JP5616391B2 - アクチュエータ装置、試験装置、および試験方法 - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2010−4104号公報
特許文献2 特開2011−187680号公報
特許文献3 特開2002−4924号公報
Claims (15)
- 一端に駆動電圧、他端に基準電位が印加されて駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記一端と制御電圧が印加される入力端子との間に接続され、前記アクチュエータの動作速度を設定する第1設定部と、
前記アクチュエータの前記一端と前記基準電位との間に設けられ、前記制御電圧を前記第1設定部と分圧して前記アクチュエータの前記駆動電圧を設定する第2設定部と
を備え、
前記アクチュエータは、
第1接点と、
前記第1接点に対向する第2接点と、
前記駆動電圧に応じて伸縮する圧電膜と
を有し、
前記圧電膜の伸縮によって前記第2接点を移動させて前記第1接点と接触または離間させるスイッチであるアクチュエータ装置。 - 前記圧電膜は、内部応力が予め定められた方向を向いて形成され、当該内部応力によって前記アクチュエータが予め定められた方向に初期変位する請求項1に記載のアクチュエータ装置。
- 前記アクチュエータの初期変位量がゼロで形成された場合に、前記第1接点と前記第2接点とを電気的に接続させる前記駆動電圧以上の電圧を制御電圧として供給する電源部を更に備える請求項1または2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1設定部および前記第2設定部は、前記アクチュエータのパッケージ内に収容される請求項1から3のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 一端に駆動電圧、他端に基準電位が印加されて駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記一端と制御電圧が印加される入力端子との間に接続され、前記アクチュエータの動作速度を設定する第1設定部と、
前記アクチュエータの前記一端と前記基準電位との間に設けられ、前記制御電圧を前記第1設定部と分圧して前記アクチュエータの前記駆動電圧を設定する第2設定部と
を備え、
前記アクチュエータが搭載される搭載基板を更に備え、
前記第1設定部および前記第2設定部の少なくとも一方は、前記搭載基板上に設けられるアクチュエータ装置。 - 外部から制御電圧が印加される前記入力端子を更に備え、
前記第1設定部は、前記入力端子と前記アクチュエータの前記一端との間に接続される第1の抵抗素子を有する
請求項1から5のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2設定部は、前記アクチュエータの前記一端と前記基準電位との間に接続される第2の抵抗素子を有する請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1設定部は、複数の抵抗素子を有し、前記アクチュエータの動作速度に応じて選択された抵抗素子を、前記第1の抵抗素子とする請求項6に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第2設定部は、複数の抵抗素子を有し、前記アクチュエータの初期変位量に応じて選択された抵抗を前記アクチュエータの前記一端と前記基準電位との間に接続される第2の抵抗素子とする請求項1から8のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1設定部および前記第2設定部の少なくとも一方は、トリミングにより抵抗値が調整された抵抗素子を有する請求項1から9のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1設定部は、前記アクチュエータの前記一端と前記基準電位との間に接続される容量素子を有する請求項1または5に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1設定部は、複数の容量素子を有し、前記アクチュエータの動作速度に応じて選択された容量素子を前記アクチュエータの前記一端と前記基準電位との間に接続する請求項10に記載のアクチュエータ装置。
- 請求項1から12のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置を試験する試験装置であって、
前記アクチュエータに接続され、前記アクチュエータの前記駆動電圧と前記アクチュエータの導通または非導通との対応関係を測定する測定部と、
前記対応関係に応じて前記第2設定部の回路を決定する決定部と
を備える試験装置。 - 前記測定部は、前記アクチュエータの動作速度を測定し、
前記決定部は、前記アクチュエータの動作速度に応じて前記第1設定部の回路を決定する請求項13に記載の試験装置。 - 請求項1から12のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置を試験する試験方法であって、
前記アクチュエータの前記駆動電圧と前記アクチュエータの導通または非導通との対応関係を測定する段階と、
前記対応関係に応じて、前記第2設定部の回路を決定する段階と、
を備える試験方法。
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