は、前記第1圧電膜または前記第2圧電膜が形成される場合に、前記第1圧電膜または前記第2圧電膜と共に焼成温度に加熱される請求項7に記載のスイッチ装置。
- 第1接点が設けられた接点部と、
第2接点を有し、前記第2接点を移動させて前記第1接点と接触または離間させるアクチュエータと、
第1駆動電圧および第2駆動電圧を制御する制御部と、
を備え、
前記アクチュエータは、前記第1駆動電圧に応じて伸縮する第1圧電膜と、前記第1圧電膜上に設けられる支持層と、前記支持層上に設けられる第2駆動電圧に応じて伸縮する第2圧電膜とを有し、
前記制御部は、
前記第1接点および前記第2接点を接触させる場合に、前記第1圧電膜に第1の抗電界を超える電界を印加する電圧から、前記第1圧電膜の変位が極大になる電界未満の絶対値の電界を印加する電圧まで変化させて前記第1圧電膜を縮ませ、
前記第1接点および前記第2接点を接触状態から離間させる場合に、前記第1圧電膜に第1の抗電界を超える電界を印加する電圧を出力して前記第1圧電膜を伸ばして前記アクチュエータの戻りを付勢し、
前記アクチュエータの初期位置、累積使用時間、または累積使用回数に応じて、前記第2駆動電圧を出力して前記第2圧電膜により前記アクチュエータの戻りを付勢するか否かを切り替える
スイッチ装置。 - 前記制御部は、前記第2駆動電圧を制御して、前記第2圧電膜に第1の抗電界を超える電界を印加する電圧から、前記第2圧電膜の変位が極大になる電界未満の絶対値の電界を印加する電圧まで変化させて前記第2圧電膜を縮ませ、前記第2圧電膜に第1の抗電界を超える電界を印加する電圧を出力して前記第2圧電膜を伸ばす、
請求項9に記載のスイッチ装置。 - 前記支持層は、絶縁膜である請求項1から10のいずれか1項に記載のスイッチ装置。
- 前記支持層は、SiO2またはSiNを含む請求項11に記載のスイッチ装置。
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスとの間で電気信号を授受して前記被試験デバイスを試験する試験部と、
前記試験部および前記被試験デバイスの間に設けられ、前記試験部および前記被試験デバイスの間を電気的に接続または切断する請求項1から12のいずれか1項に記載のスイッチ装置と、
を備える試験装置。
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